C23C — Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще

Номер патента: 1804274

Опубликовано: 20.07.1996

Авторы: Курноскин, Рогожин, Рябов, Флеров

МПК: C23C 18/16, H05K 3/18

Метки: диэлектриков, металлизации, химической

...плотности загрузки 1,5дм /л и температуре 85 С осаждаетсяпокрытие толщиной 6,0 мкм состава, мас, 0:Бор 3,15Фосфор 2,5Таллий 3,5Никель ОстальноеДалее детали промывают в холодной игорячей воде, обезвоживают в спирто-ацетоновой смеси, сушат,После этого тонкопленочную микросхемутравят в концентрированной соляной кислоте, промывают и помещают в растворзолочения следующего состава, г/л:Дицианоаурат калия 5Лимонная кислота 30Хлористый аммоний 70Гидразин сернокислый 75Процесс ведут при температуре 95 С иплотности загрузки 3 дм /л. Скоростьосаждения золота - 4,5 мкм/ч. Покрытыетонкопленочные микросхемы промывают вгорячей воде, обрабатывают в растворещавелевой кислоты (10 г/л), промывают,обезвоживают в спирто-ацетоновой смеси ивзвешивают.После...

Номер патента: 1811217

Опубликовано: 20.08.1996

Авторы: Кисель, Красницкий, Петрашкевич, Сахон, Турцевич, Шкуть

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, осаждения, пленок, фазы, химического

...паров воды и кислорода вреактор, возрастания неконтролируемогослоя двуокиси кремния и снижения качестваосаждаемых пленок нитрида кремния.При длине корпуса более 5 диаметровреактора не наблюдается дальнейшего улучшения качества осаждаемых пленок нитридакремния при увеличении габаритов установки.При высоте корпуса менее 2 диаметровреактора затруднена загрузка в реактор припомощи автоматизированных систем и обслуживание шлюзовой камеры.При высоте корпуса более 3 диаметровреакторов снижается эффективность затвораиз-за облегчения попадания паров воды икислорода в реакционное пространство и,следовательно, снижается качество нитридакремния, То, что шлюзовая камера выполнена высотой 2-3 диаметра реактора, позволяет...

Номер патента: 1832760

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Ключников, Левченко, Недыбалюк, Одиноков

МПК: C23C 14/35

Метки: вакууме, магнетронного, распыления

Устройство для магнетронного распыления материалов в вакууме, содержащее выполненные с возможностью взаимного вращения подложкодержатель и магнетронную систему с анодом и двумя катодными узлами, симметрично расположенными под углом к оси подложкодержателя и включающими дисковые мишени и концентрично расположенные с нераспыляемой стороны мишеней полюсные наконечники противоположной полярности, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости распыления и увеличения коэффициента использования материала, мишени выполнены с отсеченной частью со стороны оси подложкодержателя, при этом каждый полюсный наконечник образован пересечением двух дуг окружностей с сохранением у дуги, удаленной от плоскости отсечения, прежнего радиуса полюсного...

Номер патента: 1512173

Опубликовано: 27.09.1996

Авторы: Буданова, Бурматнов, Гречанюк, Лунев, Мовчан, Неизвестных, Самсонов, Чирков, Чухин, Шавкунов

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытия, теплозащитного

Способ получения теплозащитного покрытия, включающий нанесение жаростойкого подслоя из сплава никель-хром-алюминий-иттрий и внешнего керамического слоя из стабилизированного диоксида циркония методом электронно-лучевого испарения, вакуумный отжиг и окислительный отжиг, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости и контроля прочности сцепления керамического слоя с подслоем, окислительный отжиг проводят при 700 780oС в течение 1-3 ч с последующим охлаждением на воздухе.

Номер патента: 908113

Опубликовано: 20.10.1996

Авторы: Кривонощенко, Селифанов, Точицкий

МПК: C23C 14/36

Метки: вакууме, покрытий

Способ получения покрытия в вакууме, заключающийся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет снижения капельной фазы пароплазменного потока, на расходуемый электрод воздействуют ультразвуковыми колебаниями.

Номер патента: 1378414

Опубликовано: 27.10.1996

Авторы: Аржакин, Денисов, Латынин, Махлай, Пащенко, Пирожков

МПК: C23C 4/12

Метки: композиционный, материал, напыления, плазменного, покрытий

1. Композиционный материал для плазменного напыления покрытий на основе никеля и графита, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента использования материала, адгезии и эрозионной стойкости покрытий, он дополнительно содержит силикат натрия при следующем соотношении компонентов, мас.Никель 60 80Графит 15 30Силикат натрия 5 102. Способ получения композиционного материала для плазменного напыления покрытий на основе никеля и графита, включающий смешение компонентов, грануляцию, конвективную обработку в кипящем слое и дробление с выделением фракции гранул, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента использования материала адгезии и эрозионной стойкости покрытия, сначала готовят смесь графита и...

Номер патента: 1804148

Опубликовано: 20.11.1996

Авторы: Аулов, Беляков, Димитриенко, Изотов

МПК: C23C 4/02

Метки: поверхности

...увеличению прочности сцепления покрытия с подложкой по сравнению с прототипом. Максимальное значение удельной энергии воздействия не должно превышать значения 10 Дж/м , это связано сб 2несущей способностью материала поверхности детали, т,к. при большей удельной энергии воздействия происходит разрушение поверхности подложки. Диаметры используемых шариков ограничены минимальным значением 2 мм в связи с тем, что для достижения удельной энергии 10 Дж/мб 2 шарикам меньшего диаметра необходимо развивать такую скорость, при которой соударение с поверхностью приводит к уносу материала. При использовании шариков более 3 мм пластическая деформация столь велика, что приводит к изменению формы детали и может вызвать появление трещин на...

Номер патента: 1600383

Опубликовано: 10.12.1996

Авторы: Буравцев, Каплин, Сатаров

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

...инертного газа и механизмом 20 возвратно-поступательного перемещения тигля 5.Между реакционной камерой 1 и дополнительной камерой 18 размещен вакуумный затвор 21. Дополнительная камера 18 соединена также патрубком 22 вакуумной откачки.Испаритель работает следующим образом, В дополнительную камеру 18 загружают тигель 5, камеру 18 герметизируют и включают вакуумную откачку, затем механизмом 20 перемещают тигель 5 через 1. Испаритель, содержащий реакционную камеру, нагреватель, тигель с крышкой с центральным отверстием, формирователь потока пара, дополнительную камеру и механизм транспортировки тигля, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет уменьшения их дефектности, тигель снабжен расс екателем потока пара,...

Номер патента: 1782063

Опубликовано: 10.12.1996

Авторы: Воронцова, Солнцев, Тимофеева

МПК: C23C 8/28

Метки: железа, основе, поверхностного, упрочнения

Способ поверхностного упрочнения изделий на основе железа, включающий сульфооксидирование при температуре 600-650oC в газовой среде в герметичном контейнере и охлаждение в печи, отличающийся тем, что, с целью сокращения технологического цикла и улучшения экологической чистоты процесса, сульфооксидирование проводят в течение 30-40 мин в продуктах диссоциации 30-50-ного водного раствора тиосульфата.

Номер патента: 1584428

Опубликовано: 10.12.1996

Авторы: Букарев, Гусев, Сайкина

МПК: C23C 8/24

Метки: азотирования, инструмента

Способ азотирования инструмента, включающий нагрев в печи до температуры насыщения, выдержку в аммиаксодержащей среде и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса, улучшения качества поверхности инструмента и повышения его работоспособности, выдержку проводят в течение 40-60 мин, а охлаждение в течение 20-30 мин в среде аммиака, причем выдержку и охлаждение ведут с наложением постоянного магнитного поля напряженностью при выдержке 70-280 Э, охлаждении 70-350 Э.

Номер патента: 1417494

Опубликовано: 10.12.1996

Авторы: Букарев, Гусев, Медведева, Скиданов

МПК: C23C 8/24

Метки: сталей, химико-термической, электротехнических

Способ химико-термической обработки изделий из электротехнических сталей, включающий нагрев на воздухе, газовое азотирование и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости изделий при сохранении их магнитных свойств, нагрев ведут до 800 900oC с последующей изотермической выдержкой на воздухе, при этом азотирование совмещают с охлаждением, которое проводят в потоке аммиака.

Номер патента: 1485666

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Карпов, Пучкарева, Теплоухов, Тимошников

МПК: C23C 14/00

Метки: ионно-плазменных, покрытий, упрочнения

Способ упрочнения ионно-плазменных покрытий, включающий обработку поверхности изделия ионами азота с последующим осаждением покрытий из нитридов или боросилицидов металлов конденсацией с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий и прочности сцепления покрытия с подложкой, обработку поверхности изделия проводят путем облучения пучком ионов азота с энергией 3 10 кэВ в течение 10 45 мин, а после нанесения покрытия проводят облучение изделия -квантами дозой 107 - 108 рад при 10 300oС.

Номер патента: 1707997

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Полетика, Полещенко, Пучкарева

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, ионно-лучевой, режущего, сплавов, твердых

...диапазоне скоростей резания (подача 5 = 0,14 мм/об, глубина резания= 1,5 мм). Снижение адгезионно-диффузионных процессов после+ +, +упрочнения ионами г фд г подтверждается результатами исследования изношенных поверхностей режущего инструмента. Изношенная площадка контакта имплантированного инструмента характеризуется меньшим количеством адгезионных вырывов.Исследование режимов имплантации и испытаний обработанных твердосплавных пластин позволило выбрать оптимальные режимы облучения по дозе и энергии ионов (см. табл. 1). Указанный нижний порог дозы 510 ион/см при энергии свыше 30 кэВ1 б 2обеспечивает некоторое повышение износостойкости. Однако уже при этой дозе при низких энергиях (25 кэВ) эффекта не наблюдается, поэтому снижение дозы...

Номер патента: 1723840

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Пучкарева, Толопа

МПК: C23C 14/48

Метки: износостойкости, металлов, поверхности, повышения, сплавов

Способ повышения износостойкости поверхности изделий из металлов и сплавов, включающий очистку поверхности изделий и последующую имплантацию ионов металла в атмосфере азота, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости за счет увеличения эффективности легирования, очистку производят путем облучения поверхности изделий ионами металла в импульсном режиме с дозой 5 1015 5 1016 ион/см2, после чего напускают азот до давления 5 10-4 1

Номер патента: 1832753

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Мартынов, Рыбкин, Фирсов

МПК: C23C 10/52

Метки: диффузионного, насыщения, состав

1. Состав для диффузионного насыщения изделий преимущественно из меди и ее сплавов, содержащий олово, никель, галогенсодержащий активатор и инертную добавку, отличающийся тем, что, с целью понижения температуры насыщения и переходного электрического сопротивления, он содержит в качестве галогенсодержащего активатора фторид натрия и хлорид аммония при следующем соотношении компонентов, мас.Никель 7 18Олово 5 31Хлорид аммония 2 8Фторид натрия 1 3Наполнитель Остальное2. Состав по п.1, отличающийся тем, что отношение содержания фторида натрия к хлориду аммония составляет не более 0,5.

Номер патента: 1744865

Опубликовано: 10.02.1997

Авторы: Алисин, Качалин

МПК: B22F 9/08, C23C 4/12

Метки: нанесения, плазменного, покрытий

Способ плазменного нанесения покрытий, включающий создание разности потенциалов между электродами плазмотрона, инициирование электрического разряда между ними и нанесение на подложку напыляемого материала при помощи высокоскоростной плазменной струи за счет дугового электрического разряда между электродами, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезионной прочности и качества покрытий, электроды плазмотрона располагают по нормали к подложке, напыляемый материал используют в виде порошка и подают его дискретными порциями на торец катода, а перед нанесением на подложку напыляемого материала на нее воздействуют лучом лазера с образованием факела паров материала подложки и одновременным инициированием электрического разряда между...

Номер патента: 1565072

Опубликовано: 20.03.1997

Авторы: Ляпкин, Мальцев

МПК: C23C 22/20, C23F 15/00

Метки: защиты, конструкций, коррозии, металлических, почвенной

1. Способ защиты металлических конструкций от почвенной коррозии, включающий размещение конструкции в слое сыпучего материала, преимущественно отработанной формовочной жидкостекольной смеси литейного производства, отличающийся тем, что, с целью повышения срока действия антикоррозионных свойств композиции в водонасыщенных грунтах и снижения коэффициента трения конструкции со слоем сыпучего материала, металлическую конструкцию предварительно обрабатывают фосфорной кислотой и размещают в отработанную формовочную жидкостекольную смесь, дополнительно содержащую пылевидный силикатный материал при следующем соотношении компонентов, мас.Силикатный пылевидный материал 5 20Отработанная формовочная жидкостекольная смесь Остальное2....

Номер патента: 1189139

Опубликовано: 20.04.1997

Авторы: Виноградов, Волчков, Гришаев, Коган, Корселадзе, Смирнов, Черкасов, Ческис

МПК: C23C 14/38

Метки: плазме, разряда, стальных, тлеющего, химико-термической, чугунных

1 Способ химико-термической обработки стальных и чугунных деталей в плазме тлеющего разряда при 500 680 С с многократным чередованием стадий изотермической выдержки, первая стадия в аммиаке, вторая в аргоне, отличающийся тем, что, с целью повышения сопротивления деталей износу в условиях агрессивных сред за счет формирования на обрабатываемой поверхности деталей нитрокарбидной зоны, после многократного чередования стадий изотермической выдержки проводят дополнительную изотермическую выдержку при 500 600 С в аммиачно-пропановой смеси в течение 2-2,5 ч.

Номер патента: 770260

Опубликовано: 20.05.1997

Авторы: Малахов, Найденов, Никитин, Петров, Шарыпов

МПК: C23C 4/12

Метки: нанесения, напылением, плазменным, покрытий

Способ нанесения покрытий плазменным напылением, включающий создание потока низкотемпературной плазмы, подачу в него порошкообразного материала и напыление его на изделие, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности покрытий и их адгезии с основой, напыление ведут ламинарным потоком плазмы с углом расширения 0 3o и удельным теплосодержанием 26 30 квт ч/м3.

Номер патента: 1491032

Опубликовано: 20.11.1997

Авторы: Волостнов, Пастухов, Фришберг, Цымбалист

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, металлов, сплавов

Испаритель для металлов и сплавов, содержащий закрытый цилиндрический контейнер с отверстием для выхода пара, торцовые крышки и закрепленный в них нагреватель, расположенный в верхней части контейнера со стороны расположения отверстия, отличающийся тем, что, с целью повышения качества конденсируемого продукта путем предотвращения конденсации пара на стенках отверстия при сохранении максимальной производительности, отверстие для выхода пара выполнено диаметром dо, выбранным из выражения do (A dk l)0,25 0,4dk, а нагреватель...

Номер патента: 1832751

Опубликовано: 20.01.1998

Автор: Коровкин

МПК: C23C 14/32, C23C 8/24

Метки: износостойких, металлов, покрытий, соединений

1. Способ получения износостойких покрытий из соединений металлов, включающий конденсацию металла на поверхность изделий и обработку изделий с нанесенным покрытием в камере с низкотемпературной плазмой газового дугового разряда с горячим катодом при создании в камере магнитного поля, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий за счет уменьшения размеров зерен, конденсацию металла и обработку изделий в камере с низкотемпературной плазмой выполняют одновременно при температуре изделий 80 - 500oС, при этом во время обработки к изделиям прикладывают потенциал относительно стенок камеры.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработку изделий газовой плазмой выполняют перед нанесением металла.

Номер патента: 1824923

Опубликовано: 10.04.1998

Авторы: Носков, Орликов, Панковец, Шангин

МПК: C23C 14/32

Метки: поджига, системы, электроразрядной

...4 генераторов плазмы подключены к вторичной обмотке импульсного трансформатора 9. Покрытие наносится на подложку 10, размещенную напротив мишени 1, Устройство поджига работает следующим ооразом. При давлении 10-410 Па на мишень 1 поджига относительно анода 3 подается отрицательный потенциал от источника 7 (400 - 800 В), При подаче поджигаюшего импульса на электрод 4 (1 3 кВ) между ним и катодом 5 по поверхности изолятора 6 возникает разряд, сопровождаюшийся повышением давления за счет газоотделения с образованием катодного пятна на поверхности катода. Потоки плазмы паров металлов, образовавшиеся в катодных пятнах п генераторов, где локальное давлеУстройство для поджига электроразрядной системы, содержащее расходуемый...

Номер патента: 1777391

Опубликовано: 10.04.1998

Авторы: Гриценко, Костерина, Рузаев, Черный

МПК: C23C 14/48

Метки: ионно-лучевой

Способ ионно-лучевой обработки изделий, включающий имплантацию из одного источника ионов металла и неметалла, выбираемых из группы элементов, образующих твердое соединение, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости изделий, сначала проводят имплантацию ионами с энергией 50-20 кэВ и дозой 2 1016 - 2 1017 ион/см2, образующими либо нитриды, либо карбиды, либо бориды, а затем ионами молибдена с энергией 20-50 кэВ и с той же дозой.

Номер патента: 1737930

Опубликовано: 10.04.1998

Авторы: Носков, Орликов

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, пленок, тонких

Устройство для нанесения тонких пленок в вакууме, содержащее газоразрядную камеру, систему формирования и ускорения потока наносимого материала, импульсный источник питания и подложкодержатель с подложкой, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности работы устройства, газоразрядная камера выполнена в виде спирали, охватываемой корпусом из немагнитного материала с профилем сверхзвукового сопла, открытого в сторону подложки, причем начальный участок спирали подключен к импульсному генератору источника питания, а конец спирали, размещенный у открытой части сопла, заземлен.

Номер патента: 1483979

Опубликовано: 20.06.1998

Авторы: Афанасьев, Колобов, Коротаев, Савостиков, Савченко, Чернова, Чесноков, Янчук

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, ионно-лучевой, сплавов, сталей, твердых

Способ ионно-лучевой обработки инструмента из сталей и твердых сплавов, включающий имплантацию в приповерхностные слои ионов металла и неметалла, отличающийся тем, что, с целью повышения твердости и износостойкости инструмента при одновременном сокращении времени обработки, имплантацию осуществляют импульсами с частотой (Гц) и длительностью (c), выбираемых из выражения = 2

Номер патента: 1549110

Опубликовано: 20.06.1998

Авторы: Афанасьев, Бугаев, Колобов, Коротаев, Осинцев, Савченко, Чесноков, Янчук

МПК: C23C 14/48

Метки: быстрорежущих, инструмента, режущего, сталей

Способ обработки режущего инструмента из быстрорежущих сталей, включающий очистку и ионно-плазменное нанесение износостойкого покрытия нитрида титана, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости инструмента, после нанесения покрытия в него имплантируют ионы карбида вольфрама с энергией 40 - 100 кэВ и дозой 5 1016 - 1017 см-2.

Номер патента: 1804149

Опубликовано: 20.01.1999

Автор: Загорский

МПК: C23C 8/52

Метки: стальных, упрочнения

...электрической дуги нагревается, своими поверхностями контактирует с плоскостями теплообменных рубашек 4, теплоноситель забирает его тепло, тем самым охлаждает весь электрод 1, Через оборот холодный электрод 1 этой частью кромки снова поступает в зону горения дуги и таким образом обеспечивается постоянное ведение обработки поверхности изделия 7 и устойчивость дуги при большой силе тока (250- 1000 А), Расплавленный металл на поверхности изделия 7 в зоне горения электрической дуги под угольным электродом 1 насыщается углеродом, образуя мелкую аустенитно-мартенситную структуру, тем самым повышается твердость обрабатываемой поверхности,Дополнительно устойчивость горения дуги в процессе работы и установки режима нагрева электрода регулируются...

Номер патента: 1491025

Опубликовано: 27.04.1999

Авторы: Игошев, Николаев, Табаков, Шестернинов

МПК: C23C 14/00

Метки: быстрорежущих, инструментов, сталей, упрочнения

Способ упрочнения инструментов из быстрорежущих сталей, основанный на вакуумно-плазменном нанесении покрытий, содержащих соединения металлов четвертой и шестой групп Периодической системы элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструментов, покрытие наносят в два этапа, сначала при 580-650oC, затем при 250-300oC, причем на первом этапе покрытие наносят толщиной, составляющей 15-25% от общей толщины покрытия.

Номер патента: 1662130

Опубликовано: 27.04.1999

Авторы: Кочетов, Ляшенко, Митин, Николаенко, Скворцов, Федорова, Церевитинов

МПК: C23C 14/32

Метки: инструмента, режущего, упрочнения

1. Способ упрочнения режущего инструмента, включающий облучение изделия импульсной плазмой, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости режущего инструмента, облучение осуществляют потоком газоразрядной плазмы в виде цилиндрического шнура, сжимающегося к оси под действием собственного магнитного поля, с энергией потока, составляющей 3-200 кДж при длительности 3-15 мкс.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что облучение производят 1-3 импульсами.

Номер патента: 1256434

Опубликовано: 27.04.1999

Авторы: Асвиян, Ляшенко, Цыгулев, Шаривкер

МПК: C23C 4/00

Метки: защиты, коррозии, теплообменников, труб

Способ защиты от коррозии труб теплообменников, включающий создание на поверхности труб покрытия в виде спирали или колец из материала, обладающего протекторными свойствами, отличающийся тем, что, с целью повышения термомеханической прочности покрытий, покрытие в виде спиралей или колец создают газотермическим напылением, при этом расстояние между осями симметрии напыленных участков должно быть l = 6 - 8,5 p, где l - расстояние между осями симметрии напыленных участков; P - радиус рассеивания напыляемых частиц.