C23C — Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще

Страница 97

Состав для получения ванадийсодержащих покрытий

Номер патента: 946262

Опубликовано: 27.11.2000

Авторы: Батухтин, Ивановский, Илющенко, Казанский, Петенев

МПК: C23C 10/22

Метки: ванадийсодержащих, покрытий, состав

Состав для получения ванадийсодержащих покрытий, содержащий металлический ванадий и галогениды щелочных металлов, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса насыщения, он дополнительно содержит галогенид ванадия при следующем соотношении компонентов, мас.%:Металлический ванадий - 1 - 25Галогенид ванадия - 2 - 10Галогениды щелочных металлов - Остальное

Способ получения комбинированного жаростойкого покрытия

Загрузка...

Номер патента: 1658652

Опубликовано: 20.12.2000

Авторы: Мубояджян, Помелов, Сучкова

МПК: C23C 14/00

Метки: жаростойкого, комбинированного, покрытия

1. Способ получения комбинированного жаростойкого покрытия преимущественно на лопатках турбин, включающий осаждение в вакууме внутреннего слоя покрытия из сплава на основе никеля, содержащего кобальт, хром, алюминий и редкоземельный элемент, последующее осаждение внешнего слоя покрытия из сплава на основе алюминия, содержащего в качестве легирующей добавки никель, при содержании в каждом из слоев алюминия в количестве 20 - 80 г/м2 и толщине внутреннего слоя покрытия 30 - 100 мкм и последующий вакуумный отжиг, отличающийся тем, что, с целью увеличения стойкости покрытия к сульфидной коррозии в области температур 800 - 1000oC и сохранения высокой жаростойкости при...

Способ защиты лопаток газовых турбин от высокотемпературной коррозии

Номер патента: 1759037

Опубликовано: 27.01.2001

Авторы: Бирман, Будиновский, Знаменская, Крючков, Мубояджян, Серов

МПК: C23C 14/34

Метки: высокотемпературной, газовых, защиты, коррозии, лопаток, турбин

Способ защиты лопаток газовых турбин от высокотемпературной коррозии, включающий ионно-плазменное осаждение в вакууме на внешнюю поверхность пера лопатки первого слоя конденсированного покрытия из никелевого сплава, содержащего хром, алюминий, иттрий, последующее осаждение второго слоя из алюминия или его сплава, легированного элементами, входящими в первый слой покрытия, и вакуумный отжиг, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса работы лопаток турбины, осаждение первого слоя покрытия производят из никелевого сплава, дополнительно легированного вольфрамом и углеродом, при следующем соотношении компонентов, мас.%:Хром - 3 - 14Алюминий - 9 - 13,5Вольфрам - 1 -...

Способ получения износостойкого покрытия

Номер патента: 1565063

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гашинин, Гусев, Демкин, Нестерова

МПК: C23C 14/00

Метки: износостойкого, покрытия

Способ получения износостойкого покрытия, основанный на ионно-плазменном напылении слоем нитрида титана на поверхность изделия, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, сначала формируют слой с повышенной твердостью толщиной 5 - 8 величин среднеарифметического отклонения профиля исходной поверхности изделия при отрицательном напряжении на изделии 150 - 180 В, затем наносят слой с пониженной твердостью при напряжении на изделии, равномерно уменьшающемся до 20 - 50 В за время t = (1,5 - 2)tтв, где tтв - время напыления твердой части слоя покрытия.

Материал катода для получения износостойких покрытий

Номер патента: 1508606

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Демкин, Нестерова

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойких, катода, материал, покрытий

Материал катода для получения износостойких покрытий по авт. св. N 1453948, отличающийся тем, что, с целью повышения срока службы покрытия в условиях повышенной влажности и температуры за счет улучшения адгезии, он дополнительно содержит иттрий при следующем соотношении исходных компонентов, мас.%:Кремний - 9 - 13Иттрий - 2,5 - 15Алюминий - Остальное

Способ получения покрытия для электрического контакта

Номер патента: 1628564

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гусев, Дзекцер, Измайлов, Нестерова

МПК: C23C 14/54

Метки: контакта, покрытия, электрического

Способ получения покрытия для электрического контакта, основанный на ионно-плазменном напылении материала с твердостью выше твердости материала подложки при опорном напряжении на подложке 90 - 120 В, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности электрического контакта, на подложку напыляют двойной сплав меди с хромом, многократно изменяя в процессе напыления напряжение на подложке до 1000 - 2000 В и обратно к опорному, причем частота изменения напряжения составляет 1 - 2 раза на каждый микрометр толщины покрытия, а продолжительность напыления при 1000 - 1200 В равна 0,2 - 0,4 от времени напыления покрытия микронной толщины.

Материал катода электродугового испарителя для нанесения износостойких покрытий

Номер патента: 1453948

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гашинин, Демкин, Нестерова

МПК: C23C 14/32

Метки: износостойких, испарителя, катода, материал, нанесения, покрытий, электродугового

Материал катода электродугового испарителя для нанесения износостойких покрытий, содержащий алюминий, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий, он дополнительно содержит кремний при следующем соотношении компонентов, мас.%: кремний 9 - 13, алюминий - остальное.

Способ получения мишеней для нанесения покрытий

Номер патента: 1637371

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гашинин, Елкин, Нестерова

МПК: C23C 14/32

Метки: мишеней, нанесения, покрытий

Способ получения мишеней для нанесения покрытий, включающий абразивную обработку металлической основы и детонационное нанесение смеси порошков металлического и неметаллического компонентов, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных свойств мишеней, абразивную обработку и нанесение смеси порошков осуществляют циклично, причем число циклов абразивной обработки и нанесения составляет 1 : 1 - 3 : 1 соответственно.

Способ нанесения покрытий в вакууме

Номер патента: 1267819

Опубликовано: 20.02.2002

Авторы: Белоус, Картмазов, Павлов, Сафонов, Смирнов

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. Способ нанесения покрытий в вакууме путем регулируемого испарения материала покрытия за счет его нагрева электронным пучком, ионизации паров испаряемого материала путем зажигания в них разряда при подключении одного из электродов источника разрядного напряжения к испаряемому материалу с регулированием степени ионизации током разряда, а энергии ионов - напряжением смещения на покрываемом изделии, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности при низком значении температуры изделия, ионизацию паров испаряемого материала осуществляют несамостоятельным дуговым разрядом при подключении к испаряемому материалу отрицательного электрода источника разрядного напряжения.2....

Электродуговой испаритель металлов для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий

Номер патента: 1455764

Опубликовано: 27.10.2004

Авторы: Ключко, Полякова, Таран

МПК: C23C 14/32

Метки: внутреннюю, длинномерных, испаритель, металлов, нанесения, поверхность, покрытий, электродуговой

Электродуговой испаритель металлов для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий, содержащий расходуемый полый катод, внутри которого размещены электромагнитные катушки, и аноды в виде дисков, установленных по торцам катода, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытий и стабильности работы, он снабжен центрирующим механизмом, выполненным с возможностью осевого перемещения, а длина 1[м], наружный диаметр d[м] катода и диаметр d[м] дисков анода выбраны из выраженияD-d>1.

Устройство для подачи материала в испаритель

Загрузка...

Номер патента: 1156401

Опубликовано: 10.04.2005

Авторы: Данилов, Либуркин, Хотилин

МПК: C23C 14/28

Метки: испаритель, подачи

1. Устройство для подачи материала в испаритель, содержащее водоохлаждаемый тигель и механизм продольного перемещения штабика из испаряемого материала в тигле, выполненный в виде водоохлаждаемого штока, кинематически связанного с приводом продольного перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства за счет исключения примораживания поверхности расплава материала к стенкам тигля, оно снабжено приводом радиального качания штабика в тигле, который снабжен поводком, установленным на штоке. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что привод качания выполнен в виде кривошипно-кулисного механизма с кулисой в виде продольной направляющей с пазом, в...

Устройство для вращения изделий

Загрузка...

Номер патента: 1179690

Опубликовано: 10.04.2005

Автор: Данилов

МПК: C23C 14/50

Метки: вращения

1. Устройство для вращения изделий, преимущественно для установок вакуумного нанесения покрытий, содержащее основание с отверстиями, держатели изделий с гнездами для изделий на одном конце и с концевыми упорами на другом, установленные в отверстиях основания с радиальным и осевым зазорами для обеспечения при вращении основания принудительного вращения держателей изделий вокруг осей и привод вращения основания, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет улучшения его равномерности на изделиях со сложным профилем, оно снабжено предохранительным диском с отверстиями, в которых расположены держатели изделий с радиальным и осевым зазорами, основание выполнено в виде...

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 1483973

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Ирков, Ковалев, Максаков, Пестов, Ткаченко

МПК: C23C 14/24, C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассетодержатель с кассетами, подложкодержатель, установленный в кассетах, и механизм поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, расширения функциональных возможностей и повышения производительности, кассетодержатель снабжен двумя проушинами и одним подпружиненным фиксатором для каждой кассеты, кассета снабжена роликом, рамками и двумя опорами, входящими в проушины кассетодержателя, причем кассета установлена с возможностью углового перемещения относительно кассетодержателя, при этом каждый подложкодержатель установлен в рамке со смещением центра тяжести относительно оси поворота, а механизм поворота снабжен...

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 1380265

Опубликовано: 20.06.2005

Авторы: Ирков, Максаков, Пестов, Ткаченко

МПК: C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассету с установленным в ней подложкодержателем, прижим для фиксации подложки, нагреватель и механизм поворота подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обслуживания, механизм поворота подложкодержателя выполнен в виде двух цапф, жестко закрепленных одним концом в подложкодержателе, а другим - шарнирно в кассете, расположенных по оси симметрии подложкодержателя, пружины кручения, размещенной на одной из цапф и закрепленной одним концом на подложкодержателе, а другим в кассете, и магнитного замка, один из магнитов которого расположен на подложкодержателе, а другой - на кассете.2. Устройство...

Способ химико-термической обработки стальных изделий

Загрузка...

Номер патента: 1360236

Опубликовано: 10.07.2005

Авторы: Гребенников, Зорихин, Углов

МПК: C23C 8/36

Метки: стальных, химико-термической

Способ химико-термической обработки стальных изделий, преимущественно тонкостенных, включающий обработку изделий в азотной плазме при дополнительном нагреве лучом лазера, отличающийся тем, что, с целью увеличения толщины упрочненного слоя при сохранении исходной шероховатости поверхности обрабатываемого изделия, обработку ведут в азотной плазме тлеющего разряда при давлении (5...10)×10 -3 мм рт.ст., а дополнительный нагрев производят лучом импульсного лазера при плотности мощности (1...10)×10 -3 Вт/см2 и длительности импульса 4±0,5 мс.

Способ получения покрытия из нитрида титана на деталях

Загрузка...

Номер патента: 1067859

Опубликовано: 27.07.2005

Авторы: Власов, Гнедовец, Гребенников, Ефанов, Панаетов, Рыкалин, Смуров, Углов

МПК: C23C 8/36

Метки: деталях, нитрида, покрытия, титана

Способ получения покрытия из нитрида титана на деталях, преимущественно чувствительных элементах, изготовленных из металлов и сплавов с содержанием титана не более 10%, включающий обработку в азотной плазме при воздействии миллисекундного луча лазера и давлении 40-80 атм, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости за счет повышения микротвердости обрабатываемых деталей, обработку ведут в азотной плазме плотностью 5·106 Вт/см 2, при этом в зону ее воздействия помещают титановую подложку и на расстоянии от нее, достаточном для формирования покрытия, устанавливают обрабатываемую деталь, на которую подают постоянное положительное напряжение величиной...

Сплав для нанесения покрытий на режущие керамические материалы

Загрузка...

Номер патента: 1600358

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Аникеев, Аникин, Конаков, Леонов, Максимов, Мосейкин, Паладин, Познанский, Ромашов, Рыбкин, Самойлов, Фадеев

МПК: C22C 14/00, C23C 14/18

Метки: керамические, материалы, нанесения, покрытий, режущие, сплав

Сплав для нанесения покрытий на режущие керамические материалы, содержащий титан, кремний, цирконий, хром и алюминий, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий, он дополнительно содержит молибден, железо и углерод при следующем соотношении компонентов, мас.%: Кремний0,08-0,4 Цирконий1,5-2,0 Хром5,5-7,0 Алюминий5,5-7,0 Молибден2,0-3,0

Способ получения многослойного твердосплавного материала для режущего инструмента

Загрузка...

Номер патента: 1440083

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Аникин, Кабалдин, Паладин, Фадеев

МПК: B22F 7/00, B23B 27/14, C22C 29/00 ...

Метки: инструмента, многослойного, режущего, твердосплавного

Способ получения многослойного твердосплавного материала для режущего инструмента, включающий формование твердосплавной основы, ее предварительное спекание при температуре 900-1100°С, механическую обработку, окончательное жидкофазное спекание при температуре 1350-1480°С и нанесение износостойкого покрытия из нитрида титана, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструмента, после механической обработки на основу дополнительно наносят слой никеля или молибдена, а затем слой из нитрида титана.

Износостойкое покрытие

Загрузка...

Номер патента: 1508602

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Комляков, Конаков, Паладин, Фадеев, Щитов

МПК: C23C 14/06

Метки: износостойкое, покрытие

Износостойкое покрытие, преимущественно для режущего инструмента, содержащее чередующиеся слои титана и нитрида титана, отличающееся тем, что, с целью повышения износостойкости, отношение толщин слоя титана к слою нитрида титана составляет 0,5-1,0, при этом толщина слоя нитрида титана равна 0,05-0,1 мкм.

Способ нанесения износостойких покрытий на твердосплавный режущий инструмент

Загрузка...

Номер патента: 1631832

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Аникеев, Котлярова, Паладин, Фадеев, Чигрин

МПК: B22F 7/04, C23C 14/54

Метки: износостойких, инструмент, нанесения, покрытий, режущий, твердосплавный

1. Способ нанесения износостойких покрытий на твердосплавный режущий инструмент, включающий очистку поверхности инструмента, его нагрев до 600-900°С, осаждение катодно-ионной бомбардировкой слоя нитридов тугоплавких металлов толщиной 3-15 мкм, охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструмента, осаждение проводят сначала до толщины, равной 0,05-0,2 толщины слоя нитридов, проводят промежуточное охлаждение до 200-300°С с последующим осаждением слоя нитридов до конечной толщины. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение начинают при температуре поверхности инструмента 800°С.

Износостойкое покрытие для режущего инструмента

Загрузка...

Номер патента: 1527949

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Аникеев, Конаков, Леонов, Паладин, Фадеев, Чигрин, Щитов

МПК: C23C 14/00

Метки: износостойкое, инструмента, покрытие, режущего

Износостойкое покрытие для режущего инструмента, содержащее слой карбида титана, нанесенный на основу газофазным методом, последовательно размещенные слои хрома или молибдена и нитрида хрома или нитрида титана, нанесенные методом конденсации в вакууме с ионной бомбардировкой, отличающееся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытия, слои тугоплавких металлов и нитридов металлов выполнены чередующимися с отношением толщин слоев металлов и нитридов металлов 1:1-1:5 при толщине слоя хрома или молибдена 0,05-0,1 мкм, при этом отношение толщин внутренних слоев металлов и нитридов металлов равно 1:1, а отношение толщин внешних слоев - 1:5.

Способ комбинированного поверхностного упрочнения стальных изделий

Загрузка...

Номер патента: 1790251

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Конаков, Котлярова, Купряков, Паладин, Сигитдинов, Фадеев, Чигрин, Шитов, Штанов

МПК: C23C 8/34

Метки: комбинированного, поверхностного, стальных, упрочнения

Способ комбинированного поверхностного упрочнения стальных изделий, преимущественно режущего инструмента из быстрорежущей стали, включающий титанирование и последующее газовое азотирование, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности режущих свойств, титанирование проводят ионно-плазменным способом в вакууме с получением слоя титана толщиной 1,5-4,0 мкм.

Порошковый материал для нанесения покрытий

Загрузка...

Номер патента: 1487495

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Зайчиков, Коннова, Симма, Чикин

МПК: B22F 1/02, C22C 29/06, C23C 30/00 ...

Метки: материал, нанесения, покрытий, порошковый

1. Порошковый материал для нанесения покрытий на основе карбида металла, выбранного из группы, включающей карбид вольфрама, содержащий металлическую связку, отличающийся тем, что, с целью повышения антифрикционных свойств покрытий, группа дополнительно содержит карбид хрома, а в качестве металлической связки он содержит порошок алюминиевой бронзы с содержанием алюминия 7-10 мас.% при следующем соотношении компонентов материала, мас.%: Порошок алюминиевой бронзы с содержанием алюминия 7-10 мас.% 15-30Карбид металла, выбранный из группы, включающей карбид...

Способ подготовки поверхности перед нанесением жаростойких покрытий

Загрузка...

Номер патента: 1448760

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Волков, Каляев, Нефедова, Шавкунов

МПК: C23C 14/02, C23C 14/30

Метки: жаростойких, нанесением, поверхности, подготовки, покрытий

Способ подготовки поверхности перед нанесением жаростойких покрытий электронно-лучевым напылением, при котором выполняют виброшлифование, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытия и повышения усталостной прочности лопаток турбомашины, после виброшлифования лопатки подвергают поверхностной пластической деформации и рекристаллизационному отжигу.

Шихта на основе порошка алюминия для нанесения срабатываемых покрытий

Загрузка...

Номер патента: 1520872

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Зайчиков, Коннова, Пронин, Симма, Шляхова

МПК: B22F 1/00, C22C 21/02, C22C 32/00 ...

Метки: алюминия, нанесения, основе, покрытий, порошка, срабатываемых, шихта

1. Шихта на основе порошка алюминия для нанесения срабатываемых покрытий, содержащая силикат натрия и твердую смазку, отличающаяся тем, что, с целью уменьшения налипания покрытия на рабочие детали и снижения стоимости, она в качестве твердой смазки содержит смесь порошка или слюды с графитом в соотношении (2-1):1 при следующем соотношении компонентов шихты, мас.%: Силикат натрия 5-10 Смесь порошков талька или слюды с графитом в соотношении (2-1):1 10-25Порошок алюминия ...

Устройство для нанесения покрытий

Загрузка...

Номер патента: 1479555

Опубликовано: 27.09.2005

Авторы: Белевский, Завалищин, Ошеверов, Санкин, Степанов

МПК: C23C 26/00

Метки: нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий, содержащее металлическую щетку с приводом вращения, элемент крепления материала покрытия и механизм сжатия ворса щетки, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем увеличения твердости наносимого материала и повышения срока службы металлической щетки, оно снабжено двумя парами постоянных магнитов, обращенных одноименными полюсами к обеим торцовым поверхностям щетки, причем одна пара магнитов помещена со стороны крепления элемента материала покрытия и выполнена с величиной напряженности магнитного поля меньшей, чем у другой пары, расположенной с противоположной стороны щетки.

Способ диффузионного насыщения изделий металлами в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 685070

Опубликовано: 20.11.2005

Авторы: Абросимов, Булатов, Полетаев, Шилов

МПК: C23C 10/34, C23C 14/24

Метки: вакууме, диффузионного, металлами, насыщения

Способ диффузионного насыщения изделий металлами в вакууме путем переноса паровой фазы испаряемого металла и повышения давления в рабочем объеме при температуре интенсивного насыщения, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения качества изготавливаемых изделий, при температуре интенсивного насыщения давление повышают до 1·10-2-10 мм рт.ст.

Способ изготовления изделий из тугоплавких сплавов

Загрузка...

Номер патента: 1448743

Опубликовано: 20.11.2005

Авторы: Горбачев, Котерев, Тарасов

МПК: C22F 1/18, C23C 8/36

Метки: сплавов, тугоплавких

1. Способ изготовления изделий из тугоплавких сплавов преимущественно сварных экранов и нагревателей из молибденово- и вольфрамово-рениевых сплавов, включающий локальное плазмохимическое напыление нитридного покрытия и последующий отжиг, отличающийся тем, что, с целью стабилизации терморадиационных свойств и улучшения качества сварки, отжиг проводят в вакууме путем ступенчатого нагрева и охлаждения с температурой первой ступени 1400±10°С, температурой второй ступени 1600±10°С, выдержкой на обеих ступенях в течение 20-30 мин и скоростью нагрева и охлаждения между ступенями 200-400°С/мин.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что напыляют нитрид титана или...

Способ ионного азотирования деталей

Загрузка...

Номер патента: 1570338

Опубликовано: 20.11.2005

Авторы: Лапин, Сакаева, Цырлин

МПК: C23C 8/38

Метки: азотирования, ионного

Способ ионного азотирования деталей, преимущественно из нержавеющих сталей, включающий нагрев до температуры 500-600°С и поэтапную выдержку в тлеющем разряде в азотводородной среде, причем на первом этапе проводят выдержку в течение 2-6 ч в среде состава 25% N2 и 75% H2, на втором этапе - в среде состава 75-85% N2 и 15-25% H2, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости и уменьшения хрупкости азотированного слоя, после второго этапа проводят дополнительный этап выдержки в среде состава 25% N2 и 75% H2 , а продолжительность этапов устанавливают исходя из следующих зависимостей:

Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 1536856

Опубликовано: 20.11.2005

Авторы: Артоболевская, Евстропов, Качанов, Тазенков

МПК: C23C 14/28

Метки: вакууме, нанесения, слоев, фотопроводниковых

Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее вакуумную камеру, испарители, подложкодержатель и натекатель воздуха, отличающееся тем, что, с целью повышения качества селеновых слоев, оно содержит ионизатор, оптически непрозрачный экран и активатор кислорода, электрически соединенный со стенками вакуумной камеры, включающий замкнутую полость, внутри которой расположены ионизатор и натекатель, стенки полости снабжены отверстиями, причем отношение суммарной площади всех отверстий к суммарной площади внутренней поверхности полости составляет 0,01-0,001, а экран расположен между активатором и рабочей поверхностью подложкодержателя.