C23C — Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще

Номер патента: 1711506

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Жиликов, Никитина, Столярова, Тимонова

МПК: C23C 22/08

Метки: деталях, защитного, крупногабаритных, магниевых, покрытия, преимущественно, сплавов

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА ДЕТАЛЯХ ИЗ МАГНИЕВЫХ СПЛАВОВ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО КРУПНОГАБАРИТНЫХ, включающий операции подготовки поверхности, оксидирование в растворе, содержащем соединения аммония и уксусной кислоты, последующую промывку, сушку и нанесение лакокрасочного покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения защитных и адгезионных свойств покрытия, повышения работоспособности и снижения токсичности раствора оксидирования, раствор в качестве аммонийсодержащего соединения содержит (NH4)6Mo7O24 и NH4H2PO4, соединения укусной кислоты NaCH3COO и дополнительно содержит H3PO4 и NaNO2 при следующем...

Номер патента: 1767926

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Мигунов, Мирохина, Озембловская, Твердынин, Телевный

МПК: C23C 30/00, C23C 4/06

Метки: материал, многослойный, уплотнительный

МНОГОСЛОЙНЫЙ УПЛОТНИТЕЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ, содержащий рабочий слой из диоксида циркония, подслой из сплава на основе никеля и промежуточные слои системы металл-диоксид циркония, отличающийся тем, что, с целью увеличения работоспособности материала при температуре до 1250oС за счет повышения термостойкости, эрозионной стойкости, прочности сцепления с подложкой и истираемости, рабочий слой дополнительно содержит нитрид бора или/и графит, а диоксид циркония стабилизирован 5 - 10 мас.% оксида иттрия, при следующем соотношении компонентов, мас.%:Диоксид циркония, стабилизированный 5 - 10 мас.%: оксида иттрия 80 - 95Нибрид бора или/и графит 5 - 20причем промежуточные слои в качестве металла содержат нихром с содержанием...

Номер патента: 1332866

Опубликовано: 15.08.1994

Авторы: Сейдман, Смирнов

МПК: C23C 14/36

Метки: вакууме, ионно-плазменного, распыления

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ, содержащее катод с дисковой мишенью, магнитную систему с концентричными полюсными наконечниками, расположенными с зазором один относительно другого с нерабочей стороны мишени и эксцентрично оси симметрии мишени, перпендикулярной ее плоскости, отличающееся тем, что, с целью повышения воспроизводимости процесса распыления мишени, мишень установлена с возможностью периодического поворота относительно ее оси симметрии на угол , определяемый из выражения = , при этом уголa...

Номер патента: 1760776

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Вильде, Макейчев, Шофман

МПК: C23C 14/35

Метки: магнетронного, напыления, пленок, тонких

СПОСОБ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, включающий формирование в магнетронном источнике магнитного поля электромагнитом переменного тока, зажигание разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях, распыление материала катода и осаждение его на подложку, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, перед осаждением осуществляют нагрев подложек магнетронным источником, причем нагрев подложек осуществляют потоком электронов, бомбардирующих подложку при выключении электромагнита на время изменения направления переменного тока.

Номер патента: 1565064

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Гул, Ряхин

МПК: C23C 14/02

Метки: поверхности, подложки, резисторов, тонкопленочных, чистоты

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ ДЛЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ по авт. св. N N 1101475, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности за счет выявления загрязнений в виде натиров капролона и паров масла и упрощения процесса, подложку предварительно нагревают при 400 - 700oС в течение 15 - 90 мин в замкнутой капсуле из керамического материала.

Номер патента: 1764335

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Арзубов, Васильев, Насыров, Рябчиков

МПК: C23C 14/32

Метки: изделия, импульсно-периодической, ионной

1. Способ импульсно-периодической ионной обработки изделия, включающий импульсную генерацию плазмы, последующее ускорение ионов и многократное и поочередное облучение образца ускоренными ионами и нейтральными атомами и ионами, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества обработки материалов, в каждом импульсе генерации плазмы проводят напыление примесей и имплантацию, причем напыление осуществляют как в процессе имплантации, так и сразу после ее окончания, при этом длительность ускоряющего импульса у и длительность импульса генерации плазмы p выбирают в зависимости от сорта ускоренных...

Номер патента: 1565065

Опубликовано: 15.09.1994

Автор: Ряхин

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, напыления, резистивного

СПОСОБ НАПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ РЕЗИСТИВНОГО МАТЕРИАЛА, включающий формирование на вольфрамовом испарителе в виде керна с навитой спиралью навески испаряемого материала, содержащего двуокись кремния и окись алюминия, нагрев испарителя электрическим током величиной 62-66А в течение 20-40 с, снижение тока до нуля и выгрузку изделий, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности процесса за счет повторного использования вольфрамового испарителя при сохранении качества напыляемых резистивных пленок, после выгрузки изделий через испаритель пропускают электрический ток величиной 64-76А в течение времени, достаточного для удаления остатков испаряемого материала и снижают ток до нуля в течение 30-300 с по линейному закону.

Номер патента: 1625045

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Никитин, Петров, Редчиц, Рыжов, Шубина

МПК: C23C 4/00

Метки: напыления, покрытий

СПОСОБ НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, включающий подачу напыляемого порошка в ламинарную плазменную струю, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем обеспечения напыления в различных пространственных положениях, порошок подают в струю транспортирующим газом в направлении ее истечения под углом 5-10o к оси плазменной струи, при этом транспортирующий газ вводят в количестве 0,5 - 0,6 расхода плазмообразующего газа.

Номер патента: 1671057

Опубликовано: 30.09.1994

Автор: Ряхин

МПК: C23C 14/00, H01C 17/00

Метки: белого, керамических, микрозагрязнений, обнаружения, поверхности, подложек, резисторов, тонкопленочных, цвета

СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ МИКРОЗАГРЯЗНЕНИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК БЕЛОГО ЦВЕТА ДЛЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий термическое испарение в вакууме и конденсацию материала-анализатора на поверхности подложки при комнатной температуре и последующее выявление микрозагрязнений путем визуального контроля наличия темносерых участков конденсата материала-анализатира на поверхности подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения технологичности, в качестве материала-анализатора используют цинк, а его термическое испарение и конденсацию осуществляют при величине вакуума (3,99 - 13,3) 10-3Па.

Номер патента: 1468017

Опубликовано: 30.09.1994

Авторы: Исаков, Калмыков, Нестеренко, Падалко, Плотников, Погребняк, Ремнев, Рузимов, Русин, Симонов, Чистяков

МПК: C23C 14/48

Метки: изделия, металлов, нанесения, покрытий, сплавов

1. СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ИЗ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ, включающий ионную очистку поверхности с последующим нанесением износостойкого покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения микротвердости и износостойкости изделия, очистку проводят облучением изделия ионным пучком с плотностью мощности более 7 106 Вт/см2, а после нанесения покрытия изделие дополнительно облучают ионным пучком с плотностью мощности (0,3 - 6) 106 Вт/см2, причем длительность облучения до и после нанесения покрытия выбирают равной 60 - 100 нс.2. Способ по п.1, отличающийся тем,...

Номер патента: 1642786

Опубликовано: 30.09.1994

Авторы: Насыров, Ремнев, Рябчиков

МПК: C23C 14/48

Метки: имплантации, ионной

СПОСОБ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ, включающий формирование плазмы, ускорение ионного пучка и облучение поверхности изделия пучком с плотностью мощности 1 - 103 Вт/см2, отличающийся тем, что, с целью улучшения механических характеристик поверхности за счет уменьшения коэффициента распыления, перед формированием плазмы проводят облучение поверхности ионным пучком с плотностью мощности 5 106 - 108 Вт/см2 и удельной энергией в импульсе 0,5 - 10 Дж/см2.

Номер патента: 1307872

Опубликовано: 15.10.1994

Авторы: Белякова, Игнатов, Качко, Осипов

МПК: C23C 8/22

Метки: класса, коррозионностойкой, мартенситного, стали, цементации

СПОСОБ ЦЕМЕНТАЦИИ КОРРОЗИОННОСТОЙКОЙ СТАЛИ МАРТЕНСИТНОГО КЛАССА, включающий нагрев до 950 - 1000oС, выдержку при подаче жидкого карбюризатора и охлаждение на воздухе, отличающийся тем, что, с целью повышения трещиностойкости цементированного слоя, охлаждение осуществляют до 620 - 630oС с последующим повышением температуры до 670 - 690oС и выдержкой, необходимой для прохождения полного перлитного превращения в цементированном слое.

Номер патента: 1644553

Опубликовано: 15.10.1994

Авторы: Коровкин, Полунина, Усачев

МПК: C23C 14/50

Метки: подложкодержатель

ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий многоярусный цилиндрический корпус, на ярусах которого размещаются обрабатываемые изделия, и привод вращения, кинематически соединенный с корпусом, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия по толщине, корпус выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, при этом шаг спирали равенH h,где H - шаг спирали, мм;h - высота обрабатываемой детали, мм,а расстояние между гнездами равноL l,где L - расстояние между гнездами, мм;l - наибольший размер обрабатываемой детали, мм.

Номер патента: 1302721

Опубликовано: 15.10.1994

Авторы: Белякова, Игнатов, Качко, Кравченкова, Осипов

МПК: C23C 8/22

Метки: высокохромистых, газовой, нержавеющих, сталей, цементации

СПОСОБ ГАЗОВОЙ ЦЕМЕНТАЦИИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ ВЫСОКОХРОМИСТЫХ НЕРЖАВЕЮЩИХ СТАЛЕЙ, включающий предварительный нагрев в окислительной атмосфере и выдержку с последующей газовой цементацией с использованием синтина при 950 - 990oС, отличающийся тем, что, с целью упрощения и интенсификации процесса и получения равномерного диффузионного слоя, предварительный нагрев осуществляют до 950 - 990oС с выдержкой в течение 20 - 25 мин.

Номер патента: 1580873

Опубликовано: 30.11.1994

Авторы: Колмакова, Сарнацкий

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, осаждения, слоев, фазы

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, содержащее герметичную камеру с внешним нагревателем, подложкодержатель с горизонтальными дисками для размещения подложек и газовый ввод, расположенный по оси подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью повышения качества осаждаемых слоев за счет равномерности распределения газового потока, оно снабжено дополнительным подложкодержателем с приводом вращения и диском обтекателем, установленным на конце газового ввода, при этом дополнительный подложкодержатель выполнен в виде замкнутого стакана с дисками, смонтированными на внутренней поверхности стакана между дисками основного подложкодержателя с возможностью регулирования зазора между плоскостями смежных дисков, причем диски...

Номер патента: 1706236

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Бессонов, Костюк, Ленников

МПК: C23C 14/34

Метки: катоду, кварцевой, мишени, присоединения

...мм и толщиной 20 мм и мишени из 502 диаметром 200 мм и толщиной 10 мм устанавливаются на барабане вакуумной установки УВН - 74 П - 3 с электронным испарителем. В керамический тигель загружают 40 г медного фракционирующего сплава (4,0-5,06 Мд, 5,0-6,0 ф 6 Се, 20,0-25,0 Яп, 64,0-71,0 оСо), откачивают установку до вакуума 5 10 мм рт. ст. с обязательным использованием ловушки, охлаждаемой жидким азотом, Включают вращение барабана и нагревают катоды и мишени до температуры 300+10 С и выдерживают при этой температуре 10 - 15 мин, Затем в рабочую камеру напускают аргон и проводят ионную очистку поверхности мишени и катода в течение 10 мин в режиме 0=3 кВ, 1=200 мА. Через вольфрамовый кольцевой катод электронного испарителя пропускают ток 0,8 -...

Номер патента: 1802550

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Абдулов, Булат, Груич, Кирсон, Эстерлис

МПК: C23C 14/56

Метки: испаритель, металлов, протяженный, электродуговой

...электродуговой испаритель (фиг. Ц состоит из электроизолированных секций катода 1, каждая из которыхизготовлена иэ металла, входящего в составмногослойного покрытия, механизма 2 перемещения катода, обеспечивающего поступательное перемещение его в горизонтальнойплоскости. Вдоль катода, с обеих сторон35 40 жигают дугу, в результате чего обеспечивается перемещение катодных пятен по длине секции катода 1, После завершения напыления определенного металлического слоя выключают источник 5 питания. Затем с помощью механизма перемещения катода 2 подводят в рабочую зону другую секцию катода 1, изготовленную из другого материала, так, чтобы обеспечить надежный контакт ее с токоподводами от отрицательного полюса 45 иСточника 5 питания,...

Номер патента: 1552687

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Аминов, Хорошхин

МПК: C23C 14/32

Метки: испаритель, электродуговой

1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий расходуемый катод, анод, токоподводы катода и анода, систему возбуждения дугового разряда, источник переменного многофазного напряжения и электрические вентили, подключенные между выводом источника и токоподводом катода, отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса и надежности испарителя в работе за счет равномерного испарения материала катода, катод снабжен дополнительными токоподводами, равномерно размещенными по его периметру, причем общее число токоподводов катода равно или кратно числу фаз источника.2. Испаритель по п. 1, отличающийся тем, что токоподводы соединены в группы, число которых равно числу фаз источника, причем токоподводы каждой группы равномерно размещены вдоль периметра...

Номер патента: 1505064

Опубликовано: 15.12.1994

Автор: Хорошхин

МПК: C23C 14/32

Метки: испаритель, электродуговой

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ по авт. св. N 714807, отличающийся тем, что, с целью повышения качества наносимых покрытий и срока службы испарителя, он дополнительно снабжен системой подачи газа и стабилизатором давления, причем система подачи газа соединена с полостью электрода через стабилизатор давления.

Номер патента: 1269536

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Абдуллаев, Хорошхин

МПК: C23C 14/32

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий коаксиально расположенные анод, расходуемый катод, нейтральную вставку с изолятором и поджигающий электрод, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы и повышения чистоты покрытий, нейтральная вставка и обращенные к ней части анода и расходуемого катода снабжены кольцевыми буртами, причем бурты вставки размещены в пазах между буртами анода и расходуемого катода с образованием меандрообразных зазоров.

Номер патента: 714807

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Абдуллаев, Хорошхин

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий узел расплавления наносимого материала, полый электрод с узлом подачи материала покрытия в зону дугового разряда, выполненный в виде стакана, и кольцевой электрод, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса испарения и качества покрытий, узел расплавления наносимого материала снабжен стержневым электродом из испаряемого материала, выполненным с возможностью возвратно-поступательного перемещения относительно полого электрода, причем один его конец размещен в полости полого электрода.2. Испаритель металлов по п.1, отличающийся тем, что на внешней боковой поверхности стакана выполнены пазы, служащие для подачи материала покрытия в зону дугового разряда, причем...

Номер патента: 663198

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Арустамов, Кельберт, Чистяков, Эстерлис

МПК: C23C 14/24, C23C 14/34

Метки: испаритель, легкоплавких, металлов, электродуговой

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ЛЕГКОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ, содержащий катод из тугоплавкого металла, анод и поджигающий электрод, отличающийся тем, что, с целью обеспечения непрерывности работы устройства, катод выполнен в виде двух разновысоких и соосно расположенных стаканов, в нижней части боковой поверхности внутреннего стакана находятся отверстия, служащие для подачи испаряемого материала.

Номер патента: 1543874

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Гершович, Делюсто, Кирсон, Мочалин, Туркин, Эстерлис

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуум, загрузки

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМ, содержащее заполненный ферромагнитным порошком полый корпус с откачным патрубком и поршнями с электромагнитами, каждая пара которых установлена соосно с возможностью уплотнения порошка в объеме корпуса, и подложкодержатель, размещенный в полости корпуса с возможностью поступательного перемещения между поршнями вдоль продольной оси симметрии корпуса, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности за счет увеличения герметичности устройства при загрузке изделий сложной формы, оно снабжено дополнительными электромагнитами, размещенными равномерно с внешней стороны корпуса с возможностью их перемещения в плоскости, перпендикулярной продольной оси симметрии корпуса, а поршни размещены в плоскости...

Номер патента: 1760779

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Аникеев, Казаков, Кирюхин, Коняшин, Коровин, Корчагин, Царьков

МПК: C23C 16/04

Метки: инструмента, композиционного, режущего

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННОГО МАТЕРИАЛА ДЛЯ РЕЖУЩЕГО ИНСТРУМЕНТА, включающий нагрев твредого сплава в неокисляющей атмосфере и нанесение на него карбида титана химическим осаждением из парогазовой фазы, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности эксплуатационной стойкости, перед нанесением карбида титана проводят дополнительную обработку твердого сплава при температуре 1223 - 1423 К в смеси водорода и тетрахлорида титана при их объемном отношении от 20 до 40 в течение времени определяемого из соотношениягде T - температура обработки, К;C - нормирующий множитель, равный 1 с.

Номер патента: 1776089

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Доморослов, Малашенко, Мовчан, Яковчук

МПК: C23C 14/06

Метки: двуслойное, керамическое, покрытие

ДВУСЛОЙНОЕ КЕРАМИЧЕСКОЕ ПОКРЫТИЕ, содержащее керамическую композицию на основе диоксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия, состоящую из внутреннего пористого слоя и внешнего плотного слоя, отличающееся тем, что, с целью увеличения термостойкости и жаростойкости покрытия за счет снижения газопроницаемости и увеличения толщины керамической композиции, внешний плотный керамический слой дополнительно содержит оксид алюминия при следующем содержании исходных компонентов, мас.%Оксид иттрия - 2 - 12Оксид алюминия - 4 - 16Диоксид циркония - Остальноепри этом отношение толщин внутреннего пористого и внешнего плотного керамических слоев составляет 0,3 - 20,0.

Номер патента: 1533122

Опубликовано: 20.01.1995

Авторы: Нестеренко, Першин

МПК: B22F 7/04, C23C 26/00

Метки: взрывным, внутреннюю, методом, нанесения, поверхность, покрытий, порошков, цилиндрическую

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПОРОШКОВ НА ВНУТРЕННЮЮ ЦИЛИНДРИЧЕСКУЮ ПОВЕРХНОСТЬ ВЗРЫВНЫМ МЕТОДОМ, преимущественно, из быстрозакаленных порошков, включающий засыпку порошкового материала покрытия в цилиндр, размещение вокруг цилиндра взрывчатого вещества и инициирование взрывчатого вещества, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности соединения покрытия с поверхностью, толщину t3 слоя взрывчатого вещества определяют по формулегде K=2,8-3;tц - толщина стенок цилиндра, мм;R - наружный радиус цилиндра, мм;tпор - толщина слоя порошкового материала, мм.

Номер патента: 1802547

Опубликовано: 27.01.1995

Авторы: Карпов, Назиков, Пасти

МПК: C23C 14/32

Метки: источник, комбинированный, металлической, плазмы, электродуговой

...сече- р ние электромагнитной катушки совпадает с 30 в плоскостью А-А, проходящей через дно ох- к лаждаемой плоскости катода и разделяю- ,э щей катод на рабочую (испаряемую) и б нерабочую (неиспаряемую) зоны, сМинимальная величина индукции маг в нитного поля для осуществления надежно- го сти локализации катодных пятен на рабочей э поверхности катода (обеспечивающие уход х катодных пятен на боковую нерабочую по- че верхность катода не более чем на 5 мм) и для 40 л осуществления устойчивости вакуумного н дугового разряда должна составлять, как д показали эксперименты, не менее 50 Гс, ет Учитывая зто, высота испаряемой зоны ка- охл тода злектродугового источника металличе и ской плазмы выбирается такой, чтобы ве индукция магнитного поля в...

Номер патента: 1482246

Опубликовано: 09.02.1995

Авторы: Логоватовский, Рыженко, Снесаревский, Яковлев

МПК: C23C 14/32

Метки: взрывом, нанесения, покрытий, фольги, электрическим

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ВЗРЫВОМ ФОЛЬГИ, содержащее кольцевой и центральный коаксиальные высоковольтные электроды с изолятором между ними и направляющее сопло, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет повышения равномерности распределения конденсата по поверхности подложки и увеличения площади наносимого покрытия, торцы центрального электрода и изолятора загублены относительно торца кольцевого электрода на расстояние h, выбираемого из выражения 0,1R < h < (R-r), где R и r - соответственно внутренний радиус кольцевого электрода и радиус центрального электрода, а сопло выполнено в виде сопла Лаваля и снабжено установленным на его срезе цилиндрическим насадком с перфорированными стенками.

Номер патента: 1665717

Опубликовано: 09.02.1995

Авторы: Ванин, Кремеров, Малинов, Сырчин

МПК: C23C 14/35

Метки: ионизатором, магнетронное, распылительное, термоэлектронным

...предложенном размещении электродов МРУ отрицательный по тенциал катода-мишени будетспособствовать отталкиванию электронного пучка при устремлении его к аноду МРУ.При возбуждении плазмы, которая имеет некоторый положительный потенциал, вли яние катода ослабнет, а возникшая разность потенциалов между термокатодом и плазмой будет способствовать эффективному введению в плазму электронного пучка.При размещении термокатода и анода уст ройства возможны два варианта: термокатод в центре, а кольцеобразный анод на периферии или анод в центре, а кольцеобразный термокатод на периферии, Роль полости катода заключается в формировании 25 электронного облака и выполнении дополнительной роли отражательного электрода для электронов, поскольку при...

Номер патента: 884339

Опубликовано: 10.03.1995

Авторы: Домрачев, Карпов, Костенков, Крашенинников

МПК: C23C 16/54

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, содержащее корпус с крышкой, нагреватель изделия, средства термостатирования подачи химсоединения и отвода продуктов реакции с уплотняющими элементами для герметичного ввода в обрабатываемую полость изделия и приводом перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий на поверхностях глухих каналов и полостей в изделиях, средства подачи химсоединения и отвода продуктов реакции выполнены в виде цилиндра, с коаксиально расположенными в нем, питающим, термостатирующими и отводными каналами и оканчивающегося переливной головкой с радиальными канавками по торцевой поверхности, ниже которой выполнены отверстия для отвода продуктов в отводной канал.2. Устройство по...