C23C 16/54 — устройства, специально приспособленные для непрерывного покрытия

Номер патента: 245731

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Антонов, Барштак, Басалаев, Малоросси, Остапенко

МПК: C01B 33/035, C23C 16/54

Метки: аппарат, газовойфазы, осаждения

...число токовводов на группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, и исклю чить их деформацию в процессе осаждения.На чертеже изображен описываемый аппарат,Стержневые основы 1, на которые производится осаждение, помещены горизонтально в 25 полости герметичной камеры 2. На каждую группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, приходится по два токоввода 3, введенных в полость камеры на всю ее длину. Стержневые основы установле- З 0 ны свободно, концы их опираются на токовво. ды, снабженные в этой части электроизоляцией. Стержни в каждой группе соединены последовательно при помощи перемычек 4 из электропроводного материала, Ток подводится к группе стержней через контакты 5.Лппарат может быть применен...

Номер патента: 333225

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Абросимов, Лепехин, Поливенко, Токаев, Чернов

МПК: C23C 14/56, C23C 16/54

Метки: покрытий

...реакционной камерой и между собой посредством вакуумных затворов 5, высокотемпературной камеры б для осаждения порошка металла из непрореагировавшей в реакционной камере смеои, соединенной с реакционной камерой через систему трубопроводов 7.Испаритель. с загруженным галлоидопроиз водным соединением, например, гексофторвольфрама, нагревается до температуры, пре;вышающей температуру кипения галлоидного соедине 1 ния, в результате чего галлоидное соединение в виде пара поступает в лредвари тельно нагретую до 500 - . 700 С реакционнуюкамеру. Одновременно из баллонов в реакционную камеру поступает водород, В результате взаимодействия водорода с галлоидцым соединением происходит реакция выделения 15 металла на поверхности детали,...

Номер патента: 348644

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Антонов, Ассоров, Гаврилов, Лукин, Матюша, Сымон

МПК: C23C 16/54

Метки: газовой, нанесения, подложки, покрытий, стекловидные, фазы

...Это достигается тем, что каждая секция снабжена конвейерным механизмом с индивидуальным приводом.На фиг. 1 представлена установка, общий вид; на фиг. 2 - разрезы по А - А и Б - Б на фиг. 1; на фиг, 3 - подвеска с изделиями.Установка состоит из туннельной печи секционного типа, секции 1 подогрева, секции 2 напыления и секции 3 охлаждения. Каждая секция снабжена конвейерным механизмом 4 с индивидуальным приводом б.Полозки б с подвесками 7 и изделиями 8 продвигаются роликами 9, вращающимися за счет цепей 10 конвейерного механизма от привода 5. Время нахождения подвески в секции может за счет скорости продвижения изменяться в заданном диапазоне, кроме изменения режима работы нагревателей 11, т, е. температурного режима. В секции 2 на...

Номер патента: 390203

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Брагин, Васина, Караджали, Переверзев, Розин, Штыканов

МПК: C23C 16/54, C23C 18/12

Метки: нанесения, полупроводящего, слоя

...имеющий патрубок 8 для подачи в испарител воздуха или кислорода. Испаритель оборудован также подогревателем 9 для подогрева раствора. Рабочая камера 3 снабжена двумя 15 патрубками, Патрубок 10 соединяется газопроводом 2 с испарителем, а патрубок 11 с устройством для создания разрежения.Рабочую камеру с установленными в нейканалами 7 вводят в жаровое пространство 20 нагревательной печи 4 и прогревают до температуры 450 - 550 С. Раствор хлорного олова разогревают в испарителе 1 до температуры 85 С при помощи подогревателя 9. Устройство для получения разрежения, например водо струйный насос, подключенный к натрубку 1(рабочей камеры, создает разрежение в рабочей камере, газопроводе, соединяющем рабочий объем с испарнтелем, и в самом...

Номер патента: 396448

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 16/54

Метки: газовой, покрытий, фазы

...пульта управления б. Оси камер горизонтальны и параллельны друг другу, а нагреватели 4, расположенные внутри цилиндров камер 1, зигзатообразно, параллельно оси н нчже ее на 1/7 - 1/9 диаметра цилиндра, служат одноврвмено подставками для расположентя подложек. При загрузке камеры открывают крышку 7, 0 Нагреватели 4 с находящася на них подложками крепят токоподводящии концами к токовводам 8, а свободные концы нх устанавлиэают на изолирующие подставки 9. После этого камеру закрываот крышкой, герметизи руют и прозиодят продувку ее газом черезгазоподводящую трубку 10 и распределительные трубки 11. Затем с пульта управления производят подачу электропитания на нагреватели 4 и после достижения необходимой тем пературы осуществляют подачу...

Номер патента: 1420068

Опубликовано: 30.08.1988

Авторы: Гаркуль-Гуревич, Димант, Котлов, Подгорнова, Сапежинский, Севостьянов, Скулкин, Феофанов

МПК: C23C 16/54

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

...от обрабатываемой детали по крайней мере на расстояние Ь = 0,02 А+1,5 Р =0,2 А+ +(0,75+6)с 1, где А -максимальный габаритный размер обрабатываемой детали в плоскости подложкодержателя; Й, - наименьшая величина выходного канала инжектора. Выходные каналы имекторов 17 с помощью шаблонов ориентируют относительно обрабатываемой поверхности таким образом, чтобы минимальное расстояние от оси инжектора 17 до обра- . батываемой им зоны поверхности составляло 8 =(0,5-4)с 1, (фиг. 2-6).Устанавливают кольцевой трубопровод 7 на полувысоте изделия и фиксируют его положение с помощью штифтов 10.Устройство работает следунщим образом.Камеру 1 с установленными инжекторами ";7 и изделием 18 закрывают и создают в ней разрежение через патрубок 6. Включают...

Номер патента: 1763521

Опубликовано: 23.09.1992

Авторы: Друз, Евтухов

МПК: C23C 16/54

Метки: испаритель, металлоорганических, соединений, хелатных

...и выходной патрубок 4, через который паро- газовая смесь газа-носителя и паров МОС выходит из испарителя, Над поверхностью испарения соосно с ней и испарителем расположен защитный экран 5 с зазором по отношению к поверхности испарения, составляющим 0,2 - 3 см. Форма экрана, поверхности испарения и сечения испарителя подобны. В случае если они имеют форму многоугольника, соответствующие их стороны параллельны, Отношение площади поперечного сечения испарителя и площади зазора между экраном и стенкой испарителя составляет 2,75 - 30, а к площади поверхности испарения 1,05-2, Нижняя часть выходного патрубка выполнена в виде ловушки твердых продуктов 6, а отношение площади поперечного сечения ловушки к суммарной площади ее выходных отверстий...

Номер патента: 884339

Опубликовано: 10.03.1995

Авторы: Домрачев, Карпов, Костенков, Крашенинников

МПК: C23C 16/54

Метки: газовой, нанесения, покрытий, фазы

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, содержащее корпус с крышкой, нагреватель изделия, средства термостатирования подачи химсоединения и отвода продуктов реакции с уплотняющими элементами для герметичного ввода в обрабатываемую полость изделия и приводом перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий на поверхностях глухих каналов и полостей в изделиях, средства подачи химсоединения и отвода продуктов реакции выполнены в виде цилиндра, с коаксиально расположенными в нем, питающим, термостатирующими и отводными каналами и оканчивающегося переливной головкой с радиальными канавками по торцевой поверхности, ниже которой выполнены отверстия для отвода продуктов в отводной канал.2. Устройство по...

Номер патента: 919382

Опубликовано: 27.03.1995

Авторы: Григорьев, Домрачев, Костенков, Крашенинников, Щенников

МПК: C23C 16/54

Метки: газовой, покрытий, фазы

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, включающее станину, на которой расположены средства для крепления и герметизации изделия, узел подачи химического соединения в полость обрабатываемого изделия, нагреватель изделия и привод для перемещения нагревателя, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытия и производительности процесса, узел подачи химического соединения в локальную зону осаждения снабжен кронштейном и штангой, жестко связывающими нагреватель с узлом подачи, выполненным в виде термостатируемой питающей головки с отводным удлиненным патрубком на конце и тарельчатыми перегородками для ограничения зоны осаждения, между которыми выполнены питающие радиальные каналы и отверстия для отвода продуктов реакции в...

Номер патента: 1816001

Опубликовано: 10.06.1999

Автор: Менцер

МПК: C23C 16/16, C23C 16/54

Метки: железа, магнитного, носителя, оксида, пленок, тонких

1. Способ получения магнитного носителя из тонких пленок оксида железа химическим осаждением из паровой фазы путем разложения пентакарбонила железа в окислительной среде на подложке при температуре 250 - 450oC при фиксированном отношении давления продуктов реакции разложения к парциальному давлению кислорода и давлении в камере осаждения 10-2 - 1,0 мм рт.ст. при непрерывном удалении из нее газообразных продуктов, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости, коррозионностойкости и магнитных свойств пленок, в паровую фазу дополнительно вводят летучее соединение кобальта, осмия или цинка, а в качестве окислительной среды используют влажный кислород и процесс...