Патенты с меткой «подложкодержатель»

Номер патента: 476022

Опубликовано: 05.07.1975

Авторы: Басовский, Богородский, Дерман

МПК: B01J 17/32

Метки: газовой, подложкодержатель, эпитаксии

...герметичной камеры 1, установленной на поддоне 2. Подложкодержатель изготовлен из стойкого к газовой среде материала, например графита, покрытого слоем поликристаллического кремния. В боковой поверхности подложкодержателя выполнены окна 3, в которые вставлены диски 4, На дисках размещены подложки 5. Для их установки в нижней части дисков имеется уступ 6. Подложки могут быть также установлены на штырьках 7, вставленных в диски. Поверхность дисков, обращенная к подложкам, - плоская, а внутреццяя поверхность слегка выпуклая. Внутри подложкодержателя установлен цагреватель сопротивления из графита.Подлоккодержатель работает следующим образом.Устававливают подложки 5, камеру 1 опускают ца поддон 2 ц цз нее продувкой инертцым газом...

Номер патента: 710625

Опубликовано: 25.01.1980

Авторы: Зотов, Назарова, Титов

МПК: B01J 17/34

Метки: ионнолучевого, легирования, подложкодержатель, устройств

...цилиндров с двумя кольцевыми прорезями, ширина одной иэ которых равна толщине пластины, а ширина другой равна толщине подложки.С целью уменьшения загрязнения подложек материалом подложкодержателя он преимущественно выполнен иэ стеклоуглерода, кремния или кварца. На фиг.1 схематически показан подпожкодержатель, вид спереди; на фиг.2 вид сбоку; на фиг.З изображен фиксатор.Подложкодержатель представляет собой прямоугольную пластину 1 с наклонными прорезями 2 по боковым сторонам. В прорезях 2 установлены фиксаторы 3, которые удерживают подложку 4 на поверхности подложкодержателя. Фиксатор имеет две прорези, одна из к"торых 5, равна толщине пластины, служит для крепления фик - сатора в прорези 2. Ширина второй прорези 6 равна толщине...

Номер патента: 809669

Опубликовано: 28.02.1981

Автор: Золотаревский

МПК: H05K 3/14

Метки: подложкодержатель

...с полупроводниковой пластиной, 20 вид сверху; на фиг, 2 - то же, вид сбоку.Подложкодержатель состоит из корпуса 1, выполненного в форме эллипса из пружинного материала, снабженного проточками 2, причем проточки выполнены таким образом, что установленная в них полупроводниковая пластина 3 контактирует с корпусом только своими краями. 30 Для установки полупроводниковой пластины в держателе сжимают овал вдоль его большого диаметра и вводят в образовавшееся пространство между проточками полупроводниковую пластину, После снятия приложенного усилия корпус, выполненный из пружинного материала, расправляется и фиксирует в своих проточках полупроводниковую пластину. Снятие пластины осуществляют в обратном порядке.Предлагаемый держатель для...

Номер патента: 1089171

Опубликовано: 30.04.1984

Авторы: Баронский, Жданов, Кузнецов, Некрасов, Трофимяк

МПК: C23C 13/08

Метки: подложкодержатель

...участки подложек, не подлежащие напылению. В результате увели чивается расход материалапокрытия.Цель изобретения - экономия мате 35 риала покрытия путем увеличения плотности упаковки подложек в подложкодержателе.Поставленная цель достигается тем,что в подложкодержателе, содержащемполый цилиндр с фиксаторами для установки подложек в несколько рядов внутри полого цилиндра, в стенке полого цилиндра вдоль образующих выпол- . иенц сквозные Щели псд углом наклона 45 друг к другу 0 с с с 90 3. Падложкодержатель ло п. 1, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что внутри полого цилиндра между рядами подложек расположены маскирующие кольца. Фиксаторы выполнены в виде. цилиндра, установленного коаксиально поломуцилиндру с наружной стороны.Внутри...

Номер патента: 1093728

Опубликовано: 23.05.1984

Авторы: Мокрецов, Наговицын, Попович, Фролов, Хомяков

МПК: C23C 13/08

Метки: подложкодержатель

...опорными площадками, смещенными относительно осей шарниров 2 .Недостатком известного подложкодержателя является сложность конструкции, так как при передаче подложек из камеры в камеру к подложкодержателю требуется дополнительный механизм, перекладывающий подложку с одного подложкодержателя на другой,Цель изобретения - упрощение конструкции устройства.Поставленная цель достигается тем что в подложкодержателе, содержащем основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, каждая секция снабжена опорными площадками, сме площадок может транспортироваться в безопорном пространстве (не имеющем направляющих) затворно-шлюзовых устройств и т.п., т.е. при посекцион...

Номер патента: 1644553

Опубликовано: 15.10.1994

Авторы: Коровкин, Полунина, Усачев

МПК: C23C 14/50

Метки: подложкодержатель

ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий многоярусный цилиндрический корпус, на ярусах которого размещаются обрабатываемые изделия, и привод вращения, кинематически соединенный с корпусом, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия по толщине, корпус выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, при этом шаг спирали равенH h,где H - шаг спирали, мм;h - высота обрабатываемой детали, мм,а расстояние между гнездами равноL l,где L - расстояние между гнездами, мм;l - наибольший размер обрабатываемой детали, мм.