Номер патента: 1644553

Авторы: Коровкин, Полунина, Усачев

Формула

ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий многоярусный цилиндрический корпус, на ярусах которого размещаются обрабатываемые изделия, и привод вращения, кинематически соединенный с корпусом, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия по толщине, корпус выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, при этом шаг спирали равен
H h,
где H - шаг спирали, мм;
h - высота обрабатываемой детали, мм,
а расстояние между гнездами равно
L l,
где L - расстояние между гнездами, мм;
l - наибольший размер обрабатываемой детали, мм.

Описание

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий и может быть использовано для нанесения различных покрытий и тонких пленок.
Целью изобретения является повышение равномерности покрытия по толщине.
Подложкодержатель выполнен в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали, в гнездах которой устанавливаются обрабатываемые детали.
Кроме того, с целью исключения экранирования от потока пара, шаг витка спирали Н 2h, где h - высота обрабатываемой детали, а расстояние между гнездами с учетом производительности равно L l, где l - максимальный размер детали.
На фиг. 1 - общий вид подложкодержателя; на фиг. 2 - вид сверху; на фиг. 3 - поперечное сечение витка.
Подложкодержатель содержит многоярусный цилиндрический корпус, выполненный в виде жесткой одно- или многозаходной ленточной спирали 1 с гнездами 2, в которых установлены обрабатываемые детали 3, привод 4 вращения спирали.
Подложкодержатель работает следующим образом.
Нанесение покрытий производится на установке Булат-3. Спираль 1 в процессе обработки вращается вокруг своей оси. Благодаря тому, что детали расположены под углом и положение их по отношению к ионному потоку в процессе обработки непрерывно меняется, обеспечивается равномерная объемная конденсация покрытия разных поверхностей обрабатываемых деталей.
Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий и может быть использовано для нанесения различных покрытий и тонких пленок. Цель изобретения - повышение равномерности покрытия по толщине. Подложкодержатель содержит многоярусный цилиндричсекий корпус с гнездами, в которых установлены обрабатываемые детали. Выполнение копруса в виде жесткой одно- или многозаходной спирали с шагом витка спирали H 2h , где h - высота обрабатываемых деталей, и расстояние между ними L l , где l - максимальный размер детали, позволяет потоку пара со всех сторон экранироваться на обрабатываемых изделиях. 1 з.п.ф-лы, 3 ил.

Рисунки

Заявка

4764153/21, 02.08.1989

Волжское объединение по производству автомобилей

Коровкин А. В, Усачев Г. А, Полунина О. В

МПК / Метки

МПК: C23C 14/50

Метки: подложкодержатель

Опубликовано: 15.10.1994

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1644553-podlozhkoderzhatel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Подложкодержатель</a>

Похожие патенты