C23C 16/00 — Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП)

Номер патента: 46105

Опубликовано: 29.02.1936

Автор: Романов

МПК: C23C 16/00

Метки: методом, нанесения, поверхностных, покрытий, шоопирования

...твердые, соединения, составляющие основу наносимого твердого сплава или псевдосилава, вводятся в виде порошка, а металлы, входящие в состав. этого сплава, полностью или частично вводятся в форме газообразных соединений, диссоциирующих в приборе с выделением свободных металлов.Выделяющийся металл при разложении его газообразных соединений будет осаждаться частично на поверхности вводимых зерен твердых частиц и частично на покрываемой поверхности, Твердые частицы, покрываясь слоем выделившегося металла, ударяются о покрываемую поверхность с выпавшим на них слоем металла и припаиваются к покрываемой поверхности, образуя псевдо. сплав или сплав, подобный металлокерамическим сплавам типа Победит, в зависимости от температурных и прочих...

Номер патента: 1656008

Опубликовано: 15.06.1991

Авторы: Арзамасов, Ахматовский, Бурдонский, Валетов, Велищанский, Козлов, Малащенко, Плаксин, Симонов, Шкретов

МПК: C23C 16/00

Метки: газовых, нанесения, покрытий, сред

...Москва, НРаушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Па:ент", г.ужгород, ул, Гагарина, 101 Изобретение относится к оборудованию для нанесения покрытий из газовыхсред и предназначено для нанесениязащитных покрытий различного назначе 5нич (жаростойкие, жаропрочные, износостойкие и др.).Цель изобретения - повышение производительности.На чертеже представлена принципи-альная схема устройства.Устройство содержит замкнутый газопровод 1, оснащенный вентилятором 2,сосудом-испарителем 3, откачной системой 4, державкой-катодом 5 тлеющего разряда для установки обрабатываемой детали 6, соединенным с блоком7 тлеющего разряда, и магнитоплазменный компрессор 8 с источником 9питания и электродами (не показаны),выполненными из...

Номер патента: 1723193

Опубликовано: 30.03.1992

Авторы: Пухин, Слушков, Смирнов

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, нанесения, паровой, покрытий, фазы

...элемента 14, находящегося между камерой 4 и шаговым конвейером 15,Сменный подложкодержатель 16 с изделиями 17 закреплен на оправке 18 привода 19, смонтированного на крышке 10 и содержащего зубчатый редуктор 20, муфту 21 и электродвигатель 22, В зоне загрузки и разгрузки смонтирован механизм 23, с помощью которого после окончания покрытия изделий 17 металлоорганическим соединением, поступающим в паровой (газовой) фа- . зе из испарителя 24, крышка 10 меняет свое положение на упорах 25,Установка работает следующим образом.Одну из камер 4 устанавливают в позицию загрузки, при этом с помощью силового элемента 14 салазки 11 перемещают в сторону от оси вращения рамы 2. Механизм 23, взаимодействуя с упорами 25, переводит крышку 10 в...

Номер патента: 1724729

Опубликовано: 07.04.1992

Авторы: Пухин, Слушков, Смирнов

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, нанесения, паровой, покрытий, фазы

...подложкодержателя 3 прикреплена емкость 13, сообщающаяся с камерой 6. Внутри емкости 13 установлены закалочный узел 14 токами высокой частоты (ТВЧ), индуктор 15 которого подсоединен к энергопитанию, форсунка 16, соединенная с испарителем 17. 5 10 15 20 25 30 35 К торцу емкости 13 присоединен силовой элемент 18, например гидроцилиндр, являющийся дном ванны 19 с хладагентом 20.На штоке 21, выходящем из гидроцилиндра, смонтирован подпружиненный стакан 22, а на торце закреплена шайба 23.Электронагревательный элемент 24 размещен в центральной части кожуха 4.Установка для нанесения износостойких покрытий из паровой (газовой) фазы работает следующим образом.Кожух 4 поднимают, давая свободный доступ к подложкодержателю 3. Изделия 10,...

Номер патента: 1580873

Опубликовано: 30.11.1994

Авторы: Колмакова, Сарнацкий

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, осаждения, слоев, фазы

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, содержащее герметичную камеру с внешним нагревателем, подложкодержатель с горизонтальными дисками для размещения подложек и газовый ввод, расположенный по оси подложкодержателя, отличающееся тем, что, с целью повышения качества осаждаемых слоев за счет равномерности распределения газового потока, оно снабжено дополнительным подложкодержателем с приводом вращения и диском обтекателем, установленным на конце газового ввода, при этом дополнительный подложкодержатель выполнен в виде замкнутого стакана с дисками, смонтированными на внутренней поверхности стакана между дисками основного подложкодержателя с возможностью регулирования зазора между плоскостями смежных дисков, причем диски...

Номер патента: 1513949

Опубликовано: 10.03.1995

Авторы: Гусев, Захаров, Костенков, Крашенинников, Усачев

МПК: C23C 16/00

Метки: осаждения, паровой, покрытий, фазы, химического

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ, содержащее горизонтальную камеру с размещенными в ней подложкодержателем, средствами ввода реагентов и отвода продуктов реакции, смонтированными соответственно в верхней и нижней частях камеры, нагреватель обрабатываемых изделий, привод поступательного перемещения подложкодержателя вдоль камеры относительно средств ввода реагентов и отвода продуктов реакции и привод вращения изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества и производительности при нанесении покрытий на изделия цилиндрической формы, оно снабжено съемной рамкой с поперечными опорными дорожками, толкателем, смонтированным на направляющей, и кареткой, установленной в рамке с возможностью...

Номер патента: 1338451

Опубликовано: 10.03.1995

Авторы: Гусев, Костенков, Крашенинников, Тюгина, Чапля

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, осаждения, паровой, покрытий, фазы

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ (ПАРОВОЙ) ФАЗЫ на наружную поверхность цилиндрических изделий, содержащее горизонтальную цилиндрическую реакционную камеру, нагреватель изделия, подложкодержатель, патрубки для ввода исходного химсоединения и отвода продуктов реакции, расположенные соосно друг другу, и привод для вращения обрабатываемого изделия, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий и повышения эффективности процесса, оно снабжено ограничительной вставкой, установленной внутри реакционной камеры симметрично относительно патрубков и выполненной в виде двух кольцевых перегородок, жестко связанных радиальной перемычкой, расположенной под острым углом за вводным патрубком.2. Устройство по п.1,...

Номер патента: 1811217

Опубликовано: 20.08.1996

Авторы: Кисель, Красницкий, Петрашкевич, Сахон, Турцевич, Шкуть

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, осаждения, пленок, фазы, химического

...паров воды и кислорода вреактор, возрастания неконтролируемогослоя двуокиси кремния и снижения качестваосаждаемых пленок нитрида кремния.При длине корпуса более 5 диаметровреактора не наблюдается дальнейшего улучшения качества осаждаемых пленок нитридакремния при увеличении габаритов установки.При высоте корпуса менее 2 диаметровреактора затруднена загрузка в реактор припомощи автоматизированных систем и обслуживание шлюзовой камеры.При высоте корпуса более 3 диаметровреакторов снижается эффективность затвораиз-за облегчения попадания паров воды икислорода в реакционное пространство и,следовательно, снижается качество нитридакремния, То, что шлюзовая камера выполнена высотой 2-3 диаметра реактора, позволяет...