Макейчев
Способ магнетронного напыления тонких пленок
Номер патента: 1760776
Опубликовано: 30.08.1994
Авторы: Вильде, Макейчев, Шофман
МПК: C23C 14/35
Метки: магнетронного, напыления, пленок, тонких
СПОСОБ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, включающий формирование в магнетронном источнике магнитного поля электромагнитом переменного тока, зажигание разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях, распыление материала катода и осаждение его на подложку, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, перед осаждением осуществляют нагрев подложек магнетронным источником, причем нагрев подложек осуществляют потоком электронов, бомбардирующих подложку при выключении электромагнита на время изменения направления переменного тока.