C23C — Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще

Страница 96

Расплав для борирования стальных изделий

Номер патента: 1445250

Опубликовано: 27.09.1999

Авторы: Аксенов, Анфиногенов, Вострецов, Илющенко, Кондратов, Лукин, Рахновецкая, Чернов

МПК: C23C 8/42

Метки: борирования, расплав, стальных

1. Расплав для борирования стальных изделий, включающий галогениды натрия и вещество, выбранное из группы, содержащей бор и полиборид магния, отличающийся тем, что, с целью увеличения коррозионной стойкости изделий и повышения технологичности расплава, он дополнительно содержит оксид бора при следующем соотношении компонентов, мас.%:Оксид бора - 55,0 - 79,5Галогениды натрия - 19,0 - 44,5Вещество, выбранное из группы, содержащей бор и полиборид магния - Остальное2. Расплав по п.1, отличающийся тем, что в качестве галогенидов натрия используют фторид натрия.3. Расплав по п.1, отличающийся тем, что в качестве галогенидов натрия используют смесь, содержащую, мас.%:...

Раствор для фосфатирования

Номер патента: 1324343

Опубликовано: 20.10.1999

Авторы: Капралов, Кутузов, Чумаевский

МПК: C23C 22/13, C23C 22/14

Метки: раствор, фосфатирования

Раствор для фосфатирования, содержащий фосфорный ангидрид, ионы цинка, никеля, нитратов, хлоратов, фтора, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости и толщины покрытия, он дополнительно содержит цитраконовый ангидрид при следующем соотношении компонентов, г/л:Фосфорный ангидрид - 4 - 27Ионы цинка - 6 - 28Ионы никеля - 0,04 - 0,3Ионы нитратов - 9 - 42Ионы хлоратов - 0,12 - 0,8Ионы фтора - 0,06 - 0,5Цитраконовый ангидрид - 0,005 - 0,06

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках

Номер патента: 884482

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Васильев, Герасименко, Ободников

МПК: C23C 14/00, H01L 21/24

Метки: диэлектриках, металлических, покрытий, полупроводниках, создания

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках, включающий нанесение металла на подложку и последующий нагрев, отличающийся тем, что, с целью исключения нагрева подложки, уменьшения глубины проникновения металла в подложку, нагрев осуществляется импульсом СВЧ-излучения мощностью импульса, обеспечивающей плотность поглощенной энергии 0,1 - 6 дж/см2, длительностью импульса менее 10-5 с и частотой излучения, определяемой по формуле: где d - толщина металлического покрытия; - проводимость данного металла;

Устройство для нагрева подложек в вакууме

Номер патента: 1662127

Опубликовано: 20.11.1999

Авторы: Лубышев, Мигаль

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нагрева, подложек

Устройство для нагрева подложек в вакууме преимущественно к установкам молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащее корпус с размещенными в нем нагревателем и держателем подложек, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения однородности температурного профиля на подложках, нагреватель снабжен тепловыравнивающими пластинами из пиролитического нитрида бора и размещен между ними, при этом плоскости спайности пластин параллельны нагревателю, а толщина каждой пластины менее 4 мм.

Способ азотирования тугоплавких металлов

Номер патента: 1313000

Опубликовано: 20.11.1999

Автор: Гузеев

МПК: C23C 8/36

Метки: азотирования, металлов, тугоплавких

Способ азотирования тугоплавких металлов, включающий размещение обрабатываемого изделия в азотсодержащей электропроводной среде и создание постоянного напряжения между электродом-деталью и дополнительным электродом из того же материала, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса азотирования, в качестве азотсодержащей среды используют порошок нестехиометрического нитрида титана TiNx, где x = 0,1 - 0,95 с дисперсностью частиц 1 - 100 мкм, а между электродами поддерживают напряженность электрического поля 90 - 200 В/м при плотности тока более 0,5 А/мм2, причем в качестве анода используют азотируемое изделие.

Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум

Номер патента: 1663962

Опубликовано: 20.11.1999

Авторы: Давыдов, Ронжин, Терехов, Шойхет

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуум, выгрузки, загрузки

1. Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум, содержащее рабочую и шлюзовую камеры с затвором, съемный контейнер с подложкодержателем и затвором, расположенными в шлюзовой камере, шток с приводом возвратно-поступательного перемещения, соединенный с затвором шлюзовой камеры, и узел сцепления затворов контейнера и шлюзовой камеры, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства за счет улучшения его герметичности, оно снабжено дополнительными приводами и полым корпусом, причем один из дополнительных приводов выполнен с упором, закрепленным на корпусе рабочей камеры с возможностью вращения и зацепления со штоком привода возвратно-поступательного перемещения, а другой...

Состав для нанесения покрытий на стальные изделия на основе карбида титана

Номер патента: 1527930

Опубликовано: 10.12.1999

Авторы: Волошенко, Грановский, Гусев, Кравцов, Мухаметшин, Филин, Хамзин, Шумилов

МПК: C22C 19/05, C22C 29/10, C22C 32/00 ...

Метки: изделия, карбида, нанесения, основе, покрытий, состав, стальные, титана

Состав для нанесения покрытий на стальные изделия на основе карбида титана, отличающийся тем, что, с целью повышения антифрикционных свойств покрытия, он дополнительно содержит дисульфид молибдена, порошок самофлюсующегося сплава марки ПР-Н73х16С3Р3 при следующем соотношении компонентов, мас.%:Дисульфид молибдена - 5,0 - 15,0Порошок самофлюсующегося сплава марки ПР-Н73х16С3Р3 - 42,0 - 50,0Карбид титана - Остальное

Способ получения карбидных покрытий

Номер патента: 1145686

Опубликовано: 20.12.1999

Авторы: Ермакова, Мурай, Сурмило

МПК: C23C 10/26, C23C 8/52

Метки: карбидных, покрытий

1. Способ получения карбидных покрытий, включающий загрузку в реактор с обрабатываемыми деталями измельченного карбидообразующего элемента, преимущественно титана, нагрев при пониженном давлении и введение в реактор четыреххлористого углерода, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий, одновременно с четыреххлористым углеродом в реактор вводят уротропин.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что уротропин вводят одновременно в виде смеси при следующем соотношении компонентов, мас.%:Уротропин - 40 - 70Четыреххлористый углерод - Остальное

Раствор для фосфатирования стальных и чугунных поверхностей

Номер патента: 1369334

Опубликовано: 27.12.1999

Авторы: Капралов, Скворцова, Чумаевский

МПК: C23C 22/13, C23C 22/14

Метки: поверхностей, раствор, стальных, фосфатирования, чугунных

Раствор для фосфатирования стальных и чугунных поверхностей, содержащий ионы цинка, фосфата, нитрита, сульфата, хлората и никеля, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости покрытия, он дополнительно содержит моносахариды и 5-оксиметилфурфурол при следующем соотношении компонентов, г/л:Zn2+ - 16,1 - 22,1NO-3 - 9,2 - 14,6P2O5 - 11,8 - 17,8SO2-4 - 11,9 - 19,5Ni2+ - 0,11 - 0,20ClO-3 - 0,14 - 0,50Моносахариды - 0,0014 - 0,145-оксиметилфурфурол - 0,00007 - 0,007Вода - До 1 л

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Номер патента: 1561548

Опубликовано: 27.12.1999

Авторы: Воскресенский, Перова, Шкурко

МПК: C23C 14/24, C23C 14/54

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее подложкодержатель, испаритель в виде тигля, заслонку, установленную между испарителем и подложкодержателем, и датчик проводимости наносимого покрытия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок и повышения коэффициента использования материала покрытия, датчик проводимости установлен на заслонке со стороны испарителя, при этом датчик проводимости выполнен длиной рабочего участка, не превышающей диаметра тигля, и установлен по оси тигля.

Раствор для фосфатирования металлической поверхности

Номер патента: 1407101

Опубликовано: 27.12.1999

Авторы: Краснова, Мазилов, Чумаевский

МПК: C23C 22/07

Метки: металлической, поверхности, раствор, фосфатирования

Раствор для фосфатирования металлической поверхности, содержащий соединения, образующие при диссоциации ионы цинка, магния, никеля, нитрата, фосфата, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости фосфатного покрытия в комплексе с лакокрасочным, он дополнительно содержит N- -оксиэтил)-иминодиуксусную или левулиновую кислоту при соотношении компонентов, г/л:Соединение, образующее ионы Zn2+ (в пересчете на Zn2+) - 0,8 - 4,6Соединение, образующее ионы Mg2+ (в пересчете на Mg2+) - 0,19 - 1,5Соединение, образующее ионы Ni2+ (в пересчете на...

Композиционный порошковый материал для газотермического напыления и способ его получения

Номер патента: 1700949

Опубликовано: 10.01.2000

Авторы: Агапов, Ивашин, Коннова, Лекарев, Максимов, Симма

МПК: B22F 1/02, C23C 4/10, F04D 29/16 ...

Метки: газотермического, композиционный, материал, напыления, порошковый

1. Композиционный порошковый материал для газотермического напыления срабатываемых уплотнительных покрытий, содержащий конгломерированные частицы на основе нихрома, включающие нитрид бора на связующем из силиката натрия, отличающийся тем, что, с целью повышения прирабатываемости, жаро- и термостойкости покрытий при сохранении высоких прочностных свойств, он дополнительно содержит фтористый кальций, частица выполнена двухслойной и состоит из ядра и оболочки, причем ядро является гранулой, содержащей компоненты в следующем соотношении, мас.%:Нитрид бора - 62,5 - 87,0Фтористый кальций - 7,0 - 25,5Силикат натрия - 6,0 - 16,5а оболочка содержит компоненты в следующем...

Испаритель

Номер патента: 1545654

Опубликовано: 27.01.2000

Автор: Темиров

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

Испаритель, содержащий тигель с нагревателем и управляющую пружину, отличающийся тем, что, с целью повышения качества наносимых покрытий за счет стабилизации диаграммы направленности испарителя, пружина размещена со стороны дна тигля соосно с ним, причем пружина выполнена с жесткостью, определяемой выражением Z = Pp S, где Pp - удельный вес испаряемого материала, г/см3; S - площадь поперечного сечения тигля, см3, а тигель расположен внутри нагревателя с длиной боковой стенки, определяемой выражением Н 2h, где Н -...

Устройство для нанесения термодиффузионного покрытия

Номер патента: 959447

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Гулякин, Мушков, Нечаев, Путин, Путина, Семянников, Титаренко, Чутков

МПК: C23C 10/28

Метки: нанесения, покрытия, термодиффузионного

1. Устройство для нанесения термодиффузионного покрытия, содержащее реторту с крышкой и расположенную в ней съемную обечайку и металлизатор, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и снижения расхода металлизатора, обечайка выполнена в виде полого стакана и равномерно расположенными по его наружной поверхности вертикальными ребрами, установленного на опоре, при этом отношение внешнего диаметра обечайки к внутреннему диаметру реторты составляет 0,80 - 0,95.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ребра выполнены в виде ряда стержней.

Способ получения износостойкого покрытия

Номер патента: 1779073

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Баертуев, Водопьянов, Кашапов, Кожевников, Козик, Нестеренко, Покушалов

МПК: C23C 14/00, C23C 14/58

Метки: износостойкого, покрытия

Способ получения износостойкого покрытия, включающий последовательное осаждение на изделие первого слоя из нитрида переходного металла, промежуточного оксидного слоя и второго слоя из нитрида переходного металла, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытия, слои из нитрида переходного металла наносят ионно-плазменным методом, толщиной 2 - 3 мкм, промежуточный слой наносят методом термолиза металлоорганического соединения, причем в качестве оксида промежуточного слоя используют оксид кремния, толщиной 0,25 - 1,0 мкм, а после нанесения второго слоя нитрида полученную структуру облучают гамма-квантами дозой (1 - 5)

Способ упрочнения режущего инструмента

Номер патента: 1788786

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Будорагин, Булич, Водопьянов, Нестеренко, Покушалов

МПК: C23C 8/36

Метки: инструмента, режущего, упрочнения

Способ упрочнения режущего инструмента, включающий ионное азотирование и нанесение износостойкого покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости и надежности инструмента, в качестве износостойкого покрытия наносят слой из оксида алюминия толщиной 2 - 3 мкм, который формируют в процессе термического разложения на поверхности алкоголята алюминия.

Способ упрочнения металлорежущих инструментов из быстрорежущих сталей

Номер патента: 1536857

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Беликов, Рузаев

МПК: C23C 14/32

Метки: быстрорежущих, инструментов, металлорежущих, сталей, упрочнения

Способ упрочнения металлорежущих инструментов из быстрорежущих сталей, включающий закалку, отпуск, механическую обработку и нанесение износостойких покрытий в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости инструмента, отпуск осуществляют при 550 - 570oC и совмещают его с нанесением покрытий.

Способ финишной обработки поверхности изделий из нержавеющей стали

Номер патента: 1455761

Опубликовано: 10.03.2000

Авторы: Афанасьев, Жутяев, Комиссаров, Кудашев, Махлин, Поляков

МПК: C23C 14/00

Метки: нержавеющей, поверхности, стали, финишной

Способ финишной обработки поверхности изделий из нержавеющей стали, включающий облучение поверхности ионами инертного газа с энергией 5 - 10 кэВ в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения класса чистоты обработки поверхности, сокращения длительности обработки и одновременного повышения упрочения поверхности, облучение ведут ионами азота интенсивностью (3-9) 1414 ион/см2 с, дозой (8 - 12) 1017 ион/см2 при температуре не более 200oC и...

Испаритель

Номер патента: 1455763

Опубликовано: 20.03.2000

Автор: Невский

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

Испаритель, содержащий тигель с нагревателем и систему для локального улавливания газоотделений с тигля в виде набора сменных цилиндров из адсорбента, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий, за счет исключения загрязнений подложки, он снабжен корпусом, на торце которого выполнено отверстие для выхода пара, расположенное напротив открытой поверхности тигля, и запорным клапаном для перекрытия этого отверстия, а система для локального улавливания газоотделений снабжена охлаждаемой вставкой для размещения сменных цилиндров из адсорбента.

Устройство для горячего покрытия труб

Номер патента: 1129960

Опубликовано: 10.04.2000

Авторы: Аладьин, Буянов, Вострухов, Чеканов

МПК: C23C 2/38

Метки: горячего, покрытия, труб

Устройство для горячего покрытия труб, содержащее ванну для расплава, входной и выходной рольганги, механизм перемещения труб через ванну, выполненный в виде поворотной рамы с фигурными пазами, в продольных направляющих которой установлены тележки с приемными и зажимными устройствами, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения качества покрытия, оно снабжено корпусом, установленным на тележке, а приемные и зажимные устройства выполнены в виде подпружиненных штанг с коромыслами и зажимами для труб, тяг, поводковых балок, установленных с возможностью взаимодействия со штангами, и копиров, причем приемные и зажимные устройства установлены в корпусе.

Способ нанесения тонких пленок (его варианты)

Номер патента: 1316304

Опубликовано: 10.06.2000

Авторы: Богатырев, Щекочихин, Яценко

МПК: C23C 14/54

Метки: варианты, его, нанесения, пленок, тонких

1. Способ нанесения тонких пленок, включающий вакуумирование рабочего объема и формирование пучка атомов осаждаемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения чистоты пленок, пучок облучают монохроматическим световым потоком, резонансно-поглощаемым атомами осаждаемого материала или атомами примеси, причем, если длина волны светового потока соответствует резонансному поглощению атомами осаждаемого материала, световой поток направляют навстречу пучку атомов и облучение проводят в режиме, обеспечивающем соотношение Eu Ea

Устройство для электронно-лучевого испарения

Номер патента: 1512176

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Глудкин, Гуров, Иванов, Лисин, Фурсова

МПК: C23C 14/54

Метки: испарения, электронно-лучевого

1. Устройство для электронно-лучевого испарения, преимущественно при обработке подложек большой площади, содержащий электронно-лучевую пушку, высоковольтный источник постоянного напряжения, электрически соединенный с катодом электронно-лучевой пушки, регулятор режима испарения в виде транзисторного ключевого элемента, электрически соединенного через блок сравнения с волноводными датчиками режима, электрически соединительными с СВЧ-генератором, катушки отклонения и развертки электронного луча, отличающееся тем, что, с целью повышения точности поддержания скорости испарения, регулятор режима испарения снабжен генератором пилообразного напряжения, источником постоянного отклонения,...

Устройство для нанесения термодиффузионного покрытия

Номер патента: 1605571

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Васева, Путин, Путина, Сергевнина, Титаренко

МПК: C23C 10/28

Метки: нанесения, покрытия, термодиффузионного

Устройство для нанесения термодиффузионного покрытия, содержащее нагревательную камеру с крышкой, подставку и установленную на ней съемную обечайку с распределительным конусом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества нанесения покрытия путем предотвращения налипания металлизатора и сохранения покрытия при выгрузке металлизатора, оно снабжено установленной коаксиально подставке перфорированной металлической прокладкой, а обечайка выполнена в виде усеченного конуса, большим основанием обращенного к подставке, при этом перфорация прокладки составляет 70 - 80%.

Способ получения тонких пленок плазменным напылением и устройство для его осуществления

Номер патента: 1225273

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Гусев, Елисеев, Калинкин, Щеголев

МПК: C23C 14/32

Метки: напылением, плазменным, пленок, тонких

1. Способ получения тонких пленок плазменным напылением, включающий зажигание дугового разряда в атмосфере инертного газа между анодом и термокатодом, формирование контрагированной плазменной струи, введение в нее наносимого материала и конденсацию его паров на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения их электрофизических свойств и повышения производительности процесса, наносимый материал вводят в плазменную струю в виде порошка с размером частиц 30 - 45 мкм со скоростью 8 - 10 г/мин при скорости истечения плазменной струи 8 - 9 м/с, давлении инертного газа 5,3 - 8,0 Па и потенциале на аноде 300 - 400 В, затем плазменную струю подвергают...

Устройство для нанесения термодиффузионного покрытия

Номер патента: 1750265

Опубликовано: 10.07.2000

Авторы: Васева, Матвеев, Нечаев, Путин, Путина, Титаренко

МПК: C23C 10/26

Метки: нанесения, покрытия, термодиффузионного

Устройство для нанесения термодиффузионного покрытия, содержащее электропечь и установленную в ней обечайку с металлизатором на наружной поверхности, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности при повышении качества покрытия путем обеспечения равномерного покрытия большей толщины по высоте изделия, оно снабжено установленной коаксиально в обечайке теплоизоляционной вставкой с размещенным на ней нагревательным элементом, причем обечайка выполнена в виде стакана с фланцем, в котором имеется отверстие.

Способ нанесения тонких пленок плазменным напылением

Номер патента: 1412367

Опубликовано: 27.08.2000

Авторы: Гусев, Елисеев, Калинкин, Щеголев

МПК: C23C 14/32

Метки: нанесения, напылением, плазменным, пленок, тонких

Способ получения тонких пленок плазменным напылением по авт.св. N 1225273, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса при изготовлении ГИС, перед нанесением токопроводящего слоя формируют диэлектрический слой путем подачи в плазменную струю смеси испаряемого порошка и кислорода при степени двухфазности потока (0,3 - 0,5), причем в качестве испаряемого порошка используют кермет.

Состав для пассивации металлической поверхности

Номер патента: 839307

Опубликовано: 27.08.2000

Авторы: Басов, Беляев, Бережная, Бушин, Горшков, Каракулева, Климова, Котов, Куликов, Павлов, Сараев

МПК: C23C 22/02

Метки: металлической, пассивации, поверхности, состав

1. Состав для пассивации металлической поверхности, преимущественно оборудования в процессах разделения и очистки непредельных углеводородов, содержащий ароматическое аминосоединение и растворитель, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса пассивации, в качестве растворителя он содержит ациклический углеводород или его смесь с ароматическим углеводородом при следующем соотношении компонентов, мас.%:Ароматическое аминосоединение - 0,1 - 2,0Ациклический углеводород или его смесь с ароматическим углеводородом - 98,0 - 99,92. Состав по п.1, отличающийся тем, что в качестве ароматического аминосоединения он содержит вещество, выбранное из группы, включающей...

Устройство для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий

Номер патента: 1487486

Опубликовано: 27.09.2000

Авторы: Сидоренко, Штенников, Яриков

МПК: C23C 14/00

Метки: внутреннюю, длинномерных, нанесения, поверхность, покрытий

Устройство для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий, содержащее нагреватель, проволочный испаритель, с одного конца жестко закрепленный на траверсе и размещенный соосно обрабатываемому изделию и механизм компенсации термического расширения испарителя, размещенный на другом его конце, отличающееся тем, что, с целью повышения качества изделий за счет исключения изгиба в процессе нанесения покрытия, оно дополнительно снабжено механизмом компенсации термического расширения изделия в виде двух коаксиальных втулок, подпружиненных одна относительно другой, причем одна из них жестко закреплена на траверсе.

Способ изготовления резистивного испарителя

Номер патента: 1572054

Опубликовано: 27.09.2000

Авторы: Сидоренко, Шаврин, Штенников

МПК: C23C 14/22

Метки: испарителя, резистивного

Способ изготовления резистивного испарителя, включающий засыпку порошка испаряемого материала в капсулу, гидропрессование, извлечение из капсулы спрессованного стержня и спекание, отличающийся тем, что, с целью повышения срока службы полых изделий малого диаметра, в капсулу последовательно производят засыпку слоев порошковых материалов разного состава протяженностью и расположением в соответствии с участками рабочей поверхности изделия различного функционального назначения, затем виброконсолидацией формируют переходные зоны между слоями.

Установка для нанесения защитных покрытий

Номер патента: 1524534

Опубликовано: 27.09.2000

Авторы: Алабушев, Барабанов, Дудова, Колыбалов, Крючков, Мубояджян, Пайкин, Помелов, Прилепский

МПК: C23C 14/00

Метки: защитных, нанесения, покрытий

1. Установка для нанесения защитных покрытий преимущественно на лопатках газотурбинных двигателей, содержащая корпус вакуумной камеры и расположенные в ней держатель, охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала, анод, защитный экран охлаждаемого катода и возбудитель катодного пятна, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, улучшения качества и повторяемости наносимых защитных покрытий, охлаждаемый катод выполнен в виде цилиндрических обечаек, последовательно укрепленных по высоте на цилиндрическом стакане, который соединен с полым электроизоляционным штоком, соединенным вне вакуумной камеры с приводом, охлаждаемый катод снабжен расположенным соосно в полости...