C23C 14/26 — с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

Номер патента: 58290

Опубликовано: 01.01.1940

МПК: C23C 14/26

Метки: 58290

...величину его открытия ввинчи-ванием или вывинчиванием стержняиз гайки, укрепленной в крышке.Расплавленный металл по носикуподводится к форсунке 9, обогреваемой горячим воздухом из коллекто.ра О. Внутри тигля 3 установленакороткозамкнутая Беличья клетка"(вертикальные стержни 7 из тугоплавкового металла, стянутые сверхуи снизу кольцами из того же металла), рассчитанная на создание в нейтоков Фуко достаточной силы длярасплавления заложенной порцииметалла. В нижней части клеткирасположена решетка,Поскольку тепло подводится красплавляемому металлу не за счеттеплопередачи от более нагретоготела например, случай электроподогрева), а возникает в самом металлевследствие индуктирования в егомассе токов фуко, то необходимаятемпература...

Номер патента: 65570

Опубликовано: 01.01.1945

Автор: Бочкарев

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, испарения, металла, плавящий, элемент

...не проникающих вглубь вольфрама и молибдена.В условиях производственной эксплоатации метода испарения металлов в вакууме желательно иметь такие плавящие элементы, которые не претерпевали бы быстрого износа, так как это создает, помимо большого расхода тугоплавких металлов, излишнюю затрату времени, идущего на предварительную прокалку новых элементов.Предлагаемое изобретение,касается способов обработки вольфрамовых, молибденовых или танталовых плавящих (ирц помощи электрического тока) элсментов, в результате которого с 1 эок .лужоы их значительно возрастает.Огытом устацсзлецо, что раскаецный током проводник из хрома не облуживается целым рядом расплавленных на цсм металлов и в частности теми, которыми облужцваются вольфрам, мслцбдец и...

Номер патента: 154996

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: C23C 14/26, H01F 10/26, H01F 41/22 ...

Метки: 154996

...и Осакдают пары в Вакууме на подогреваемую подложку,В случае использования проводниковых ем агнитных подложекроль немаГнитнОГО плоскОГО проВодника Выпол 1 я 10 т эти подлокки. Дляполучения сильного ориентирующего магнитного поля для м 11 огих подложек В Вакуум-сфере электронно-лчевой ВОЗГОИ 1,и пр 1 ъенястся кусочно-разорванная кольцевая система электромагнитов с согласованным 1М 154996магнитными потоками; в разрывы мекду электромагнитами по периметру вокруг возгоняемого материала ставятся держатели с подложками.Предмет изобретения1. Способ получения магнитных пленок с одноосной анизотропией посредством возгонки электронно-лучевым или контактным (тигельным), или индукционным (тигельным) разогревом и осаждения паров на подогреваемые...

Номер патента: 161606

Опубликовано: 01.01.1964

Авторы: Ослд, Таурайтис

МПК: C23C 14/26

Метки: 161606

Номер патента: 172169

Опубликовано: 01.01.1965

МПК: C23C 14/26

Метки: 172169

...испарителя относительно я и приемником отработанного одписная группа Л 209 Известны устройства для термической возгонки металлов и сплавов в вакууме с испарителем в виде тугоплавкой проволоки, покрытой испаряемым металлом, или жгута из тугоплавкой проволоки.Отличием описываемого устройства является то, что оно снабжено катушками с запасом испарителя, механизмом перемещения испарителя относительно зоны испарения и приемником отработанного испарителя. Это позволяет производить длительное непрерывное или периодическое испарение и получать однородный и чистый конденсат,На чертеже изображен общий вид устройства,Тугоплавкая проволока 1, покрытая испаряемыми металлами, намотана на катушки 2. Проволоки с разных катушек стягиваются в пучок...

Номер патента: 187854

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Коледа, Технич

МПК: C23C 14/04, C23C 14/26

Метки: тонкопленочных

...1 разделен перегородками 2 на секции 3, расположеппые по образующей цилиндра. В секциях помещены испарители 4, а сверху цилиндра укреплена мпогощелевая маска 5 так, что каждая щель б маски размещена против соответствующей секции цилиндра. Электропитание испаритслей производится с помощью щеток 7 и коллектора 8, укрепленных па валу 9 цилиндра, Цилиндр вращается па валу с помощью коническои пары шестерен 1связана с приводным Р через вал 13.Процесс напыления пленок сост что через щели вращающейся мно маски на поверхность подогревае мощью подогревателя 14 подложк 1 рывно осаждаются пары испаряемь и образуют наслаивающиеся один плоские витки многопленочного по Предмет изобретени 1, Устройство для изготовления тонкопленочных радиодеталей...

Номер патента: 187855

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 14/26

Метки: 187855

...25 - 40 1 л 1-.Механизм поддержания постоянногоиспаряемого материала состоит из ц 12 с мембраной 3.Мембрана отделяет рабочую камеру 4подъемного механизма, который выполневиде перемещающегося в вертикальномправлении поршня 5.В полость б, образованную поршнемкрайнем нижнем положении, засыпаетсропок диэлектрика. Заслонки 7 перекрыцилиндр и выходные отверстия экранарабочей камере создается вакуум, Поданизкое напряжение к нагревателям и выснапряжение электростатического поля на Подлежащий испарешпо порошок поднимается с постоя 11 ного уровня за счет электрического 1 оля со скоростью, опредсляемой приложенным высоким напряжением в зону теплового удара, образованпую нагревателямп. В этой зоне благодаря высокой температуре (около 2400 - 2500...

Номер патента: 188256

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Грищенко, Палатник

МПК: C23C 14/26

Метки: нанесения, пленок, тонких

...Х.1966. Бюллетень2 ТОНКИХ ПЛ ПО АНЕС сионе математического расчета для ктдельного случая. Предмет изобретения 5 Способ нанесения тонких пленок испарения в вакууме и термического о ния молекулярного пучка испаряемого ства, отличающийся тем, что, с целью пия слоя с заданным распределение 0 щины на поверхности любой формы и мии испаряемого вещества, отражени формацию молекулярного пучка про при помощи вогнутого отражателя.и дзвод Известны различные способы нанесенитонких пленок путем испарения в вакууметермического отражения молекулярного пучка испаряемого вещества. Предлагаемый способ позволяет получать покрытие с заданным распределением толщины на поверхности любой формы и заключается в том, что отражение и деформацию молекулярного...

Номер патента: 178635

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Гриншпун, Закис, Кокле, Конструкторско

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, металлизации

...тем, что испарители служат одновременно электродами тлеющего разряда, а весь объем корпуса коллектора заполнен маслопоглощающим сорбентом. Это упрощает конструкцию установок и сокращает рабочий цикл. Кроме того, испаритель снабжен само- регулируемым натяжным приспособлением, например, рычажного типа, для фиксации его и вертикальном положении,На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 - испаритель.Устройство состоит из вакуумных камер 1, внутри которых расположены барабаны 2 с кассетами и испарители 3, вакуумных затворов 4, коллектора 5, заполненного маслопоглощающим сорбентом, и системы для создания вакуума. Последняя состоит из паромасляного диффузорного насоса, сильфона и ротационного форвакуумного...

Номер патента: 193250

Опубликовано: 01.01.1967

МПК: C23C 14/26

Метки: 193250

...- то же, в плане. тройство состоит из двух каруселей 1, питателей 2, которые крепятся на фланконтактного приспособления 4 и заслондвухце 8,ки 5,Карусель представляет собой диск, укрепленный на полой водоохлаждаемой оси 6. На диске карусели расположены четыре испарптеля 7, обогреваемых спиралями, один конец которых через скользящий контакт 8 соединен с электрическим вводом, расположенным на 5 фланце 3. Вал каждой карусели связан с валом питателя посредством шестерен 9, 10 и 11.Это дает возможность каждому материалупопадать в свой испаритель, а также по положегппо привода карусели определять, испаре- О ние какого материала ведется в данный момент.Материал для подпитки поступает в испарители из бункера 12, Необходимое его количество...

Номер патента: 193251

Опубликовано: 01.01.1967

МПК: C23C 14/26

Метки: 193251

...изгде 1 от- вс- покрытнй Устройство для нанесения кууме путем последовательн одного нли нескольких вещест рабочие камеры, испарнтели и ки, отлгггчиюигееся тем, что, с ц ння более равномерного покрь испарнтель выполнен в виде ко снабженного отраукающнм эк стием для протягивания провол о и вкл янщспарення ючающее ие роли- беспечеоволокн, го тигля, с отверелью тия п чьцев ранах Известные устройства для нанесения одно. слойных н хгггогослоГшых покрытий на поверхность изделий в вакууме содержат рабочие вакуумные камеры, испарители и транспортирующий механизм (тяггущие ролики), В этих устройствах изделие в процессе нанесения покрытия транспортируется над поверхностью испарителя.Предло(енное устройство отличается от вестного тем, что...

Номер патента: 201484

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Загоруйко, Лискер, Черепов

МПК: C23C 14/26

Метки: 201484

...иа чертеже.Внутри вакуумной камеры 1 размещен цилиндрический нагреватель 2, Внутри нагревателя 2 установлен испаритель, состоящий из двух камер 3 и 4. Камеру 3 загружают иопаряемым веществом 5. Камеры 3 и 4 сообщаются между собой посредством цилиндрического канала б, оканчивающегося герметичным затвором 7, Камера 4 снабжена выходным отверстием 8, служащим для выпуска из камеры паров 9 напыляемого на подложку 10 вещества 5. Затвор 7 открывают пление насыщенного паравеличины,Через канал б пар из камеры 3 подает в ка 5 меру 4, и через отверстие 8 выходит из камеры 4, а достигнув подложки 10, образует наней пленку 11.Вследствие того, что оси канала 6 иотверстия 8 взаимно перпендикулярны, иаО подложку поступает только моноатомиыйпар, что...

Номер патента: 208408

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Черн, Чеховской

МПК: C23C 14/26

Метки: 208408

...рулона, а внутренняя полость рулона, служащая для загрузки испаряемого вещества, закрыта с торцов металлическими пробками.На чертеже изображен описываемый испаритель в двух проекциях,Лента 1 из тугоплавкого металла свернута в рулон, витки которого отделены один от другого металлическими прокладками 2, расположенными возле торцов рулона. На концах рулона установлены токоподводы 3 в виде хомутиков, Внутренняя полость Б, служащая для загрузки испаряемого материала, закрыта с торцов металлическими пробками 4, Вследствие того, что пары проходят по спи роли между раскаленными витками ленты,разбрызгивание материала сведено к минимуму. Для загрузки материала вынимают одну из пробок 4. Если требуется изменить направление напыления, рулон...

Номер патента: 210604

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Гельман, Смирнов

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, порошкообразных

...также для обеспечения независимости скорости и поверхности испарения от расхода испаряемого материала, нагревательный элемент выполнен в виде перфорированной ленты, Кроме того, для равномерной подачи испаряемого материала к нагревательному элементу, механизм подачи представляет собою цилиндр с поршнем,На чертеже изображена схема испарителя. Иопаритель содержит нагревательный элемент 1, выполненный в виде ленты из тугоплавкого материала (тантал, ниобий, молибден и т, д,) с отверстиями в центральной части, цилиндр 2 для испаряемого материала с поршнем 3, обеспечивающим равномерную подачу испаряемого материала к нагревательному элементу, Цилиндр с поршнем установлен под нагревательным элементом, а нагревательный элемент расположен между...

Номер патента: 234821

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Первеев, Суетин

МПК: C23C 14/26

Метки: 234821

...локи 5, можно менять величину мпк вещества. под и п ропо Устроист ме, содерж тель, отлич ленной под паритель, п ной трубки стием, чере крепленнаянитом. о дл щее аюи(е ачи в ттате окан кото наб с присоединением заявкиИзобретение относиия покрытий в вакууме.Известно устройство для испарения веществ в вакууме, содержащее питатель и объемный испаритель.Предложенное устройство отличается от известного тем, что питатель выполнен в виде удлиненной трубки, оканчивающейся конусом с отверстием, через которую протянута проволока, закрепленная на бойке, связанном с элект ромагнитом.Данное устройство обеспечивает направленную подачу веществ микропорциями в испарптель.На чертеже схематически изображено описываемое устройство в общем виде.Устройство...

Номер патента: 246263

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Колесников, Преображенский

МПК: C23C 14/26

Метки: подачи, порошковых

...колец, на валу которого жестко закреплена ссыпная воронка.Это обеспечивает равномерную скорость подачи порошковых материалов в испаритель.На фиг. 1 показано описываемое устройство; на фиг. 2 - барабан в разрезе и профиль зубчатого кольца, остроугольный тип; на фиг. 3 - профиль зубчатого кольца, трапецевидный тип.Устройство состоит из барабана 1 с набором съемных зубчатых колец 2, на валу которого жестко закреплена ссыпная воронка 3, и привода вращения 4 барабана. Профиль зубчатых колец может быть остроугольного типа (фиг. 2), трапецивидного типа (фиг. 3) или другого подобного типа. Во всех случаях необходимо, чтобы соотношение между углом Л несущей плоскости зуба относительно радиуса зубчатого кольца 2 и углом Б раствора секторной...

Номер патента: 248420

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Газиев, Ключевский, Орда, Трухов, Умаров, Физико

МПК: C03C 17/00, C03C 17/09, C23C 14/26 ...

Метки: вакууме, металлов, напыления

...в виде качающегося рычага, совершающего колебания относительно оси 1. Этот механизм приводится в колебательное движение с помощью вращающегося кулачка 2 и ролика 3, опирающегося на кулачок и закрепленного на верхнем плече рычага 4. На нижнем плече рычага крепятся цилиндрический ролик б, на который наматывается запас металлической ленты б, предназначенной для распыления, и цплиндрическии ролик 7, выполняющий роль приисимного и подающего. При движении вверх нижнего плеча механизма подачи рычаг 8 храпового механизма 9, 10 упирается в упор 11, вследствие чего храповик 9 и связанный с ним подающий ролик 7 поворачиваются против часовой стрелки, выдвигая часть 12 металлической ленты по направляющему желобку 13.При опускании нижнего плеча...

Номер патента: 256459

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Големенков, Жданов

МПК: C23C 14/26

Метки: 256459

...захвавеску Я лойнойпазов у испаИзобретение относится к области напокрытий в вакууме.Известны устройства,для испарениялов в вакууме, содержащие термическритель, бункер и транспортирующеесобление.Предложенное устройство отличаеизвестного тем, что бункер выполненсектора с пазами, а транспортирующспособление представляет собой провозахват.Такое устройство позволяет испарятвременно несколько навесок с одноготеля.На фиг. 1 изображено предлагаемоество, общий вид; на фиг. 2 - то жеплане.Устройство состоит из термическоготеля 1, сектора 2 с пазами и проволочнхвата 3,После перестановки подложки на нозицию напыления оператор приводиттель в поступательное движение, которжимает на зубчатый сектор б, приводяжение шестерню б и вал 7, связанный стом...

Номер патента: 259596

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Казанский, Чепахин

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...испаритель позволяет получать равномерный конденсат, что особенно важно в серийном производстве, так как можно иметь одновременно большое количество равномерных по толщине пленок.Это достигается тем, что корпус снабжен экраном-насадкой, выполненным в виде усеченного конуса с отверстиями на конической ,поверхности,На чертеже показан описываемый иопаритель.Он включает цилиндрический терморадиационный корпус 1, в основании 2 которого укреплен .перфорированный контейнер 3 для испаряемого материала с расположенным вокруг него резистивным нагревателем 4. Корпус 1 оборудован экраном-насадкой 5, изготовленным в виде усеченного конуса с отверстиями на конической поверхности.При нагреве пары папаряемого вещества 5 заполняют...

Номер патента: 270432

Опубликовано: 01.01.1970

Автор: Коледа

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, испарения

...способствует локализации 20 выделяющихся пз нагретых деталей газов, которые сорбируются внутренней поверхностью экрана. Изобретение относится к вакуумному нанесению различных материалов, в частности к устройствам для испарения материалов при вакуумном нанесении тонких пленок, покрытий и т. и.Известны устройства для испарения материалов в вакууме, содержащие обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилиндрическим терморадиационным экраном. Однако использование известных устройств приводит к значительному ухудшению вакуума в камере за счет газовыделения из нагреваемых деталей.Предложенное устройство позволяет блокировать газовыделение из нагреваемых деталей, тем самым не изменяя вакуума в камере. Это достигается тем,...

Номер патента: 270433

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Ворона, Жданов, Матвейчук, Парфенюк

МПК: C23C 14/26

Метки: загрузки, испарителей

...ычаг, плокен ча Навеска скат ном и попадает ходе толкателя и рычаг 11 возв ние под действ экраном закры экране испарит Так как в ба семь гнезд с на ла, то можно п парителя.Изобретение относится к технике изготовления микросхем методом вакуумного напьтлсния и предназначено для использования в вакуумных напылительных установках для загрузки испарителей распыляемым материалом.Известны устройства для загрузктелей вакуумных напылительныхсодержащие подающее устройство, рские пружины, бараба-храповик.Предлагаемое устройство отличается от известных тем,. что корпус устройства соединен посредством плоских пружин с поворотньм рычагом, а барабан-храповик снабжен гнездом, в которое входит плунжер.Благодаря этому повышается надежность...

Номер патента: 281997

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: C23C 14/26

Метки: 281997

...часть образца находится при более низкой температуре и не испаряется. При необходимости диэлектрическое основание, ца котором размещен диск, может охлаждаться, что полностью исключит возможность взаимодействия испаряемого материала с материалом диэлектрического основания,бр етени я едмет и Спосоо тем Вь 1 со тем, что, кольцевог материал магнитно скиц-эфф испарения маочастотного нс целью осупо источника,в форме диско поля, обеспекта ца его б распыают на индукИзобретение относится к области испарения материалов в вакууме.Известен способ испарения материалов в вакууме путем высокочастотного нагрева. Однако известный способ це позволяет осуществлять процесс испарения из кольцевого источника.Предложенный способ позволяет осуществлять...

Номер патента: 289623

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Жорж, Иностранна

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, испарения, покрытий

...устройство для испарения покрытий в вакууме, содержащее испаритель и приспособление для кагрева.Предложенное устройство для испарения покрытия в вакууме отличается от известного наличием рефлектора, выполненного в виде кюветы, жестко соединенного посредством пальцев с иопарителем, который выполнен в виде сужающейся кверху призмы со сквозной канавкой, расоложенной в ее нижней част. При такой конструкции устройства иовы. шается его цроизводительносгь и увеличивается срок службы.На фиг, 1 изображено оство в аксонометрии; на фречный разрез; на фиг. 3разрез,Устройство состоит из испарителя 1, выполненного в виде сужающейся кверху призмы со сквозной канавкой, расположенной в нижне ее части; прис;1 особления для нагрева, выполненного в...

Номер патента: 295829

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Бородкин, Гордеев, Зубов, Луковников, Тарнава, Фадеев, Фоменко

МПК: C03C 17/00, C03C 17/09, C23C 14/26 ...

Метки: гена, й1л, лис, н.ф, пgt, ч21ля, эная

...лодочках, спиралях и т. д., закрепленных ца столбиках (1.Врдщцие диска испарителей осуществл:ется через зуб(дто пару 12 и кривой вал 18 гидроприводом, включающим в себя пдромогор И, системы трубопроводов и гидроцасос 15 с электродвигателем 16. В качестве уплотнения цри передаче вращения в ; оу вакуума используется кривой вал И, сосгоящий из корпуса 17, валика 18, уплотнительой резины 19 и подшипников 20.Передача электроэцерпш ца диск испарителей осуществляется вращающимся контактным устройством 21, выполненным в виде ротора 22 и неподвижного корпуса 28 с расположен ыми на цсм щеткодержателями 24. Ротор включает в себя пять контактных10 15 20 25 групп 25, разделенных изоляционными дисками 2 б и вращается вместе с диском...

Номер патента: 309071

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Жунда, Зеберинь, Ракитина

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, гgt, испарительное, патентко-иbh5, установокf, —воесою

...при испарении молекулярный поток вещества достигает подложки 7 и осаждается на ней. ние относится к устроиствам для вакуумных покрытий.испарительное устройствоустановок, содержащее нагр испарительный элементы, не подвижный токоподводы.емое устройство отличается от изаличием вакуумплотно закрепленусе неподвижного токоподвода элаембраны из электроизоляционного 10 жестко связанной с подвижным то. Такое устройство надежнее в радля евапод На чертеже представлен общии вид описываемого устройства. 15Устройство состоит из нагревательного элемента 1, испарительного элемента 2, неподвижного токоподвода 3, подвижного токоподвода 4 и вакуумплотно закрепленной в корпусе неподвижного токоподвода эластичной мем браны 5, жестко связанной с...

Номер патента: 329253

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Власов, Максименко, Славников, Томский, Усынина, Электронной

МПК: C23C 14/26

Метки: алюминия, вакуумных, испаритель, установок

...к области нанесения вакуумных покрытий.Известен испаритель алюминия для вакуумных установок, содержащий тигель из нитрида алюминия и нагреватель. Однако этот испаритель не обеспечивает стабильности ис. парения алюминия,Предлагаемый испаритель отличается от известного тем, что для повышения стабильности испарения нагреватель в нем выполнен в виде трубы из молибдена, внутри которой установлен тигель так, чтобы расстояние от поверхности расплавленного алюминия до верхнего торца нагревателя было не менее одного-двух диаметров трубы нагревателя.Описываемый испаритель изображен на чертеже, общий вид,Испаритель содержлт тигель 1 пз нитрида и нагреватель 2, выполненный в виде трубы из молибдена, внутри которой установлен тигель так, чтобы...

Номер патента: 344032

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бауман, Гумен, Калининска, Трофимов

МПК: C23C 14/26

Метки: загрузки, испарителей

...с разрезом по А - А.Устройство содержитредуктор 2, бункер 3, лму б, крышку 7, выход) диск 9 порционной загрузки, на нижнем выступе которого по окружности находятся калиброванные отверстия 10, заполняемые распыляемым веществом, Обойма б бункера име 5 ет в нижней части пылеуловитель 11, предотвращающий попадание порошкообразного вещества в редуктор 2, и ссыпное отверстие 12.Над ссыпным отверстием на корпусе обоймы б закреплена пружинная скоба 13.10 Устройство работает следующим образом.Распыляемое вещество засыпается в бункер 3, состоящий из обоймы б и крышки 7, В бункере расположен ступенчатый диск 9 порционной загрузки, Пружинная скоба 13 15 своей нижней плоской частью прижимается квыступу диска 9 порционной загрузки и плотно закрывает...

Номер патента: 351929

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Путиловский, Сайфуллин, Смышл, Титов, Хуснутдинова, Шакиров, Шнейдер

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумейли, испарения, покрытий, путем

...на нормали, проходящей через его центр на расстоянии, равном 2 - 2,5 диаметра сферы (полусферы),от осц, параллельной нормали и проходящей через центр сферы (полусферы) в точке, удаленной па 2,5 - 3 дцаметра от цецтра покрываемой сферы (полусферы), прц вращении по следцсй, причем, полусферу вращают вокругоси, параллельной нормали, ц сферу вокруг двух взаимно перпендикулярных осей, одна цз которых параллельна нормали,10 При осуществлении способа может быть использован любой тип цспарцтсльцого устройства. Полусферу располагают так, чтобы ось,проходящая через центр полусферы и ее вершину, была параллельна нормали к поверх 15 постному источнику испарения. Центр источника испарения располагают на расстоянии отуказанной осц, равном 2 -...

Номер патента: 358428

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гольдберг, Лобанов, Мальцев, Чебоненко

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, термический, установок

...изобретения - увеличение окорости 10напыления материала и надежности работы.Это достигается тем, что внутри тигля расположен старикан из смачивающегося раоплавом тугоплавкого материала.На чертеже представлен иопаритель, общий 15вид,Иопаритель состоит из графитового тигля1, внутри которого расположен стакан 2 изсмачивающегося раоплавом тугоплавкопо материала, например молибдена, нагревателя 3 20и радиационного экрана 4,В стакан 2 загружают навеоку иопаряемого металла, После достижения рабочего вакуума на иопаритель подают напряжение ипостепенно увеличивают ток нагревателя 8, 25 при этом происходит разогрев графитового тигля, стакана и навести. По достижении необходимой температуры навеока металла несколько меньшая по объему, чем...

Номер патента: 358727

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/26

Метки: 358727

...к испарителю б обеспечивается гибкими проводниками 18. Установка имеетат3мосферные клапаны 19 для запуска атмосферного воздуха в вакуумную систему и камеру. Для подъема и опускания колпака 1 вакуумной камеры служит подъемник 20 с электродвигателем 21 и редуктором 22 с конической парой 23. Вакуумная камера и элементы установки смонтированы на каркасе 24, внутри которого размещены привод барабана 5, включающий электродвигатель 25, редуктор 2 б и вакуумный ввод с шестеренчатой конической парой 27, высоковакуумный затвор 28, установленный между колпаком 1 вакуумной камеры и диффузионным насосом 29; распределительная клапанная коробка 30, которая соединяется через трубопроводы 31 с диффузионным насосом 29 и форвакуумным насосом 32 и...