C23C 14/50 — держатели подложек
Вакуумная камера для металлизации пластин
Номер патента: 106689
Опубликовано: 01.01.1957
Авторы: Гринев, Зверков, Розин
МПК: C23C 14/24, C23C 14/50
Метки: вакуумная, камера, металлизации, пластин
...8 во втулки 9 вставляются своими цапфами 10 шесть рамок 11,На каждой рамке укреплены ограничители 12 и 13, а на диске 3 -пружины 1 ющне с огра р р е рамок,Пластины, подлежащие металлизации, укладываются в разъемные кассеты 1 б, которые в свою очередь закладываются в гнезда рамок 11 и запираются в них поворотными пружинами замками 17.В результате смещения центра тяжести рамок 11 относительно оси их вращения, а также взаимодействия ограничителей 12, 13 с пружинами 14, 15, происходит последовательное поворачивание рамок с пластинами в кассетах на 180 под действием собственного веса при вращении барабана посредством маховичка 18 и горизонтальное расположение рамок над центральным желобом-электроиспарителем 19. В последнем уложены...
Устройство для изготовления пленочных схем
Номер патента: 177491
Опубликовано: 01.01.1966
МПК: C23C 14/50
...8 и 9. По направляющим призмам 8 и 9 при помоиГИ ходовых винтов 10 и 11 могут персмецаться каретки 12 и 13. На каретке 12 закреплена ле 1- косъехПзя ,асста 11 с маскахи 1 З, а ца карет 1 че 13 - леКосьехИяя кзссстя 16 с подложками 1/. Кзсстз 11 для х 1 асо 1 з снабжена упругими зажимами 18 для крепления винтами 19 краев масок 1 з, которые име 10 т контрольныс отметки 20.Кассета 16 с пйдложк 11 ми 17 Выполнена В виде профильной пластины 21 с вырезами 22 по форме подложек, плоскими пружинами 23, слухкзщими д;151 фиксации положения ИОдлО- же 1 и контрольными Отх 1 еткзми 21 для Определения положения подложек относительно масок 15Над кассетой 16 и регулируемый нагреватель 25 для 1 подложек 17, а в нижней чясти - ь 26 наносимых ЦЯ Г 10...
Устройство для металлизации в вакууме
Номер патента: 177735
Опубликовано: 01.01.1966
Автор: Рамхен
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, металлизации
...силы нерабочая поверхность деталей прижимается к пластинам. Предмет изо бр етен и я Устройств содержагцее ный испарит кассетами, о упрощеш 1 я в виде пласт деталеи,вакууме,загообраз.ждаемыми с нетью ыполнены ешива пня присоединением заявки М Известны устроиства для металлизации в вакууме, в которых детали помещают в кассетах, вращающихся с помощью карусели вокруг испарителя. В тех случаях, когда металлизации должна быть подвергнута только часть поверхности деталей, применяют специальные приспособления для экранирования их нерабочей поверхности.В описываемом устройстве кассеты выполнены в виде пластин со штырями, на которые навешиваются детали. Такие кассеты обеспечивают прижатие нерабочей поверхности деталей к пластинам, а все...
Устройство для транспортирования и совмещения
Номер патента: 268523
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Алехин, Богачей, Гаврилов, Репин
МПК: B05C 13/00, C23C 14/50
Метки: совмещения, транспортирования
...передачу ему крутящего момента и свободное перемещение вала относительно диска подложкодержателей в осевом направ- О ленин. Диск 8 маскодержателей служит дляразмещения плавающих маскодержателей 9 и укреплен на валу на шариковых подшипниках 10, обеспечивающих его центрирование и свободу вращения относительно вала. Корпуса 11 роликовых опор служат направляющими скольжения и предохраняют диск 8 маскодержателей от проворачивания. Фиксатор 12 диска подложкодержателей и фиксирующие гнезда диска маскодержателей служат для их 30 взаимпо 1 о совмещения, Для точной регулиров 268523ки расстояния между дисками подложкодержателей и маскодержателей в рабочем положении служат винтовые упоры 13. Вал установлен в стойке 14 на шариковых...
Аппарат для нанесения покрытий в вакууме на плоские детали
Номер патента: 280160
Опубликовано: 01.01.1970
Авторы: Виткаускас, Гайд, Калитис, Монтримас, Шатас
МПК: C23C 14/50
Метки: аппарат, вакууме, детали, нанесения, плоские, покрытий
...между собой посредством цепной передачи 6, и механизма подачи деталей цаиспаритель, выполненного в виде захвата 7,укрепленного на винте 8, связанного посредством зубчатой передачи 9 с приводом 10.5 При подаче сигнала с пульта управлениявключается электродвигатель 11, при этомблок шестерня - звездочка 12 приподнимаетвинт 13 и кассету 4 с деталями 14 ца уровеньбортов испарителя 3 и одновременно верхнюю1 О деталь наружной стороной прижимает к термостату 2. Вращение ца звездочку 15 передается цепной передачей 6, благодаря чему кассета 4 а, находящаяся в верхнем положешш,винтом 16 снижается на ту же величину, что15 и кассета 4, находящаяся в нижнем положении.Конец вращения электродвигателя наступает при ударе кулачка диска 17 о...
Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме
Номер патента: 337448
Опубликовано: 01.01.1972
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, детали, механизм, нанесении, перемещения, покрытий, прямолинейного
...в единое целое посредством стержня 2Так как стержень объединяет несколько опор,15 то движение стержня 2 строго плоско-параллельное при одинаковой длине пружин д и 4 иодинаковой температуре последних,Например при длине опор, равной 60 мм,изготовленных из бронзы Бр Б, при нагреве20 их на 10 С удлинение каждой из опор равноЛ 1=а Ь 8=17,8 10 о 60 10=10,68 10 - э мм,где: а - коэффициент линейного расширения материала, 1/град,1 - длина опоры, мм,25 Л 1 - изменение температуры опоры, град.Г 1 ри передаточном отношении каждой изопор =3/3, стержень 2 перемещается вдольсвоей оси на 10,68 10-3=32,04 10 -мм, Дляобеспечения такого перемещения при нагреваЗО нии стержня, жестко закрепленного одним337448 Предмет изобретения Составитель В. Либерман...
Графитовый нагреватель подложек
Номер патента: 347367
Опубликовано: 01.01.1972
МПК: C23C 14/50
Метки: графитовый, нагреватель, подложек
...поверхности пластины.Это достигается тем, что пластина соединена с электродами посредством металлическихпроводников, общая площадь поперечногосечения которых меньше площади поперечного сечения пластины.На чертеже представлен предлагаемый нагреватель, общий вид,Электроды 2 зажимают в проводов вакуумной камер щадей поперечных сечений водников 8 составляет 35 таллических проводников в та получения тока, необхо пластины 1 с учетом токов проводников при минима Торцы пластины 1 покрыва обеспечения жесткого соед водниками методом пайки ыым припоем. жателяношениины 1атериют издля нагреваих сдью вя ихотемпе ер О ласт.1. М ыбира димого ого н льном ют ме инеи высок мет изобретения вый нагревательастину и электродцелью обеспечениповерхности пласс...
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 351931
Опубликовано: 01.01.1972
Авторы: Высшее, Московское, Ордена
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
...щий вид. Устроиство состоит изкоторой расположены испщаяся подложка 3 с маскачания подложки 3, выкривошипно-шатунного много рычагом б с выходида вращения 8 подложки.На выходном валу 7 пзакреплена подложка 3.имеет посадочное отверстгатель привода вращен, Сальников ордена Трудового Красного Знаменучилище им. Н, Э, Баумана цапфы пересекает ось подложки в центре кривизны напыляемой поверхности. На опорах цапфы имеются подшипники, наружные кольца которых закреплены в неподвижных 5 стойках 10. Поверхность маски 4 имеет профиль эквидистантный к напыляемой повер- ности подложки 3 и расположена на оси испаритель - центр кривизны подложки. Подложка 3 совершает приблизительно гармо ническое возвратно-поступательное покачивание около своего центра...
390200
Номер патента: 390200
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: 390200
...усилия фиксации осуществляется перемещением груза д при помощи винта 2, перемещаемого относительно оси 7,ния ено ,ной Устройство для транспортировки подложки в вакуумной установке, содержащее прижим- фиксатор, отличающееся тем, что, с целью регулирования усилия фиксации, прижим-фиксатор выполнен в виде рычага, на котором посредством винта подвижно укреплен груз. Изобретение относится к области нанесе покрытий в вакууме и может быть примен для транспортировки подложки в вакуум установке,Известно устройство для транспортировки подложки в вакуумной установке, содержащее поижим-фиксатор, в качестве которого используют пружины различной конструкции, что не обеспечивает регулирования усилия фиксации.Целью изобретения является...
Устройство для катодного распыления
Номер патента: 396451
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Александров, Шалимов
МПК: C23C 14/36, C23C 14/50
Метки: катодного, распыления
...наблюдается значительная,потеря распыляемого материала, происходящая за счет осаждения его на стенки разрядной камеры, что снижает производитель- Е 1 ОСТЬ.Цель изобретения - повышение производительности.Для этого устройство снабжено дополнительными подложкодержателями, выполненными в виде полых усеченных конусов и укрвпленных между плоскими подложкодержателями и катодами.На чертеже представлено предлагаемое устройство для катодного распыления. Устройство состоит цз вакуумной камеры 1,внутри которой расположены дисковые катод 1 2 и дисковые подложкодержатели д, заключенные в разъемный полый цилиндр 4, вьиполненцый в виде двух цилиндрических поверхностей. Нд внутренней поверхности цилиндра укреплены дополнительные подложкодЮржатели...
403201
Номер патента: 403201
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: 403201
...2 Г-образного элемента 3 и прямоугольного элемента 4, между которыми проходит стержень а для зяк 1)еплспия пакета деталей, Всрхнпй конец которОГО с 11 яожсн зажпмным приспособлением 6, установленные на ош).рах 2 на равных расстояниях ОГ исп 11 рптсл 51, 10 Выполненного пз нескольких спиралей 7, н усТЯНОВС 1 СНПОГО Пс 1 Рс 1,ЛЕЛЬНО ОСП РЯСПОЛОЖСНН пакета деталей 8 и снстсмь Создания Вакуума нс показана).После )ЩЯСсзной )тПс)к 1 Деталей 1 бРт 1 з венных сСзвй), последние ндеваО ПЯ стержень 5 т образуя пакет лезвий. ЗаСх к всрх- ПИМ КОПН с 1 Х ПЯ КОТЯ ЛСЗВИЙ КРСП 51 Г ВЫРЯВНИВаОщсс кольно 9, В резхльтатс чего Все пакеты лсзвп) оказываются установленныхи ня 20 равньх ряссто;тИях друг от друга по окружности, В В 11 клхНой камере создается...
Устройство для прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме
Номер патента: 406974
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, детали, нанесении, перемещения, покрытий, прямолинейного
...и подвергаемая продольному изгибу. Кроме того, каждая балка работает как множительный механизм, преобразуя малые температурные удлинения вдоль продольной оси в увеличенные в несколько раз перемещения средней точки. Если сила, действующая вдоль балки, больше критической, то малым приращениям длины соответствуют значительные перемещения средней точки. При нагреве упругих элементов точки 18 - 21 перемещаются в на. правлении, перпендикулярном осям упругих элементов 5 - 8 соответственно, Таким образом, каждый из упругих элементов 3 и 4 подвергается продольному изгибу, будучи подверженным силовому воздействию со стороны упругих элементов 6, 8 и 5, 7 соответственно. Для обеспечения деформации вследствие по терн продольной устойчивости...
Всесоюзну»я пдтеш1. -«; гго
Номер патента: 362073
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: всесоюзну»я, гго, пдтеш1
...тантал, титан). К нижней части корпуса параллельно катоду приваривается тонкий (0,1 - 0,3 лтя) диск (анод) б основание цилиндра, из такого же тугоплавкого материала. Для уменьшения теплоотдачи с нерабочей стороны нагревателя к держателю 4 приварен экран 7. Из корпуса нагревателя откачан воздух до давления 6 - 3 10-з млт рт. ст. Все устройство крепится посредством держателя 4 внутри вакуумной камеры в непосредственной близости от нагреваемой подложки 8.К катоду 1 нагревателя подводится высокое напряжение (до 6 кв). При подаче высокого напряжения на катод 1 внутри корпуса 5 в результате ионизации возникает аномальный тлеющий разряд, и между катодом 1 и диском (анодом) б протекает ток. Под действием тока диск б разогревается, Так как...
Устройство для нанесения ферромагнитных пленок
Номер патента: 365395
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: нанесения, пленок, ферромагнитных
...трацСПОртсра, цд ЛЕцтс ОТ)РОГО Зс 1 К)СЦ,1 СЦЫ КДССЕТЫ .с ДЛ 53 ССТ)ЦОВК 3 подлОжск. 1) лс 11 тс трдцсцортсра 1)сстс) 01- )с рСт)ЛС ) ПО раЗМЕру цаПЫЛяСМЫХ ПОДЛОиск. 1 с 1 змср О 1 Вс)стп 51 Обс,ОВ:цвяст цдс 13. Т:3 сцОСтЬ ВрСМСП 3, д СЛЕдОВатСЛЬПО тдгПЕПцк;и 3)ОС 303 плсцкп Во всей партии пзп)тяцлп,)С)Як П ЗС ЦОУстройТа)о рдботяст следуОщпм образом.11 ОСССс ГТС)1303)К 1 ПОдЛО)КС В 1 С 1 СССТяк с М.- Х Д 33333)1 с 1 )СРСМЦСи Ц 5) ПОДЛОЖСК В 1)с)КХ) ЦОП КЯМСРС ) СОЗ Е 1 сТС 51 ВЯКУУМ. С ЦОМОЦЕЦО ПЯГРЕП)ТЛ 4 ПОСС)СППЯСТС 5 ЦСООХ)Д 3)Д 51 ТС)ЦЕР 3- Тря ПОЛ,)ОЖСК. ЗЯТСЪ раз)ров 1 СТС СЛПТОК мстяллд и пспдрптслсс одновременным цзмсрс):,Пот пост 05 Пцой магнитоупругости контрос 3 3103 )лскп измерительным прибором 6.110 хост;жс)ци...
Устройство для транспортировки и смены подложек в вакуумных установках
Номер патента: 370279
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: вакуумных, подложек, смены, транспортировки, установках
...1 б, Передние кромки захватов 18 имеют заходные фаски 17. Между магазином б и осью поворота диска-держателя 11 расположен в направляющих 18 передвижной кулачок 19, связанный с механическим вакуумным вводом 20. Кулачок 19 кинематически связан с поворотным упором 21, снабженным возвратной пру370279 10 ииг иг,.2 жиной 22, Для ограничения крайних положений имеются два неподвижных упора 23 и 24. На неподвижной стойке 25 закреплен стержень 26, заостренный конец которого направлен вертикально вверх и принимает обработанные кассеты.Для загрузки кассет 2 из магазина 6 в диск- держатель 11 кулачок 19 поднимают при помощи механического вакуумного ввода 20 до упора 24 и поворачивают диск-держатель 11 в направлении стрелки А. При этом ролики 16,...
Нагреватель подложек для вакуумных установок
Номер патента: 373330
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Вихров, Рето, Смолкин, Фадеев
МПК: C23C 14/50
Метки: вакуумных, нагреватель, подложек, установок
...охлаждения нагревателя в вакууме около 1 10 -мм рт. Ст, от 600до 50 С равно 10 - 12 мин без дополнительныхохлаждающих устройств,зс Рабочая поверхность предлагаемого дугоНАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖ Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.Известен нагреватель подложек для вакуумных установок, представляющий собой металлическую полосу. Однако рабочая поверхность такого нагревателя ограничена.Целью изобретения является увеличение рабочей поверхности нагревателя. Это достигается тем, что металлическая полоса выполнена в виде прямолинейных площадок с выступами между ними, расположенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.На чертеже показан предлагаемый нагреватель. Он представляет собой...
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 374388
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
...размещены испаритель 2 и коаксиально установленные на приводном валу 3 барабаны 4 и б с независимыми приводами, причем внутренний барабан б выполнен с поворотными держателями подложек б, связанными через привод 7 с пультом управления (на чертеже не показан) и откачной системы (на чертеже не показана),Держатели подложек 8 и б с подготовленными для напыления деталями закрепляют в барабанах 4 и б, устанавливают испаритель 2, закрывают крышку камеры 1 и производят 5 откачку. Во время откачки барабаны 4 и 5 сдержателями подложек 8 и б приводят во вращение и производится очистка поверхности деталей при помощи тлеющего разряда, создаваемого электродом 9. После достиже ния рабочего разрежения в камере 1 внутренний барабан б устанавливают...
Устройство для охлаждения гибких подложек
Номер патента: 380750
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50
Метки: гибких, охлаждения, подложек
...полость барабана, а ось смо:ттцрована подвиисно и стЯожена П 1 цспосоолением для фиксации заданного положения.На фиг. 1 представлено пред.1 агаехтое усто, разрез; на фиг. 2 - разрез по А - А . 1; ца фиг. 3 - вид по ствелке Б ца посоолеццех э для;рцксаццц заданного положснця. Вавябян 1 см "цти:;вяг,Пя Осях 2 ц закрепленных в корпусах 7 и 8 перемоточного устройства вакуумной установки. Ось 2 через корпус 8 и вакуумное уплотнение 9 имеет выход в атмосреру, где шсстерцей Р сооб- ЦсСТСЯ С ПРЦВОДОХ.Каналы связаны с соответствующими штуцерами 11 и 12 подвода ц отвода охладителя. О Трубки 8 и 4 отогнуты в цротцвсполокныестороны, причем, трубка 4 длиннее трубки 8 и почти касается стенки оярябаца. Со стороны ЯтхОсферы Ось рычаГом 18 и закиВОм 14...
Устройство для непрерывной леталлизации цилиндрических оснований резисторов
Номер патента: 382770
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/50, H01C 17/08
Метки: леталлизации, непрерывной, оснований, резисторов, цилиндрических
...резисторов 8, входных шлюзов 9, зыходных шлюзов 10, направляющего цилцндрцческого лотка 11. Спираль 4 закреплена во втулках 12 и приводится во вращение приводом 13, который может быть выполнен в виде цилиндра с насаженной шестеренкой. Испарцтель 2 длительного действия в виде ленточного транспортера с ячейками 14, расположен под механизмом транспортировки. Нагревательные элементы 15 и 16 предназначены для прогрева и испарения сплава соответственно, Дозатор 17 служит для подачи определенных порций сплава в ячейки 14 цспарцтеля 2. Зкран 18 предохраняет основания резисторов 8 от осаждения на них паров сплава прц цх прохождении пад нагревательным элементом 15. Конструкция загрузочного устройства 3 обеспечивает высокую скорость ввода...
1вдтентно-текшпег: чет.
Номер патента: 382772
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C23C 14/36, C23C 14/50
Метки: 1вдтентно-текшпег, чет
...нан подложки в,од Цель изобр на обе сторонмощью механизма, состоящего из шестерен б и 7, одна из которых монтирована на оси 8, а другая - на оси 9, соединенной с вращающимся шлифом и механизмом вращения (на 5 чертеже не показаны). Вакуумная камераставится на металлическую плиту 10, соединенную с откачной системой. На плите монтировано распылительное устройство. Высота каждой .из оправив примерно на 0,5 лтм меньше О половины толщины покрываемой детали. В,одну из оправ помещается подложка, а другая ответная оправа ставится сверху и соединяется с помощью скоб 5, соединенных с осями 8, вставленными в пазы стоек 11. Катоды 15 шарнирно соединены со стойками 12 и подьемными механизмами 18 (на чертеже катоды ,1, 2 показаны в нерабочем...
412302
Номер патента: 412302
Опубликовано: 25.01.1974
МПК: C23C 14/50
Метки: 412302
...плоских пружин, плоскость наименьшей жесткости которых перпендикулярна к направленшо движения каретки 2. Устройство подключено к источнику тока.С целью исключения пластических деформаций при потере устойчивости упругих опор в условиях повышенных температур материал для последних выбирается с высокими ,механическими свойствами, например сплав Н 36 ХТЮ. Каретки изготовляются из материала с существенно отличающимся коэффициентом линейного расширения, например из ипвара.Устройство работает следующим образом. При подаче напряжения электрический ток проходит от каретки 2 через все упругие опоры к корпусу 1. При этом последние вследствие выделения джоулева тепла получают температурные удлинения, пропорциональные степени нагрева. Так как...
413217
Номер патента: 413217
Опубликовано: 30.01.1974
МПК: C23C 14/24, C23C 14/26, C23C 14/50
Метки: 413217
...ивращательного перемещений детали, испаритель снабжен механизмом возвратно-поступательного движения, а нагревательное приспособление консольно закреплено на торцовомразъеме камеры, причем на свободном егоконце укреплена направляющая втулка-изолятор,На фиг. 1 и 2 показано предлагаемое устройство для нанесения покрытий в вакууме на наружную поверхность полы.; цилиндрических деталей.Устройство состоит из камеры 1, испарителя 2, системы вакуумированця 3, электробло ка 4, нагревательного приспособления 5 и механизма 6 возвратно-поступательного и вращательного перемещений детали 7. Испаритель 2 снабжен механизмом 8 возвратно-поступательного движения. Нагревательное 10 приспособление 5 коцсольцо закреплено наторцовом разъеме 9 камеры 1, На...
417542
Номер патента: 417542
Опубликовано: 28.02.1974
МПК: C23C 14/50, H05K 3/18
Метки: 417542
...которых соответству ет количеству загружаемых подложек. Поуглам окон сделаны выступы (фаски) служащие опорными поверхностями при установке подложек. Толщина рамки 2 равна толщине подложек. По углам окон рамки 2 выполнены 10 центрирующне уступы, размеры которых соответствуют размерам подложки. Подвижная планка 3 имеет окна, а в двух диагонально противоположных углах каждого окна -- фиксирующие выступы для удержания подложек 15 в устройстве. По краям подвижной планкисделано четыре овальных отверстия под углом, например, 45 относительно сторон окна.В этих пазах размещены винты-направляющие 4, которыми также скреплеца рамка 2 и 20 основание 1. На подвижной планке 3 установлены винты-упоры 5, необходимые для работы возвратной пружины...
Устройство для нанесения покрытий в вакууме
Номер патента: 425986
Опубликовано: 30.04.1974
Автор: Екимов
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, нанесения, покрытий
...вакууме показано на чертеже.Устройство состоит из камеры 1, внутри которой укреплены испарители 2, 8 и вращающийся оарабан 4, на котором неподвижно смонтированы кассеты б,для обрабатываемых изделий, образующие многогранник, и дополнительные кассеты 6, смонтированные на осях 7 в вершинах многогранника с вэз-фклиоо те,;,425986.можностью разворота относительно этих осей.Работает устройство следующим образом.1 По достижении рабочего вакуума в камере1 включаются привод барабана 4 с кассетами5 б и 6 и иопарители 2 и 3. При этом еероисходнт,нанесение, покрытия на поверхности изделий, обращенвые к испарителям. Послеокончания напыления на одну сторону изделий, закрепленных в неподвижных кассетахб, иопаритель 3 выключается....
425987
Номер патента: 425987
Опубликовано: 30.04.1974
Авторы: Аузанс, Екимов, Специальное
МПК: C23C 14/50
Метки: 425987
...выполнены в виде ротора с горизонтальной осью вращения, внутри которого укреплены лопатки для перемешивания сыпучих материалов,Отличительной особенностью предлагаемой установки является то, что ее направляющее устройство выполнено в виде диска-крыльчатки, расположенного соосно с бункером-питателем.Это позволяет при сохранении качества наносимого покрытия увеличить производительность установки.Предлагаемая установка для нанесения покрытий на порошки показана на чертеже.Установка состоит из вакуумной камеры 1, питающего бункера 2, направляющего устройства - диска-крыльчатки 3, испарителя 4, приемного бункера 5, экрана 6 и привода 7.Работает установка следующим образом.Бункер 2 загружается материалом, подлежащим покрытию, и...
Удк 621. 793. 14. 002. 51(088. 8)
Номер патента: 432242
Опубликовано: 15.06.1974
Авторы: Латышев, Матвеева, Панкратьев
МПК: C23C 14/50
...19. Кассета 4 выполнена в виде сектора с поперечным пазом 20 и продольными каналами 5, расположенными в плоскости кассеты радиально и имеющими прорези 21. Каналы 5 закрыты крышками 22,На внутренней стороне нижней части 14 стойки находятся ограничители 23 с упорными винтами 24, а на кассете 4 со стороны ограничителей и между ними - выступ 25. С валом 16 подъемника при помощи полумуфты 26 сочленен сильфонный ввод вращения 27. Перемещение кассеты осуществляется рычажным механизмом перемещения с сильфоном, Вакуумноплотный зажим изделия 28 обеспечивается уплотнительным механизмом 29, расположенным в верхней части вакуумной камеры 1. Вакуумная камера присоединяется к вакуумной системе посредством патрубков 30.Введение, например, штанги 3 с...
Держатель полупроводниковых пластин
Номер патента: 1762339
Опубликовано: 15.09.1992
Авторы: Кагадей, Проскуровский, Янкелевич
МПК: C23C 14/50, H01L 21/268
Метки: держатель, пластин, полупроводниковых
...фиксаторов одно из лезвий 2, закреплено с возможностью поворота относительно другого лезвия 2, например. с помощью винтового соединения, что необходимо для осуществления загрузки-выгрузки пластин 3. Материал лезвий должен отвечать следующим требованиям:1. Быть хорошим проводником для обеспечения стока электрического заряда при обработке пластин пучками заряженных частиц;2. Иметь низкую теплопроводность для достижения минимального теплоотвода от обрабатываемой пластины;5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 3, Иметь высокую температуру плавления и достаточную химическую пассивность;4, Иметь хорошую конструкционную прочность.Всем этим требованиям в достаточной степени удовлетворяют тугоплавкие металлы, например, ЧЧ, Та, Мо.Толщина лезвий должна...
Устройство для нанесения покрытий на изделия
Номер патента: 1824458
Опубликовано: 30.06.1993
МПК: C23C 14/50
Метки: изделия, нанесения, покрытий
...соответствующеу электромагниту и тем самым перемецая поворотную платформу 8 по дуге окружности вместе с независимо и непрерывно врашаю цимся валом 13, на котором установлен подложкодержатель 12, При этом каждому поочередно включаемому электромагниту 16 соответствует один шаг угла поворота платформы 8 и подложкодержателя 12. При достижении подложкодержаелем 12 заданного положения отосительно источника осаждаемых частиц 15 подача импульсов на прямой вход сютого устройства прекращается, при этом включенным остается соответствующий злектроманит 16, удерживающий якорь 9 с платформой 8 и непрерывно вращающимся подложкодержателем 12 в фик." рованом положении. Усилие удержания о р,ьеляется величиной зазора между полюсными наконечниками...
Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме
Номер патента: 1827400
Опубликовано: 15.07.1993
Авторы: Буланкин, Василенко, Ивашов, Оринчев, Степанчиков
МПК: C23C 14/50
Метки: вакууме, детали, механизм, нанесении, перемещения, покрытий, прямолинейного
...перемещения содержит корпус 1, внутри которого расположен подвижный стержень 2 на опорах в виде упругих пружин 3. Упругие пружины 3 выполнены в виде бипластин 4 с углом наклона к горизонтали 40 - 50, жестко связанных между собой с возможностью подачи на них электрического напряжения регулируемой величины от источника напряжения 5. Бипластины 4 (фиг. 1) выполнены из металлов с различными коэффициентами линейного расширения или в виде биморфов (фиг. 2) - одна пластина 6 - металлическая, а другая 7 пьезокерамическая, Углы наклона бипластин к горизонтале 40-50 выбраны таким образом, чтобы перемещение стержня 2 было максимальным.Механизм прямолинейного перемещения детали при нанесении покрытий в вакууме работает следующим образом.При подаче...