Подложкодержатель
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий многоярусный цилиндрический корпус, на ярусах которого размещаются обрабатываемые изделия, и привод вращения, кинематически соединенный с корпусом, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия по толщине, корпус выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, при этом шаг спирали равен
H h,
где H - шаг спирали, мм;
h - высота обрабатываемой детали, мм,
а расстояние между гнездами равно
L l,
где L - расстояние между гнездами, мм;
l - наибольший размер обрабатываемой детали, мм.
Описание
Целью изобретения является повышение равномерности покрытия по толщине.
Подложкодержатель выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, в гнездах которой устанавливаются обрабатываемые детали.
Кроме того, с целью исключения экранирования от потока пара, шаг витка спирали Н


На фиг. 1 - общий вид подложкодержателя; на фиг. 2 - вид сверху; на фиг. 3 - поперечное сечение витка.
Подложкодержатель содержит многоярусный цилиндрический корпус, выполненный в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали 1 с гнездами 2, в которых установлены обрабатываемые детали 3, привод 4 вращения спирали.
Подложкодержатель работает следующим образом.
Нанесение покрытий производится на установке Булат-3. Спираль 1 в процессе обработки вращается вокруг своей оси. Благодаря тому, что детали расположены под углом и положение их по отношению к ионному потоку в процессе обработки непрерывно меняется, обеспечивается равномерная объемная конденсация покрытия разных поверхностей обрабатываемых деталей.
Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий и может быть использовано для нанесения различных покрытий и тонких пленок. Цель изобретения - повышение равномерности покрытия по толщине. Подложкодержатель содержит многоярусный цилиндричсекий корпус с гнездами, в которых установлены обрабатываемые детали. Выполнение копруса в виде жесткой одно- или многозаходной спирали с шагом витка спирали H


Рисунки
Заявка
4764153/21, 02.08.1989
Волжское объединение по производству автомобилей
Коровкин А. В, Усачев Г. А, Полунина О. В
МПК / Метки
МПК: C23C 14/50
Метки: подложкодержатель
Опубликовано: 15.10.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1644553-podlozhkoderzhatel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Подложкодержатель</a>
Предыдущий патент: Вещество для активных сред и пассивных лазерных затворов
Следующий патент: Способ изготовления твердых объемных источников гамма излучения
Случайный патент: Установка для пакетирования лицевого кирпича