C23C — Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще

Номер патента: 1153578

Опубликовано: 25.07.1995

Автор: Ломовцев

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумная

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА по авт. св. N 901356, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе, она снабжена дополнительным штоком с закрепленными на его противоположных торцах дополнительными клапаном и пружиной, а вдоль оси штока возвратно-поступательного перемещения выполнено отверстие для дополнительного штока, при этом дополнительный клапан расположен в полости U-образного фланца, а пружина дополнительного штока расположена между его торцом и торцом штока возвратно-поступательного перемещения.

Номер патента: 1184291

Опубликовано: 25.07.1995

Авторы: Луценко, Падалка, Саблев, Ступак

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, металлических, нанесения, покрытий, электродугового

УСТРОЙСТВО ЭЛЕКТРОДУГОВОГО НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее протяженные анод и расходуемый катод, систему осевого перемещения катодного пятна вдоль рабочей поверхности катода, датчик положения катодного пятна и источник электропитания, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем обеспечения программного управления областью перемещения катодного пятна дуги по рабочей поверхности расходуемого катода, датчик положения катодного пятна выполнен в виде проводника, установленного над рабочей поверхностью катода, и снабжен датчиками тока, подключенными к его выводам, а также программатором и дифференциальным усилителем, причем входные клеммы датчиков тока подключены к входам дифференциального...

Номер патента: 1605572

Опубликовано: 20.08.1995

Авторы: Аксенов, Андреев, Гаврилко, Григорьев, Ломино, Овчаренко, Саблев, Ступак, Хороших, Шелохаев

МПК: C23C 12/00

Метки: инструмента, химико-термической

СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ИНСТРУМЕНТА, включающий нанесение методом конденсационно ионной бомбардировки на обрабатываемое изделие нитрида титана и азотирование в плазме газового вакуумно дугового разряда между обрабатываемым изделием анодом и дополнительным катодом, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационной стойкости обработанного инструмента, азотирование и нанесение нитрида титана производят в одном реакционном объеме, причем азотирование проводят при давлении не ниже 6,65 Па, а нанесение нитрида титана при 10-1 100 Па.

Номер патента: 1473373

Опубликовано: 20.08.1995

Авторы: Андреев, Саблев, Ступак, Шелохаев

МПК: C23C 14/32

Метки: химико-термической

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ преимущественно полых изделий, содержащее вакуумную камеру с размещенными в ней катодом электродугового испарителя, анодом, оптически непрозрачным экраном, держателем изделий, источник питания вакуумного дугового разряда и источник напряжения смещения, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки внутренних поверхностей изделий, оно снабжено токовым реле, один из выводов которого подключен к катоду, а другой к отрицательному полюсу источника питания дугового разряда, держатель выполнен в виде электроизолированной перегородки с отверстиями, размещенной между экраном и анодом и подклченной к источнику напряжения смещения, отрицательный полюс которого подключен к перегородке через...

Номер патента: 1163655

Опубликовано: 27.08.1995

Авторы: Бобров, Богачкин, Таран

МПК: C23C 14/32

Метки: нанесения, плазменного, покрытий

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, содержащее плазмотрон с механизмом перемещения, держатель обрабатываемых изделий, соединенный с механизмом вращения, и источник электропитания, соединенный отрицательной клеммой с держателем изделий, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, оно снабжено полым цилиндрическим электродом, размещенным соосно с держателем изделий, и блоком коммутации, вход которого соединен с положительной клеммой источника электропитания, а независимые выходы с соплом плазмотрона и полым электродом, причем полый электрод выполнен с возможностью возвратно-поступательного перемещения.

Номер патента: 1835129

Опубликовано: 27.08.1995

Автор: Иванов

МПК: C23C 22/00

Метки: деталях, металлических, пленка, стеклокерамическая

1. СТЕКЛОКЕРАМИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА НА МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕТАЛЯХ, создаваемая на алюминидной поверхности стальной детали из водного раствора, содержащего ортофосфорную кислоту, хромовый ангидрид, при последующей тепловой обработке, отличающаяся тем, что, с целью повышения жизнестойкости раствора, увеличения толщины пленки при одноразовой обработке поверхности, раствор дополнительно содержит 30% -ный раствор пероксида водорода, оксид магния, металлический магний или металлический алюминий или сумму этих металлов при следующем соотношении компонентов, мас.Ортофосфорная кислота 10 27Хромовый ангидрид 3 1030%-ный раствор пероксида водорода 2 8Оксид кремния в виде аэросила 2 8Оксид магния 1 3Металлический магний или...

Номер патента: 1307887

Опубликовано: 10.09.1995

Авторы: Данилов, Малышев

МПК: C23C 14/50

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, преимущественно на лопатки турбин, содержащее планшайбу с отверстиями, в которых установлены с радиальным и осевым зазором держатели с патронами для закрепления подложек, и концевыми упорами, переходное звено, кинематически соединенное с приводом вращения и планшайбой, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия, привод вращения снабжен эксцентриком с отверстием, а переходное звено выполнено в виде вала, расположенного под углом к оси привода, с осевым и радиальным зазором в отверстии эксцентрика, а планшайба жестко закреплена на валу.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что по оси вала выполнено отверстие для циркуляции хладагента.3. Устройство по пп. 1 и...

Номер патента: 1314717

Опубликовано: 10.09.1995

Авторы: Андреев, Дворецкий, Луценко, Падалка, Саблев, Ступак

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, поверхностей, упрочнения

1. Способ упрочнения поверхностей изделий в вакууме, включающий химико-термическую обработку поверхности зажиганием несамостоятельного газового разряда в плазме реакционного газа путем инжекции электронов из автономного вакуумного дугового разряда в парах расходуемого электрода, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, перед химико-термической обработкой осуществляют осаждение покрытия из ионизованных паров на обрабатываемую поверхность, причем осаждение покрытия и его химико-термическую обработку проводят периодически с соотношением продолжительности процессов, определяемым из выражениягде...

Номер патента: 1468009

Опубликовано: 10.09.1995

Автор: Данилов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ по авт. св. N 1307887, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет повышения его равномерности, оно снабжено пальцем с шариком на торце, установленным радиально на конце вала, а во втулке выполнен фигурный паз, при этом шарик установлен с возможностью контактирования со стенками фигурного паза.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что стенки фигурного паза образованы двумя одинаковыми втулками-копирами, установленными оппозитно.

Номер патента: 1066230

Опубликовано: 10.09.1995

Авторы: Андросенко, Ерекин, Игонин, Колесникова, Кошелев, Крафт

МПК: C23C 14/36

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащая рабочие и шлюзовую камеры с подложкодержателями и механизмами их перемещения, а также магазин подложкодержателей с приводом, размещенным в шлюзовой камере, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности, шлюзовая камера размещена между рабочими камерами, а механизмы перемещения подложкодержателей установлены с возможностью их передвижения между рабочими камерами через магазин подложкодержателей.

Номер патента: 1417502

Опубликовано: 27.09.1995

Авторы: Смирнов, Таран, Токарев

МПК: C23C 14/34

Метки: плазме, проволоки

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПРОВОЛОКИ В ПЛАЗМЕ, содержащее рабочую камеру в виде трубы, вакуумные затворы, установленные на торцах камеры, механизм перемотки проволоки, систему возбуждения тлеющего разряда, одним из электродов которой является обрабатываемая проволока, систему вакуумной откачки и систему напуска рабочих газов, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности и производительности устройства, в качестве второго электрода системы возбуждения тлеющего разряда использована рабочая камера, причем длина рабочей камеры выбрана из соотношенияl (30 50) dвк,где l длина рабочей камеры, мм;dвк внутренний диаметр рабочей камеры, мм,при этом вакуумные затворы...

Номер патента: 1322701

Опубликовано: 10.10.1995

Авторы: Левченко, Недыбалюк

МПК: C23C 14/42

Метки: вакууме, диэлектрических, катодным, нанесения, покрытий, распылением

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ В ВАКУУМЕ, содержащее катод-мишень, подложкодержатель и кольцевой анод, расположенный между катодом-мишенью и подложкодержателем соосно геометрической оси катод-мишень подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции устройства и повышения его экономичности, на кольцевом аноде, равномерно по его периметру, выполнено не менее трех выступов игольчатой формы.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что длина выступов не менее 4 мм.

Номер патента: 780281

Опубликовано: 10.10.1995

Авторы: Бартенев, Федько

МПК: B05B 7/20, C23C 4/00

Метки: нанесения, покрытий

1. Способ нанесения покрытий, заключающий в подаче напыляемого материала и гремучей смеси газов в открытый с одного конца ствол и инициировании детонационной волны, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и качества покрытий при напылении тугоплавких материалов, в стволе инициируют дополнительную волну, направленную навстречу основной.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что интервал времени между моментами инициирования детонационных волн равен:(l1 l2 + 2kd)/D,где l1 и l2 расстояния от центра тяжести навески порошка до мест инициирования детонационных волн со стороны открытого и закрытого концов ствола соответственно (м);d диаметр ствола (м);D...

Номер патента: 1753736

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Козейкин, Марьенко, Перинский, Школьников

МПК: C23C 14/48

Метки: защиты, коррозионной, сплавов

СПОСОБ КОРРОЗИОННОЙ ЗАЩИТЫ ДЕТАЛЕЙ ИЗ СПЛАВОВ на основе меди и алюминия, включающий химическую очистку детали и ее ионно лучевую обработку ионами инертных газов с энергией 40 75 кэВ и дозой 6 1015 2 1016 см-2, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости деталей с чистотой обработки поверхности ниже 13 класса, химическую очистку осуществляют в полирующем травителе, а после или перед основной ионно-лучевой обработкой проводят дополнительную обработку с энергией ионов 100 150 кэВ и дозой 1,2

Номер патента: 1723956

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Гурин, Семенюк, Трипута, Хоббихожин, Хоменко

МПК: C23C 14/02, H01L 21/302

Метки: ионно-плазменной

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ, содержащее вакуумную камеру, в которой размещены разрядные электроды, подключенные к двум независимым источникам ВЧ-напряжения и разделенные промежуточным заземленным электродом с отверстием, при этом обрабатываемое изделие размещено на одном из разрядных электродов против отверстия промежуточного электрода, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости ионно-плазменной обработки и уменьшения степени загрязнения обрабатываемого изделия, оно снабжено дополнительным электродом, размещенным на противоположном торце камеры, камера выполнена в виде параллелепипеда, охватывающего разрядный, промежуточный и дополнительный электрод, формы которых повторяет сечение камеры, и присоединенного к нему...

Номер патента: 1356527

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Зайкина, Корнопольцев, Шинкевич

МПК: C23C 12/02

Метки: комплексного, насыщения, состав, стальных

СОСТАВ ДЛЯ КОМПЛЕКСНОГО НАСЫЩЕНИЯ СТАЛЬНЫХ ИЗДЕЛИЙ, содержащий окись хрома, окись алюминия и активатор, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса насыщения и повышения коррозионной стойкости изделия, он дополнительно содержит порошок оловянной бронзы Бр 0 10, а в качестве активатора смесь хлористого аммония с фторборатом калия в соотношении 1 3, при следующем соотношении компонентов, мас.Оловянная бронза Бр 0 10 35 55Окись алюминия 2 3Смесь хлористого аммония с фторборатом калия в соотношении 1 3 1,2 2,8Окись хрома Остальное

Номер патента: 666912

Опубликовано: 27.10.1995

Авторы: Бартенев, Федько

МПК: C23C 4/00

Метки: нанесения, окисных, покрытий

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ОКИСНЫХ ПОКРЫТИЙ детонационным напылением, включающий подачу в ствол детонационной установки смеси кислорода и ацетилена, размещение в нем порошка окисла металла, инициирование взрыва и напыление окисла продуктами детонации на подложку, расположенную у открытого конца ствола перпендикулярно его оси, отличающийся тем, что, с целью расширения ассортимента напыляемых окислов, уменьшения пористости, газопроницаемости покрытий, увеличения их электрической прочности и производительности процесса, смесь кислорода и ацетилена берут в соотношении (2 3) 1 при размещении порошка окисла в стволе на расстоянии 0,3 0,4 его длины от открытого конца и размер частиц порошка определяют из соотношения

Номер патента: 1762577

Опубликовано: 10.11.1995

Авторы: Андреев, Саблев, Шелохаев

МПК: C23C 8/48

Метки: вакуумнодуговом, разряде, химико-термической

УСТАНОВКА ДЛЯ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ В ВАКУУМНОДУГОВОМ РАЗРЯДЕ ИЗДЕЛИЙ, преимущественно длинномерных, содержащая вакуумную камеру с катодом и анодом и установленный между ними оптически непрозрачный экран, приспособление для крепления изделий с держателем, размещенным между анодом и экраном, источник питания, соединенный с катодом и через ключ с анодом и приспособлением крепления изделия, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки путем повышения однородности нагрева изделий по длине, она снабжена соленоидом и датчиками положения катодного пятна, катод и анод выполнены в виде полос с токоподводами по концам, держатели выполнены с токоподводами, соединенными между собой, токоподводы катода соединены с источником...

Номер патента: 915485

Опубликовано: 10.11.1995

Автор: Бартенев

МПК: B05B 7/20, C23C 4/00, C23C 4/04 ...

Метки: нанесения, покрытий

1. Способ нанесения покрытий, включающий нагрев порошка и напыление его на подложку ударной волной, отличающийся тем, что, с целью улучщения условий техники безопасности и расширения технологических возможностей процесса, ударную волну инициируют за счет создания в реакционном пространстве зон низкого и высокого давления при размещении напыляемого порошка в зоне низкого давления, расположенной в непосредственной близости от подложки, и соединения зон между собой в течение времени, не превышающем d/Uзв, где d - диаметр зоны, Uзв скорость звука в газе до соединения зон, причем давление газа в зоне высокого давления больше

Номер патента: 1300975

Опубликовано: 10.11.1995

Автор: Левченко

МПК: C23C 14/36

Метки: мишени, сегнетокерамической

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий формовку материала мишени, обжиг, измельчение и повторную формовку с обжигом, обработку материала мишени в вакууме путем пропускания через него тока, отличающийся тем, что, с целью повышения долговечности мишени, перед обработкой материала мишени в вакууме проводят селективную металлизацию поверхности мишени, а пропускание тока осуществляют поочередно через участки металлизации с последующим их удалением.

Номер патента: 1300976

Опубликовано: 10.11.1995

Автор: Левченко

МПК: C23C 14/36

Метки: мишени, сегнетокерамической

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий формовку заготовки, ее обжиг, измельчение, повторные операции формовки и обжига и обработку заготовки током разряда в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса, обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65 10-1 Па.

Номер патента: 1697453

Опубликовано: 20.11.1995

Авторы: Левченко, Недыбалюк, Одиноков

МПК: C23C 14/35

Метки: вакууме, ионно-плазменного, распыления

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ, преимущественно на вращающуюся вокруг своей оси подложку, содержащее магнетронную систему, состоящую из катода с мишенью и полюсных наконечников, подложкодержатель и анод, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента полезного использования распыленного материала, оси симметрии подложкодержателя и мишени образуют угол 18 26o, а центр мишени смещен от оси подложкодержателя на величину (0,18 0,27) D мм, причем средний диаметр зазора между полюсными наконечниками равен 0,75 D мм, где D диаметр подложкодержателя, мм.

Номер патента: 1137775

Опубликовано: 27.11.1995

Автор: Левченко

МПК: C23C 14/00

Метки: пленок, сегнетоэлектрических

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, включающий распыление исходного материала в среде кислорода и осаждение его на нагретую подложку, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических свойств пленок, процесс осаждения проводят циклично, при этом после каждого цикла осаждения температуру подложки и давление кислорода увеличивают до температуры не более 0,8 температуры плавления исходного материала и до давления не более 26664,4 Па соответственно, проводят термообработку пленки, снижают температуру подложки и давление кислорода до первоначальных значений и проводят следующий цикл осаждения.

Номер патента: 1438269

Опубликовано: 10.12.1995

Авторы: Корнопольцев, Ляхович, Садыков, Шинкевич

МПК: C23C 12/02

Метки: комплексного, насыщения, состав, стальных

СОСТАВ ДЛЯ КОМПЛЕКСНОГО НАСЫЩЕНИЯ СТАЛЬНЫХ ИЗДЕЛИЙ, включающий борный ангидрид, окись алюминия, алюминий и активатор, отличающийся тем, что, с целью повышения насыщающей способности состава, коррозионной стойкости и износостойкости обрабатываемых изделий, он дополнительно содержит порошок окиси меди, а в качестве активатора хлористый аммоний и тетрафторборат калия при следующем соотношении компонентов, мас.Порошок окиси меди 10 40Окись алюминия 29 31Алюминий 10 25Хлористый аммоний 2 4Тетрафтороборат калия 2 3Борный ангидрид Остальное

Номер патента: 1349326

Опубликовано: 10.12.1995

Авторы: Бурнышев, Корнопольцев, Ляхович, Шинкевич

МПК: C23C 12/02

Метки: комплексного, насыщения, состав, стальных

СОСТАВ ДЛЯ КОМПЛЕКСНОГО НАСЫЩЕНИЯ СТАЛЬНЫХ ИЗДЕЛИЙ, включающий аморфный бор, калийтетрафторборат, окись алюминия, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса насыщения и повышения коррозионной стойкости изделий, он дополнительно содержит порошок оловянной бронзы БР.0-10, порошок цинка и карбида бора при следующем соотношении компонентов, мас.Порошок оловянной бронзы БР.0-10 40 60Аморфный бор 8 12Порошок цинка 2 4Окись алюминия 2 3Калийтетрафтороборат 1 3Карбид бора Остальное

Номер патента: 1452182

Опубликовано: 20.12.1995

Авторы: Корнопольцев, Ляхович, Шинкевич

МПК: C23C 8/68

Метки: борирования, состав, стальных

1. Способ борирования стальных изделий, включающий нагрев до температуры насыщения, выдержку в медьсодержащей насыщающей среде, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса насыщения и повышения износостойкости и коррозионной стойкости, перед нагревом до температуры насыщения производят нагрев насыщающей смеси до температуры плавления меди.2. Состав для борирования стальных изделий, включающий порошок меди, карбид бора, тетрафторборат калия, отличающийся тем, что, с целью повышения насыщающей способности и повышения износостойкости и коррозионной стойкости, он дополнительно содержит аморфный бор при следующем соотношении компонентов, мас.Порошок меди 20 50Бор аморфный 10 16Калий тетрафторборат 1 3

Номер патента: 1828140

Опубликовано: 20.12.1995

Авторы: Васильев, Сапронов, Скиргелло, Чайрев

МПК: C23C 14/35, C23C 14/56

Метки: вакууме, ленты, металлизированных, полиимидной

...не вносит заметно- сколько-нибудь заметному короблению, го вклада в величину внутренних механиче- В табл.3 приведены примеры нзнесеских напряжений наносимого металла; т.е. ния слоя металла 10 на поверхность подсохраняет ровность подложки 1 и не пРиво- ложки 1 из полиимидной пленки (ширина дит к ее короблению(фиг.1). 25 пленки - 140 мм) в случае использования вПосле этого проводят второй этап нане- качестве металла алюминия и меди.сения слоя металла: повышэютдавлвние ар- При меньшем; чем указано в табл.З натягоно-водородной смеси до величины, при жении подложки, она недостаточно плотно которой осаждаемый слой нв имеет вну 1- контактирует с поверхностью металличереннихнапряжений,ипроводятпроцессна ского барабана 2, что приводит к ее...

Номер патента: 1780455

Опубликовано: 20.12.1995

Авторы: Абрамов, Балько, Быстров, Василишин, Лисенков, Никонюк, Шубин

МПК: C23C 14/32, H01J 31/12

Метки: вакуумного, индикатора, люминесцентного, системы, электродной

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОДНОЙ СИСТЕМЫ ВАКУУМНОГО ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ИНДИКАТОРА, включающий формирование в вакууме на стеклянной подложке слоя алюминия и последующую обработку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества слоя с одновременным снижением расхода материала за счет исключения из процесса операции нанесения промежуточного подслоя, напыление алюминия осуществляют непосредственно на стеклянную подложку с помощью вакуумно-дугового разряда до получения покрытия толщиной 0,5 1,5 мкм.

Номер патента: 1077334

Опубликовано: 27.12.1995

Авторы: Левченко, Тарасов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, пленок

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, содержащее подложкодержатель и испаритель направленного действия с выходным каналом, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения производительности, выходной канал выполнен в виде многоканального коллиматора, подложкодержатель расположен от коллиматора на расстояниигде l длина канала;d диаметр канала;b расстояние между соседними каналами.

Номер патента: 1483980

Опубликовано: 27.12.1995

Авторы: Врублевский, Самаль

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумной, запыления, защиты, камеры, окна, смотрового

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ СМОТРОВОГО ОКНА ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ ОТ ЗАПЫЛЕНИЯ, содержащее экран с отверстием, жестко связанный с вакуумной камерой и смотровым стеклом, отличающееся тем, что, с целью увеличения срока службы смотрового окна при максимальном постоянном угле обзора, экран выполнен в виде полусферы с диаметром, равным диаметру смотрового стекла, и снабжен дополнительными отверстиями, соосно которым установлены цилиндрические трубки с внутренним диаметром, равным диаметру отверстий в экране, причем высота трубки h (мм) и ее внутренний диаметр d (мм) выбраны из выражения h:d=(3.1): 1, внутренний диаметр трубки d (мм) и диаметр смотрового стекла D (мм) выбраны из выражения d:D=(2.7):150, а расстояние S (мм) между центрами соседних трубок...