Пасти

Номер патента: 1802547

Опубликовано: 27.01.1995

Авторы: Карпов, Назиков, Пасти

МПК: C23C 14/32

Метки: источник, комбинированный, металлической, плазмы, электродуговой

...сече- р ние электромагнитной катушки совпадает с 30 в плоскостью А-А, проходящей через дно ох- к лаждаемой плоскости катода и разделяю- ,э щей катод на рабочую (испаряемую) и б нерабочую (неиспаряемую) зоны, сМинимальная величина индукции маг в нитного поля для осуществления надежно- го сти локализации катодных пятен на рабочей э поверхности катода (обеспечивающие уход х катодных пятен на боковую нерабочую по- че верхность катода не более чем на 5 мм) и для 40 л осуществления устойчивости вакуумного н дугового разряда должна составлять, как д показали эксперименты, не менее 50 Гс, ет Учитывая зто, высота испаряемой зоны ка- охл тода злектродугового источника металличе и ской плазмы выбирается такой, чтобы ве индукция магнитного поля в...