Протяженный электродуговой испаритель металлов

чМрвфова; Специахнологическое Института электроССР й 368807, кл.СР й 1096963, кл. ТРОДУГОВОЙ ИССОВХОЗ СОВЕТСЗИХсОциА)тистичесеих РеспуВлиеГОСУДАРСТВЕИНОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕИТ СССР)(7) Институт электроеви имУлизироввнюе конструкторскобк)ро с оавае производствомнеи имУААрифова(66) Авторвое свидетельствоС ЮС 13/12, 1970,. Авторское свидетеъство СС 23 С 15/00, 1 ж,. (57) Иаюльзование: в технике нанесения покрытий в вакууме для получения многослойных металлических пленок на металлах и диэлектриках Сущность изобретения; выполнение катода в виде отдельных электроизолированных секций, изготовленных из различных материалов, входящих в состав многослойного покрытия, обеспечивает использование одной группы анодов для испарения материала с поверхности различных секций катода При помощи механизма перемещения секций катода в горизонтальной еюскости обеспечивается нахождение между анодами только одной секции катода, что приводит к созданию одинаковых условий оса)кденбя исларенного лотока от разлиных секцФ катода на подложку, 1 зп ф-ль 2 ил,Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме и может бытьиспользовано для получения многослойныхметаллических пленок на металлах и диэлектриках.Целью изобретения является расширение технологических воэможностей за счетнанесения многослойных покрытий.Выполнение катода в виде отдельныхэлектроизолированных секций, изготовлен-ных из различных материалов, входящих всостав многослойного покрытия, обеспечивает использование одной группы анодовдля испарения материала с поверхностиразличных секций катода. При помощи механизма перемещения секций катода в горизонтальной плоскости обеспечиваетсянахождение между анодами только однойсекции катода, что приводит к созданиюодинаковых условий осаждения испаренно.го потока от различных секций катода наподложку и получению однородного покрытия.Выполнение катода в виде барабана сзакрепленными на.его поверхности секциями и соединение с механизмом, обеспечивающим его вращение, позволяет сократитьместо, отведенное под катод в испарителе,а также обеспечить замену отработавшихсекций, при необходимости, в нерабочем ихсостоянии,Выполнение секций катода электроизо. лированными предотвращает горение дугиодновременно на двух секциях катода, а эквипотенциальность секций катода, достигаемая подключением двух противоположныхконцов катода к одному полюсу источника. питания, необходима для устойчивого горения дуг и равномерного распределениякатодных пятен по поверхности секций катода,На фиг. 1 представлен электродуговойиспаритель металлов, где изображены секции катода 1, механизм 2 перемещения катода, секционный, анод 3, экраны 4,источник 5 питания, переключатель 6, поджигающий электрод 7,На фиг. 2 представлен катод в виде барабана.Протяженный электродуговой испаритель (фиг. Ц состоит из электроизолированных секций катода 1, каждая из которыхизготовлена иэ металла, входящего в составмногослойного покрытия, механизма 2 перемещения катода, обеспечивающего поступательное перемещение его в горизонтальнойплоскости. Вдоль катода, с обеих сторон35 40 жигают дугу, в результате чего обеспечивается перемещение катодных пятен по длине секции катода 1, После завершения напыления определенного металлического слоя выключают источник 5 питания. Затем с помощью механизма перемещения катода 2 подводят в рабочую зону другую секцию катода 1, изготовленную из другого материала, так, чтобы обеспечить надежный контакт ее с токоподводами от отрицательного полюса 45 иСточника 5 питания, обеспечивающими эквипотенциальность секций катода 1, и инициируют дугу с помощью поджигающего электрода 7. В дальнейшем повторяют те же операции при переходе от одной секции катода 1 к другой.Подачу требуемой секции катода в зону испарения осуществляют вращением барабана при помощи механизма 2 вращения. При этом установленные токоподводы так 50 55 же обеспечивают эквипотенциальность тойсекции катода 1, с которой испаряется материал. расположен секционный анод 3, Между секционным катодом 1 и секционным анодом 3 находятся электроизолированные экраны 4, Секционный анод 3 и электроизолирован ные экраны 4 расположены по отношению ккатоду 1 со стороны подложки, причем в поле прямой видимости находится только одна секция катода 1. Источник 5 питания отрицательным полюсом подключен к като ду при помощи скользящих контактов, расположенных в двух противоположных концах секционного катода, для создания на поверхности каждой рабочей секции катода 1 поля равного потенциала, Положи тельный полюс источника 5.питанияподключен к переключателю 6, через который он подводится к каждой секции анода 3. Поджиг дуги осуществляют при помощи поджигающего электрода 7, электрически 20 соединенного с положительным полюсомисточника 5 питания,Электродуговой испаритель металловработает следующим образом.Испаритель помещают в рабочую каме ру(не показан), В камере создается рабочеедавление ниже 10 Па. Устанавливают при помощи механизма перемещения катод 1 в такое положение, чтобы в поле видимости со стороны подложки находилась одна сек ция катода 1. Включают источник 5 питания.Поджигающим электродом 7 инициируют дуговой разряд между секцией катода 1 и секционным анодом 3, Переключателем 6 подают напряжение к секциям анода 3, за1802550 рйСоставитель В. МилославскаяТехред М.Моргентал Корректор М. Петрова едактор В. Соколо ТиражПодписное НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Заказ 1024 Гагарина, 1 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгоро формула изобретения 1. ПРОТЯЖЕ Н Н ЫЙ ЭЛЕ КТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий протяженный катод, секционный анод, средство удержания катодных пятен на испаряемой поверхности катода, средство инициирования дугового разря. да, токоподводы со средством переключения положительного вывода источника питания поочередно на секции анода, отличающийся тем, что, с целью расширени я технологических возможностей испарителя за счет нанесения многослойных покрытий, катод выполнен в виде электроизолированных секций из металлов, входящих в состав покрытия, при этом испаритель дополнительно содержит механизм перемещения катода относительно секционного анода.10 2. Испаритель металлов по п.1, отличающийся тем, что секционный катод выполнен в виде барабана, на поверхности которого расположены секции.