C23C 14/24 — вакуумное испарение

Номер патента: 106689

Опубликовано: 01.01.1957

Авторы: Гринев, Зверков, Розин

МПК: C23C 14/24, C23C 14/50

Метки: вакуумная, камера, металлизации, пластин

...8 во втулки 9 вставляются своими цапфами 10 шесть рамок 11,На каждой рамке укреплены ограничители 12 и 13, а на диске 3 -пружины 1 ющне с огра р р е рамок,Пластины, подлежащие металлизации, укладываются в разъемные кассеты 1 б, которые в свою очередь закладываются в гнезда рамок 11 и запираются в них поворотными пружинами замками 17.В результате смещения центра тяжести рамок 11 относительно оси их вращения, а также взаимодействия ограничителей 12, 13 с пружинами 14, 15, происходит последовательное поворачивание рамок с пластинами в кассетах на 180 под действием собственного веса при вращении барабана посредством маховичка 18 и горизонтальное расположение рамок над центральным желобом-электроиспарителем 19. В последнем уложены...

Номер патента: 191661

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Колчин, Особое, Формозов

МПК: C23C 14/24

Метки: автоматическое, диэлектрические, напыления, пленок, подложки

...из рамки 4 подложек и рамки б масок, тщательно совмещаемых друг с другом перед процессом напыления. В прямолинейной трубе установлена каретка б, расположенная над выдвижной рамой 2 на вертикально перемещающихся направляющих 7. Горизонтальное перемещение каретки 6 осуществляется вращением ходового винта 8 посредством направляющих 9. Каретка 6 снабжена окном 10 для очистки ,подложек 11 тлеющим разрядом и окном 12 для напыления пленок на подложки 11. Подложки подаются к окнам 10 и 12 из бункера 13. При помощи кулачка 14 каретка 6 устанавливается на высоте в четырех положениях, при которых подложка в окне 12 напыления может совмещаться с маской 3. Каретка б может двигаться поступательно над масками 3 и проходить,под бункерами 13 подложек,...

Номер патента: 191988

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Алексеев, Ахмедов, Богушевичр, Губанов, Сибирев

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, металлизации

...отличающее что, с целью получения качественных тий при обработке изделий сложной к рации и увеличения производительно мера снабжена контейнером с секцио коведущей шиной, в котором испар кассеты с деталями расположены сек и подвижной кареткой со скользящим том, перемещающейся внутри или с камеры, служащей для подачи напряж секции токоведущей шины контейнер акууме, оложенс детася тем, покры- онфигусти, канной тоители и ционно, контакнаружи ения на рисоединением заявки1Известны устройства для металлизации в вакууме изделий с неподвижным расположением кассет с деталями и испарителей.Описываемое устройство отличается от известных тем, что вакуумная камера снабжена контейнером с секционной токоведущей шиной, в котором испарители и кассеты с...

Номер патента: 202684

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Борисов, Велемицина, Зайцев, Ломтев, Максимов, Понгильский, Сорокин, Ступин

МПК: C23C 10/16, C23C 14/24

Метки: изделия, нанесения, покрытий, термодиффузионных

...4 подвешены бруски 5 металлизатора.В центре камеры вокруг вертикально расположенной охлаждаемой двухстенной трубы б подвешена экранированная цилиндрическая кассета 7 с окнами 8 для изделий, Вместе с изделиями она вращается вокруг вертикальной оси рабочей камеры 1 от привода 9, а изделия, в свою очередь, вращаются вокруг своей оси от этого же привода через планетарную передачу 10,2В случае нанесения многокомпонентных по. крытий в каждом секторе устанавливают различные металлизаторы и поддерживают различные температуры в зависимосги от мате риала-металлизатора и степени вакуума.Расположение изделий в зоне наименьших температур рабочей камеры исключает рост зерна металла изделия.Привод 9 кассеты состоит из двигателя с редуктором и...

Номер патента: 218262

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Инайчев, Пупко

МПК: C23C 14/24

Метки: л1икросхем, напыления

...прслБЯи)с;1 ЬПОЙ 0 гкдки и прогрсня, обсспсПБЯощсго обсзгд кцндци. ьнутрснцсго колидкдПри помощи ндгрсндт с л с Й 1 О, 0 т к 2 1 к 2 и 3) О ь с ) 1 д и с ) ) у ж н 0 Г 0 к 0 лпака 2 нроизцолц ся срсз гр) б шронол 1,с ИЗ ООЪС)12 13 Н) г)СННСГО КОЛПБК 2 1 - Чсрсз ;ифрдг)у 12 Б Оп)рн илите 10 при откры- ГОМ ПОЛОЖСЦИИ СКОЛЬЗЩСЙ ЗсСЛОЦКИ 1 П 0 ок)1 Яини обсзПжцнднц 5 Осущсстнл 51 стся От кдкд Бсдкм)По)1 систсзы чссз т)боп 1)0 ЗОЛ1 д:О;Остиж:П 5 тр бусмОГО ЛЯБлс 11 ия, лсждисго Б Оолдс)и с:)сркпьсокого Бяку) мя. При дто)1 скОль 35 хцд 5 Здслон 1 д 11 П 2.ол)тся Б 32.кытом ноложсс 11 и, то ость Объсм Бн) тснисГО 10 колпдкд 1 изолирондн от объема ндружногоКОГПДКсДслсс произнолится рдзогрсБ и обезгяжиБЯИИС ИСП 2 Р 51 С)ОГО )12)сцс 1 ЛЯ ПР)И...

Номер патента: 234093

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Житкова, Пальцева, Репинский

МПК: C23C 14/24

Метки: нанесения, подложку, полимера, слоя

...с последующ 5 от.)ичаюи 1 ийсл тем, ч пленок с кристалличес ющих высокой адгезие кп, покрытие подложк конденсацией паров м 0 подложки, охлажденн нус 100 С минус 190 С водят в твердой фазе,потоком медленных эллоя покрей егто, ской с й 1.и проономой до бл тр Известны способы нанесения слоя полимера на подложку, основанные на покрытии подложки мономером с последующей его полимеризацией.Цель изобретения - получение пленок с кристаллической структурой, обладающих высокой адгезией к материалу подложки. Достигается это тем, что в предложенном,пособе покрытие подложки производят в вакууме конденсацией паров мономера на поверхности подложки, охлажденной до минус 100 - минус 190 С, полимеризацию проводят в твердой фазе, облучая слой мономера...

Номер патента: 235902

Опубликовано: 01.01.1969

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумная

...клапанами для сброса избыточного давления инертного газа.Это уменьшает натекание в камеру газов, например О 1-1,0, СО., оказывающих влияние на технологические операции. Указанные газы, взаимодействуя с молекулами напыляемого вещесгва, изменяют структуру пленок.Иа чертеке схематически изображена предлагаемая установка.Рабочая камера установки имеет колпак 1 и плиту 2, подключенную при помощи трубопровода 3 к диффузионному насосу (на чертеже не показан), Все вводы 4 в рабочую камеру (токовые, газовые, механические) смонтированы иа плите, и через неплотности в рабочий объем могут проникать газы, оказывающие на проводимые технологические операции вредное влияние. Поэтому камера в области плиты и часть трубопровода заключе.ны в...

Номер патента: 268121

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Ита, Специальное

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуум, нанесения, покрытий, ьиблиотека

...арабаном 2, спина вращающиеся Извостцо устройство для цанесгцпя покры. тий )в ва)кууме, содержащее горизонтальнс) расположенную вакуумную камеру с несу 1 цим барабаном, испаритель, блэк электрэобдрудсвявця и ст)качнус) систему.1 рсдложеццсе устройство стлпчдсгся ст и: Встц ОГО те м, ч 1 цел э 1) ц 0 В ьц ц с 11 ц 51 ц - дежпссти раООты Онэ спасжснс жесткО зякреплеццьгм цса днище вакуумной камеры тоцкс)- стенным цили)ндрическпм корпусом, ги)утр; кстсрсГО рясполо)кен )прпВсдцой Вя:1, сед)1- пенпый через ступи 1 у )с 1 гесущпх 1 Оард бац:1, опирающимся одним из торив ца вращающиеся о)поры, закрепленные ца дццшг вакуумной камеры.1-а фиг. 1,представлено предложенное устройство, общий вид; на фиг. 2 - вцд А ця фиг. 1; на фиг. 3 - разрез...

Номер патента: 287493

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Радионов, Сандлер

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...1, обкатывая шестерню б, вращается вокруг своей оси.5 В это же время нагреватель 2 при неизменном кольцевом зазоре относительно тигля 1 совершает круговые движения. Благодаря заданному движению, исключающему вращение нагревателя 2 вокруг своей оси, можно без 10 скручивания токоподвода 3 обеспечить надежное энергопитание испарителя, что позволяет получать равномерные покрытия. для вакуумных устачь, нагреватель и торитель отличается от получения равномерстановлен на оси санетарного механизма, на шатуне кривошипкривошип которого водилом сателлитной редмет и етения ан описываемыи испари пок пя вакуумнь, нагреваттем, что, с,гля 1, нагревателя 2 и тоь расположен на оси 4 саб планетарного механизкже неподвижную шестерагреватель 2 укреплен на...

Номер патента: 322422

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Бычко

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...в вакууме.Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыляемый стержень с держателем, опирающийся на опорную площадку.Цель изобретения - обеспечить равномерность распыления материала.Для этого стержень выполнен снаконечником, свободно опирающрым концом на опорную площадку.На чертеже представлен предлагаемый испаритель, общий вид.Он имеет нагревательный элемент 1 и распыляемый стержень 2 с держателем д. Стержень 2 выполнен с конусным наконечником, свободно опирающимся острым концом на опорную площадку 4. Нагревательный элемент 1 обхвачен экраном б. Нагревательный элемент и экран установлены на керамическом основании б, полость между нагревательным элементом и экраном соединена с рабочим объемом...

Номер патента: 289148

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Вильнюсский, Вищакас, Гайд, Монтримас

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, испаритель, нанесения, покрытий

...для нанесения покрытий в вакууме отличается от известного тем, что резервуар снабжен крышкой с каналами, выполненной в виде поплавка с вмонтированными внутри нее электронагревателями и змеевиковым холодильником, установленным в нижней части резервуара. Кроме того, внутренняя поверхность крышки снабжена выступами, окружающими ее каналы.Предложенный испаритель улучшает качество покрытий и повышает производительность труда.На чертеже изображено устройство, общий С включением электронагревателей 2, б, 9резервуар заполняют цспаряемой жидкостью и поддерживают необходимый уровень посредством дозатор а 3, который управляется 5 сигналом, поступающим от контакта 10 крышки 4. Когда количество испаряемой жидкости в резервуаре уменьшается,...

Номер патента: 290966

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Абрамов, Иванов, Кудетщов, Моска, Сычев

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, внутренние, нанесения, поверхности, покрытий, полых

...с углублением, форма которого соответствует форме тигля с испарлемым всщсством,), токопровода 4, шпинделя 5 для закрепления изделия б и механизма вращенияшпинделя (ца чертеже цс показан).Шпиндель 5 цсподви)кпо закрепляют навалу 7 механизма вращения, а изделие б, зо Встав;)сппос В ст)кап )стт 1 иав.1 ив 11) г и шпинделе 5 и фикс руют вицтом 9. На мсталический стсрежень 10, вставленный в отверстие стойки 11, надевают изолирующую ксрампсск О Осцов 2, па котор) О патлгива 01 гибкую тугоплавкую лепту 1, в углублении которой лсжит испа рясОс ВсцсстВО д. Н)1 Выст пающий из отверстия стойки 11 ксцп и стержня 10 цадсва)от керамическую шайбу 12, изолпруюгцую ксра.,;пчсскую втулку И, токо- подвод -/ и изолирующую керамическую шайбе 1.1, и Всс...

Номер патента: 297706

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Абеле, Киршфельд, Специальное

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумную, ввода, вывода, камеру, нее, плоских, шлюзовое

...один из роликов 5 состоит из набора телвращения, например цилиндров, а другой ролик б, установленный в подшипниках, снабжен вакуумплотным выводом, связанным сприводом 7.Тела вращения ролика 5 имеют возможность радиального перемещения в пазу 2 корпусной пластины на максимальную толщину пропускаемого изделия, Пазы вакуум- плотно закрыты крышками, необходимы ми для сборки или разборки устройства, Корпусные пластины снабжены патрубками для присоединения вакуумных насосов, соединяющих перепад давления на ступенях шлюзового устройства.10 Изделие 8, подлежащее подаче в вакуумную камеру или следующее из вакуумной к- меры, попадает своим передним концом между роликами. Во время прохождения изделия через роликовый шлюз приподняты только те 15...

Номер патента: 297707

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Гусев, Урь

МПК: C23C 14/24

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...основание со смонтированными на нем поджигающим электродом закрепляется в полости дугового электрода 2 так, что поджигающий электрод находится в полости и полностью ограничивается от окружающего пространства стенками электрода 2 и изоляционным основанием,Боковая поверхность дугового электрода 2касается рубашки б, по которой циркулируетохлаждающая жидкость.На дуговые электроды 1 и 2 подается на 5 пряжение 3000 - 4000 в промышленной частоты. Через поджигающий электрод пропускается ток 100 в 2 а, электрод разогреваетсяи нагревает неохлаждаемую верхнюю частьдугового электрода 2.10 Нагретая поверхность дугового электрода 2 эмиттирует электроны, которые бомбардируют дуговой электрод 1 в тот полупериодвысокого напряжения, когда он...

Номер патента: 298704

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Маркос

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...я покрытий в ваель металла в виде сией, огличвоитееся ия однородных по керамических плеспарителем диэлек. л испарителем ме. оиство лля нанесен содержащее испарит ы проволочных стерн то, с целью получен ге и составу металло тройство снабжено ирасполоукеццым по а одной с нпм оси. кую родс присоединением заявки М публиковано 16.1.1971. Бюллетень М 1 Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее испаритель металла в виде системы проволочных стержней.Предложенное устройство отличается о вестного наличием испарителя диэлект расположенного под испарителем металл одной с ним оси. Это позволяет полу однородные по толщине и составу метал рамические пленки.На чертеже...

Номер патента: 307118

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Стерликов

МПК: C23C 14/24

Метки: нанесения, покрытий

...осуществляют путем обжатия.Предложенный способ реализуется следующим образом.Для нанесения покрытий на детали подшипника предварительно обезжиренный собранный подшипник подвергают дополнительной очистке тлеющим разрядом, а затем металлизации при вращении подшипника, При этом наносимые на рабочие поверхности слои подвергаются механической деформации (обжатию) за счет радиального зазора и относительного перемещения внутреннего кольца подшипника, тел качения и сепаратора по отношению к неподвижному наружному кольцу и наоборот.10 В результате снижается пористость, улучшаются физико-химические и механические свойства покрытий на рабочих поверхностях деталей подшипника, а также увеличивается их адгезия с основой. Кроме того снижается...

Номер патента: 310954

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Пдт, Родичев, Фурман

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, испарения, скорости

...в качестве измерительных 15элементов используют термочувствительныеэлементы, помещенные на различном удалении от испарителя, и регистрируют разностьих показаний,В двух сечениях потока испаряемого вещества на разном удалении от испарителя помещают термочувствительные элементы, например термопары, соединенные по дифференциальной схеме. Энергия частиц испаряемого вещества, осевших на спай термопары превра чщается в тепловую, за счет чего возникает(термо-э.д.с.) термопары.В рабочих условиях на термопары воздействует также излучение испарителя и другихЭлементов подколпачной "истемы, 30 Для любого момента времени термо-э.д.с. термопар зависит от теплового баланса термопар, работающих в вакууме, с учетом потерь тепловой энергии за счет...

Номер патента: 314821

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Катц, Феденюк, Хаскович

МПК: C23C 14/24

Метки: покрытий1

...тлеющем разряде или путем радиационного нагрева.Покрытия получают металлизацией в вакууме по грунтовочному подслою, полимеризацию которого ведут непосредственно послеесса металлизации. Полимеризация подможет осуществляться, например, вщем разряде или радиационным нагреПредмет изо рет утем металием грунтотем, что, с тий, осущеочного подесса металния покрытии п с использован тли чаю щ ийся адгезии покрь зацию грунтов нно после процпроц слоя тлею :вом., отличающийсуществляют в тем, чт леюще ф охраняют сво при хорошей ания, стирки, дложках из п Получаемые покрытия.зико-химические свойствазии к основе после истической чистки и т. п. на п. 1, отличающийся осуществляют путе ем, чт радиаадге- химиенок,Изобретение отнния покрытий метстности к...

Номер патента: 316762

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Шепрут

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумных, закрепления, подложек, установках

...устройство отличается тем, что контактные элементы и термопара закреплены на одном основании и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель. Это обеспечивает удобство смены подложкодержателя,На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид сбоку.Устройство состоит из подложкодержателя 1, контактных элементов 2 и термопары 3, Контактные элементы 2 и термопара 3 закреплены на одном основании 4 и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель. Контактные элементы и термопара служат опорами для устанавливаемого на них подложкодержателя, в котором имеются два контактных эле мента 5, соединенных со свидетелем б, и углубление для...

Номер патента: 318638

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Кундзинь, Ьиьлио

МПК: C23C 14/24

Метки: нанесения, переменнойтолпиной, покрытий

...накрыто вакуумным колпаком 8 и откачивается высоковакуумным насосом через отверстие 9 в плите основания 10. Наносимый материал напыляется из термического испарителя 11.Расстояние между дисками, а также между диском 1 и подложкой 3 должно быть минимальным, Диски можно поменять местами, но следует сохранять состояние скорости вращения. Специальной стабилизации скорости вращения не требуется. Скорость вращения дисков выбирается такой, чтобы за время нанесения заданной толщины они сделали по меньшей мере несколько сот оборотов. При этом она должна быть тем больше, чем нестабильнее поток 12 наносимого вещества, с тем, чтобы во время одного оборота диска 2 можно было с заданной точностью считать поток постоянным,Расположение дисков на осях...

Номер патента: 329251

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Акберов, Вайнштейн, Жуковска, Сайфуллин, Смышл, Фахрутдинов, Черников, Чистополов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...изобретения является создаяие такой установки, в которой был бы повышен коэффициент рабочего объема камеры. Эта цель достигается тем, что камера выполнена в виде тороида с неоткачиваемой внутренней полостью.На чертеже представлена описываемая установка, общий вид.Установка содержит камеру 1 в виде тороида, внутри которой расположены источник 2 распыляемого металла и вращающийся держатель 3 подложек. Герметизация камеры обеспечивается крышкой 4, которая передвигается совместно с тележкой б; герметизация вращающегося вала - манжетным уплотнителем. Держатель подложек вращается отэлектродвпгателя 6 через шкнвную передачу 7 и червячный редуктор 8.Источник распыляемого металла расположен на внутренней стенке камеры и изолиро ван с помощью...

Номер патента: 349768

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Карповиц, Лутрин

МПК: C23C 14/24

Метки: rtxhhifghih, вакуумных, деталиnatththo, нанесения, покрына

...этих камер, а также перемешиванием изделий при помощи продольных ребер, располояенных по наружному диаметру шнека.Вещество для покрытия помещается в испарители 4, Так как вакуумная камера 3, ка налы 9 и 10 и меястеночные полости камер напаривания 5 и б представляют собой за,чк,нутый вакуумный объем, стеньки которото нагреваются нагревателями 23 до температуры, при которой происходит интенсивное ис парение напариваемого вещества, то в этом замкнутом вакуумном объеме создается давление насыщенных паров, которые имеют выход из него через отверстия во внутренних стенках камер напаривания 5 и б. Для обес ,печения равномерного напаривания изделия со всех сторон отверстия, через которые поступают пары напариваемого вещества,...

Номер патента: 374390

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 14/24

Метки: 374390

...служит основанием установИзобретение относится к нанесению покрытий в вакууме.Известна установка для н иятий в вакууме, содержащая ,отсистему и систему охлаждения,Однако работа известной установки зависит от наличия водопровода и температурыпоступающей воды.Цель изобретения - создание установки,работа которой не зависит от наличия водопроводной сети.Предлагаемое устройство отличается тем,что система охлаждения выполнена автономной и состоит из резервуара, водяного насосаи холодильного агрегата, причем резервуарсистемы охлаждения служит основаниемустановки.На чертеже изображена предлагаемая уснонка, общий вид.Установка имеет камеру 1, откачную систему 2 и автономную систему охлаждения,состоящую из резервуара 3, водяного насоса4 и...

Номер патента: 413217

Опубликовано: 30.01.1974

МПК: C23C 14/24, C23C 14/26, C23C 14/50 ...

Метки: 413217

...ивращательного перемещений детали, испаритель снабжен механизмом возвратно-поступательного движения, а нагревательное приспособление консольно закреплено на торцовомразъеме камеры, причем на свободном егоконце укреплена направляющая втулка-изолятор,На фиг. 1 и 2 показано предлагаемое устройство для нанесения покрытий в вакууме на наружную поверхность полы.; цилиндрических деталей.Устройство состоит из камеры 1, испарителя 2, системы вакуумированця 3, электробло ка 4, нагревательного приспособления 5 и механизма 6 возвратно-поступательного и вращательного перемещений детали 7. Испаритель 2 снабжен механизмом 8 возвратно-поступательного движения. Нагревательное 10 приспособление 5 коцсольцо закреплено наторцовом разъеме 9 камеры 1, На...

Номер патента: 417541

Опубликовано: 28.02.1974

МПК: C23C 14/24

Метки: 417541

...тем, что с целью получения бериллиевых покрытий ца изделиях, удаленных от металлизатора ца значительное расстояние (до 400 мм), обработку осуществляют при непрерывном пропускании инертного газа от ме таллизатора к изделию. Способ иллюстрируется чертежом Изделия 1 нагревают всообщающейся с контейнаходится металлизатор3. От порошковой смесирывно пропускают ицертнгелий. Температуру изделниже 300 С, температура1100 С. П р им е р 1. Бериллизацию изделий из стали 25 Х 1 МФ проводят при температуре изделий 400 - -600 С. Порошок бериллия нагревают в вакууме 6 10 -мм рт. ст. до 1100 С.Затем над порошковой смесью по направлению к изделиям пропускают гелий при снижении вакуума до 8 10 - 2 мм рт. ст.В течение 15 час ца изделиях с температурой...

Номер патента: 1108781

Опубликовано: 30.12.1985

Автор: Аракелян

МПК: C23C 14/24

Метки: микротечей, уплотнения

...установок, что усложняет воз.можцость применения извсстттого способа,так как для его осуществления потребуетсясоздание специальных дорогостоящих напылительных установок с соответствующими раз.мерами вакуумной камеры, Кроме того,создать надежное уплотнение микротечитаким способом це удается.Целью изобретения является повышениенадежности и упрощение технологтцт уцлотце.ния мцкрогечей крупногабарипгьтх деталей,Цель достигается тем, что по способу,уплотцешя мцкротечей, включающему ва.08781 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 куумное испарение металла и нанесение его на очищенную и обезжиренную наружную поверхность детали с течью при давлении-ене более 10 мм рт. ст., в объеме; примы. катощем к внутренней поверхности детали" с, течью,...

Номер патента: 1257113

Опубликовано: 15.09.1986

Авторы: Левченко, Радзиковский

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумных, действия, испаритель, направленного, установок

...экраны, выходной канал выполнен в виде съемногосимметричного паропровода, посрединедлины которого выполнено кольцевое 30углубление, а тепловые экрань 1 охватывают тигель ниже уровня кольцевогоуглубления,На фиг.1 изображена конструкцияиспарителя с цилиндрическим выход- Здым каналом; на фиг.2 - то же, сконическим выходным каналом.Прямоканальный графитовый тигель1, снабженный молибденовыми токопроводами 2 в виде хомутов, стягиваемых болтами 3, окружен тепловымиэкранами 4,5. Выходной канал 6 скольцевым углублением 7 по его середине свободно расположен в тигле,в который загружен испаряемый материал 8.Испаритель работает следующим образом. Загрузив в тигель 1 испаряемыйматериал, устанавливают сверху выходной канал 6 с тепловыми экранами...

Номер патента: 1257114

Опубликовано: 15.09.1986

Авторы: Левченко, Радзиковский

МПК: C23C 14/24

Метки: испаритель

...тигель и вставку для загрузкииспаряемого вещества, установленнуюв тигель,Недостатком этого испарителя является низкая скорость испарения.Цель изобретения - повышение ско- . рости испарения.Поставленная цель достигается тем, что в испарителе, содержащем коаксиально расположенные нагреватель, радиационные экраны, тигель и вставку для загрузки испаряемого вещества, установленную в тигле, вставка установлена в тигле с зазором и выполнена из пористого материала, причем обьем открытых пор вставки равен или превышает объем загрузки испаряемого вещества.На чертеже схематически изображен предлагаемый испаритель.Термический испаритель состоит из граФитового тигля 1, внутри которого расположена вставка 2, выполненная из пористого...

Номер патента: 1257115

Опубликовано: 15.09.1986

Авторы: Левченко, Радзиковский

МПК: C23C 14/24

Метки: испаритель

...всей плошади, на которую осаждается испаренный материал, и тем самым уменьшить соотношение меду этой площадью и полезной площадью зоны напыления, где обеспечивается требуемый разброс по толщине пленки. При этом за пределами полезной зоны напыления пленка имеет более резкий спад толщины, что снижает расход испаряемого материала. 15Отверстие в испускающей диафрагме в виде сходящегося-расходящегося сопла устраняет турбулентные завихрения выходящего потока при высокой скорости нанесения и повышает тем самым 0 равномерность напыляемой пленки. Это ведет к расширению зоны напыления, а значит, и к снижению расхода напыляемого материала.Коллимирующие диафрагмы с кольце выми прорезями осуществляют дополнительную коррекцию диаграммы...

Номер патента: 1110212

Опубликовано: 07.03.1987

Авторы: Боярунас, Гаврилов, Галицкая, Жедь, Лейн, Синельщиков, Степнов

МПК: B23P 15/28, C23C 14/24

Метки: инструмент, режущий

...нагрев инструментальной основы и нагрев ее в процессе формирования покрытия должен1110212 Ьбыть ниже температуры ее разупроч- и на червячные фрезы ф 24 мм, изнения с целью сохранения стойкост- готовленные из стали 9 ХС, наносиных характеристик режущего инстру- лись износостойкие покрытия методоммента, При предварительном разог- конденсации с ионной бомбардировкойреве основы до температуры ниже тем- на установке "Булат-зМ" при раэлич 5пературы ее раэупрочнения более, . ном сочетании температуры разогречем на 100 С, количество тепла, ак- ва основы и давления газа-реагента.кумулирующееся в объеме инструмента, Одновременно с инструменом в канедостаточно для интенсификации ме- меру устанавливался образец из маталлургическалл гических и...