C23C — Покрытие металлического материала; покрытие других материалов металлическим материалом; поверхностная обработка металлического материала диффузией в поверхность путем химического превращения или замещения; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще

Номер патента: 1513949

Опубликовано: 10.03.1995

Авторы: Гусев, Захаров, Костенков, Крашенинников, Усачев

МПК: C23C 16/00

Метки: осаждения, паровой, покрытий, фазы, химического

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ, содержащее горизонтальную камеру с размещенными в ней подложкодержателем, средствами ввода реагентов и отвода продуктов реакции, смонтированными соответственно в верхней и нижней частях камеры, нагреватель обрабатываемых изделий, привод поступательного перемещения подложкодержателя вдоль камеры относительно средств ввода реагентов и отвода продуктов реакции и привод вращения изделия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества и производительности при нанесении покрытий на изделия цилиндрической формы, оно снабжено съемной рамкой с поперечными опорными дорожками, толкателем, смонтированным на направляющей, и кареткой, установленной в рамке с возможностью...

Номер патента: 1338451

Опубликовано: 10.03.1995

Авторы: Гусев, Костенков, Крашенинников, Тюгина, Чапля

МПК: C23C 16/00

Метки: газовой, осаждения, паровой, покрытий, фазы

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ (ПАРОВОЙ) ФАЗЫ на наружную поверхность цилиндрических изделий, содержащее горизонтальную цилиндрическую реакционную камеру, нагреватель изделия, подложкодержатель, патрубки для ввода исходного химсоединения и отвода продуктов реакции, расположенные соосно друг другу, и привод для вращения обрабатываемого изделия, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий и повышения эффективности процесса, оно снабжено ограничительной вставкой, установленной внутри реакционной камеры симметрично относительно патрубков и выполненной в виде двух кольцевых перегородок, жестко связанных радиальной перемычкой, расположенной под острым углом за вводным патрубком.2. Устройство по п.1,...

Номер патента: 1802551

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Бизюков, Середа, Целуйко, Юнаков

МПК: C23C 14/56

Метки: ионно-лучевого, нанесения, покрытий

...магнитного поля и заземленный электрод - токоприемник, Расстояние мишень-подложка 1. = 3 см.Производя откачку вакуумного объема до давления Р 10 мм рт.ст. с помощью системы напуска газа подсоединенной к устройству формирования ионного пучка типа СЧА, устанавливают давление рабочего газа Аг в вакуумном объеме Р 5 10 мм рт.ст. С помощью блока питания типа БПустанавливают разрядное напряжение на устройстве формирования ионного пучка О - 4 кВ и разрядный ток 1 р 200 мА. С помощью блока питания подают отрицательное относительно корпуса напряжение смещения на держатель мишени, равное Осм = 4 кВ, формируя тем самым ионный пучок на поверхности мишени, Ток ионного. пучка на мишень 1 П -150 мА.Подставляя указанные конкретные значения...

Номер патента: 1623231

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Борисова, Легин, Мирославов, Сидоренко, Суглобов

МПК: C23C 16/16

Метки: нанесения, покрытий, технециевых

...сублимируют при 200 - 220 С/1 Па, Продукт конденсируется в холодной зоне сублиматора в виде бесцветных кристаллов, сублимация протекает без остатка,Другой вариант методики синтеза предусматривает растворение ПКБТ в этанольном растворе ЭДА (молярное соотношение Тс:ЭДА " 1:1,05) и последующую отгонку растворителя досуха. В этом случае продукт кристаллизуется по мере отгонки растворителя. Время синтеза при массе исходного соединения 1 г составляет 2 - 3 ч. Результаты элементного анализа полученного соединения следующие, мас, : покрываемая трубчатая деталь, и гребенкой для откачки продуктов терморазложения. Титановуютрубкудлиной 50 мм и наружным диаметром 18 мм, используемую в качестве подложки, обеэжиривают ацетоном, протравливают в...

Номер патента: 1568570

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Борисова, Варюхин, Легин, Лычев, Мирославов, Семенов, Сидоренко, Суглобов

МПК: C23C 16/16

Метки: нанесения, покрытий, технециевых

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТЕХНЕЦИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ путем термического разложения паров карбонилбромидного соединения технеция на нагретой подложке в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода металла, в качестве карбонилбромидного соединения используют тетрамерный трикарбонилбромид технеция, при этом процесс проводят в присутствии паров этиленгликоля при его молярном отношении к технецию 20 - 40 и температуре подложки 330 - 350oС.

Номер патента: 1340230

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Варакин, Кузнецов, Ляпин

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, выгрузки, загрузки

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ И ВЫГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее рабочую и шлюзовую камеры, затворы с герметичными фланцами, расположенными между камерами, подложкодержатель и шток возвратно-поступательного перемещения с приводом, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности в работе за счет обеспечения разгерметизации затворов и перемещения изделий от одного привода, фланец, расположенный со стороны рабочей камеры, выполнен в виде плоского кольца и снабжен подпружиненным сильфоном, размещенным соосно отверстию кольца и герметично соединенным с его поверхностью, а другой фланец выполнен в виде диска и снабжен фиксатором, закрепленным соосно штоку со стороны рабочей камеры, при этом шток размещен в рабочей...

Номер патента: 1783856

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Аникеев, Коняшин, Леонов, Торопченов

МПК: C23C 14/06

Метки: изделиях, износостойких, покрытий, сплавов, твердых

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯХ ИЗ ТВЕРДЫХ СПЛАВОВ, включающий нагрев и очистку поверхности заготовки путем обработки ускоренными ионами карбидо- и нитридообразующих элементов при ускоряющем напряжении не менее 1 кВ, введение атомов азота в приповерхностный слой заготовки и конденсацию материала покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационной стойкости изделия, введение атомов азота в приповерхностный слой заготовки осуществляют одновременно с нагревом и очисткой поверхности заготовки, при этом обработку ускоренными ионами карбидо- и нитридообразующих элементов осуществляют в атмосфере азота при давлении 0,5 - 2,0 Па.

Номер патента: 1780340

Опубликовано: 27.03.1995

Авторы: Богданова, Кришталь, Сардаев, Таланцев, Тихонов

МПК: C23C 8/26

Метки: стальных, химико-термической

СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ СТАЛЬНЫХ ДЕТАЛЕЙ, включающий нагрев и выдержку деталей при 350-400oС в течение 10 - 30 мин в воздушной атмосфере, азотирование при 570 - 590oС в смеси аммиака и углеродсодержащего газа, оксидирование и охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости деталей, улучшения экологии за счет снижения расхода аммиака и упрощения способа, азотирование ведут в присутствии экзогаза при его соотношении с аммиаком 4 : 1, оксидирование проводят в том же рабочем пространстве в течение 1 - 2 ч без подачи аммиака с последующим охлаждением в масле.

Номер патента: 919382

Опубликовано: 27.03.1995

Авторы: Григорьев, Домрачев, Костенков, Крашенинников, Щенников

МПК: C23C 16/54

Метки: газовой, покрытий, фазы

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, включающее станину, на которой расположены средства для крепления и герметизации изделия, узел подачи химического соединения в полость обрабатываемого изделия, нагреватель изделия и привод для перемещения нагревателя, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытия и производительности процесса, узел подачи химического соединения в локальную зону осаждения снабжен кронштейном и штангой, жестко связывающими нагреватель с узлом подачи, выполненным в виде термостатируемой питающей головки с отводным удлиненным патрубком на конце и тарельчатыми перегородками для ограничения зоны осаждения, между которыми выполнены питающие радиальные каналы и отверстия для отвода продуктов реакции в...

Номер патента: 1632088

Опубликовано: 10.04.1995

Автор: Попов

МПК: C23C 14/36, H01L 21/203

Метки: ионной

...регулируют так, чтобы поддерживать постоянное давление Р 1 химического активного газа над поверхностью мишени или подложки,Р будет определяться соотношением: где Он.г.п. - поток газа, поглощенного нераспьляемь 1 м газопоглотителем 10;Ян.г,п, - СКОРОСТЬ ОтКаЧКИ ВСТРОЕННОГО насоса по выбранному 1-газу, формирующеМу ПОТОКИ Ояк 1 И Ояк 2. ДаВЛЕНИЕ Р 1 ОбЕСПЕ- чивает ббразование соединения требуемой стехиометрии, которое определяет или скорость распыления мишени, или конечный продукт напыленной пленки. Разогретый газопоглотитель поглощает все химически активные газы с разными скоростями в зависимости от температуры его отдельных зон и энергии сорбции, В результате внутри его цилиндрической полости, где расположены мишень и подложка, общее...

Номер патента: 1249970

Опубликовано: 20.04.1995

Авторы: Бушева, Горячева, Кузнецов, Хрулева

МПК: C23C 18/38

Метки: диэлектриков, ионов, лиганд, меди, меднения, растворе, химического

Применение лапромола 294, представляющего собой продукт взаимодействия окиси пропилена с водным раствором этилендиамина, в качестве лиганда ионов меди (II) в растворе химического меднения диэлектриков.

Номер патента: 1753737

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Архипов, Егоров, Нестеренко, Тимкин

МПК: C23C 14/48, H05H 1/54

Метки: плазменная, поверхностей

1. ПЛАЗМЕННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащая вакуумную рабочую камеру, внутри которой установлены обрабатываемое изделие с приспособлением для его установки и плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов, в состав которого входят коаксиальная разрядная камера с анодом и термоэмиссионный катод-компенсатор, и систему высоковакуумной откачки, соединенную с вакуумной рабочей камерой через трубопровод с вакуумным затвором, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности установки за счет исключения технологических потерь времени, в течение которого остывает термоэмиссионный катод-компенсатор, катод-компенсатор размещен в полости трубопровода перед вакуумным затвором со стороны высоковакуумной откачки.

Номер патента: 1811221

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Бударагин, Дакалова, Дробышевская, Ионов, Куприн, Платова, Филиппов, Хохлова

МПК: C23C 18/02, C23C 28/04

Метки: оксидов, пленочных, покрытий, смешанных, титана, щелочноземельных, элементов

...малорастворимых гидративных карбоксилатов титана, которые вызывают образование кратеров. Можно предполохсить, что при нанесении органического раствора при температуре кипения водыисключена возможность ее конденсации в органической системе, что способствует снижению числа дефектов на поверхности подложки. При температуре начала термолиза выше 140 С имеет место интенсивное разбрызгивание и связанное с этим образование дефектов,П р и м е р 2. Приготовленную смеськомплексов титана и стронция с ВИК - 1 приМольном соотношении 1:2 и суммарной концентрации элементов 27,3 г/л наносили ме 25 тодом окунания на образцы титана, кварцаи стали в интервале температур 25 - 150 С,Термолиз осуществляли в защитной атмосфере (аргон), начиная с температуры...

Номер патента: 1814818

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Володин, Мухамедшин, Тулеушев

МПК: C23C 18/16, C23C 18/30

Метки: диэлектрика, металлических, поверхности, покрытий, формирования

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКА, включающий активацию его поверхности и осаждение металла покрытия из водного раствора его соли путем химического восстановления, отличающийся тем, что, с целью увеличения удельной поверхности покрытия из благородных металлов, активацию ведут напылением островковых водородных геттеров из платины или палладия при давлении водорода не более 10-5 ПА, а осаждение из насыщенных водородом растворов.

Номер патента: 1831886

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Валко, Гайдук, Кирнос, Клышников, Ладанов, Мосунов, Наумчик, Руденко, Сусин, Туяхов

МПК: C23C 8/32

Метки: стальных, химико-термической

СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ СТАЛЬНЫХ ИЗДЕЛИЙ, преимущественно из хромоникелевых сталей, включающий цементацию в атмосфере эндогаза, природного газа и аммиака, подстуживание, повторный нагрев под закалку и закалку, отличающийся тем, что, с целью повышения сопротивления усталости путем повышения прокаливаемости и закаливаемости упрочненного слоя и уменьшения содержания в нем продуктов немартенситного превращения, цементацию проводят в две стадии активного насыщения и диффузионного выравнивания, причем на всех стадиях содержание аммиака в насыщающей атмосфере 0,05 0,3% стадию активного насыщения проводят при углеродном потенциале 1,2% стадию диффузионного выравнивания с углеродным потенциалом, соответствующим эвтектоидному составу...

Номер патента: 1835127

Опубликовано: 10.05.1995

Автор: Загорский

МПК: C23C 8/52

Метки: металлических, поверхности, упрочнения

СПОСОБ УПРОЧНЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ, включающий нагрев изделия до температуры плавления электрической дугой обратной полярности неплавящимся дисковым электродом с принудительным охлаждением жидким теплоносителем и насыщение обрабатываемой поверхности ионизированной плазмой электрода, отличающийся тем, что, с целью повышения степени упрочнения поверхности и реализации возможности насыщения изделий ионами, плазмы любых насыщающих материалов, поверхность изделия нагревают дугой длиной до 1 мм, а принудительное охлаждение электрода проводят до температуры, не превышающей 200oС.

Номер патента: 1805677

Опубликовано: 20.05.1995

Авторы: Ахматов, Гриц

МПК: C23C 4/12

Метки: напыления, плазменного, покрытий

...струи, Недостаткам известного способа является сильное окисление материала покрытия при проведении процесса в 10 неконтролируемой атмосфере и, как следствие низкий уровень свойств.Ближайшим техническим решением к предлагаемому изобретению является способ плазменного напыления, включающий: 15 использование двух плазмообраэующих газов. В этом способе снижается окисление наносимого материала, однако покрытия характеризуются низкой прочностью сцепления и высокой пористостью, что обуслов лено неудовлетворительной теплофизикой процесса.Цель изобретения - повышение прочности сцепления и снижение пористости покрытий. 25Поставленная цель достигается тем, что при плазменном напылении с использованием двух плаэмообраэующих газов, осуществляют...

Номер патента: 1238597

Опубликовано: 20.05.1995

Авторы: Векслер, Горошенко, Кузбар, Кузнецов, Лесников, Солодарь, Тотьмянин, Ценев

МПК: C23C 10/00

Метки: алитирования

СПОСОБ АЛИТИРОВАНИЯ ДЕТАЛЕЙ, преимущественно лопаток из жаропрочных сплавов, с узкими внутренними каналами, включающий нагрев до температуры обработки и диффузионную выдержку, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытия путем повышения равномерности его по длине внутренних каналов сложной конфигурации и повышения производительности обработки, в процессе диффузионной выдержки осуществляют принудительную циркуляцию газовой среды от источника насыщающего элемента к наружным и внутренним поверхностям деталей с периодическим изменением скорости потока.

Номер патента: 1828669

Опубликовано: 27.05.1995

Автор: Кульпинов

МПК: C23C 14/50, C23C 14/54

Метки: вакууме

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее подвижную камеру, размещенные в ней неподвижную стойку, средство технологической обработки, карусель с держателями изделий, выполненную в виде двух дисков, один из которых ведущий, а другой ведомый, сопряженных между собой с помощью пальца и группы отверстий, расположенных на ведомом диске, число которых соответствует числу обрабатываемых изделий, и привод планетарного вращения карусели, включающий две зубчатые пары, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения эксплуатационных характеристик, оно снабжено двумя тягами, подвижно установленными в стойке, каждая из которых жестко связана с ведомым элементом одной из зубчатых пар привода карусели, и снабжено n 1...

Номер патента: 1249958

Опубликовано: 09.06.1995

Авторы: Буланов, Клинская, Копысов, Петруничев, Пуширин, Соловьев

МПК: C22C 19/05, C22C 32/00, C23C 14/06 ...

Метки: газотермических, покрытий, порошковая, смесь

ПОРОШКОВАЯ СМЕСЬ ДЛЯ ГАЗОТЕРМИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ, содержащая диборид металла, хром, кремний, бор, железо, углерод и никель, отличающаяся тем, что, с целью повышения износостойкости и снижения пористости покрытий, она в качестве диборида металла содержит диборид хрома, плакированный никелем в количестве 10 50 мас. при следующем соотношении компонентов, мас.Диборид хрома, плакированный никелем 19 37хром 12 17Кремний 2,0 -4,0Бор 1,5 3,5Железо 2,0 4,5Углерод 0,2 0,9Никель Остальное

Номер патента: 1580852

Опубликовано: 09.06.1995

Авторы: Зыков, Качанов, Марущенко, Фареник, Юнаков

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, диэлектрических, мишеней, поверхностей

СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ В ВАКУУМЕ, включающий бомбардировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода-нейтрализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода-нейтрализатора подают положительный потенциал (B), выбираемый из выражения5 kТ e < E; < U,где k постоянная...

Номер патента: 1427881

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Кошелев, Крафт

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее шлюзовую камеру, рабочую камеру, вакуумный затвор, расположенный между ними, и тележку с подложкодержателями и роликами, выполненными с возможностью зацепления с винтом, расположенным в рабочей камере, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет уменьшения загрязнений подложек в шлюзовой камере элементами ее механизма перегрузки и транспортировки подложек, шлюзовая камера снабжена винтом, установленным соосно с винтом в рабочей камере, при этом ролики тележки выполнены с возможностью одновременного контактирования с винтом шлюзовой и рабочей камер.

Номер патента: 1628558

Опубликовано: 19.06.1995

Авторы: Гавриленко, Николаев, Уляницкий

МПК: C23C 4/00

Метки: газопорошкового, потока, создания

1. СПОСОБ СОЗДАНИЯ ГАЗОПОРОШКОВОГО ПОТОКА, включающий создание в открытом с одного конца стволе зон, заполненных горючей газовой смесью, разделенных зоной, заполненной негорючей газовой смесью, ввод в ствол перпендикулярно его оси порошка и инициирование детонации, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости потока, сначала инициируют детонацию в зоне у закрытого конца ствола, регистрируют момент появления фронта ударной волны в зоне у открытого конца ствола, после чего инициируют детонацию и в этой зоне.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при использовании горючей смеси, содержащей пропан-бутан и кислород при соотношении компонентов 1 2,0 9,0, выдерживают соотношения между длинами зон вдоль ствола l3...

Номер патента: 1737935

Опубликовано: 19.06.1995

Автор: Ломовцев

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее шлюзовые и рабочие камеры, вакуумные затворы и тележки с приводом в виде винтов и роликов, причем ролики расположены на тележках с возможностью зацепления с винтами, которые расположены в шлюзовых и рабочих камерах, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и расширения технологических возможностей, на торцах винтов выполнен осевой срез винтовой линии под углом к диаметру сечения, проходящего через точку среза, при этом угол подъема винтовой линии больше угла самоторможения винта, а каждый винт снабжен муфтой с дистанционным управлением.

Номер патента: 1725574

Опубликовано: 27.06.1995

Авторы: Маишев, Парфененок

МПК: C23C 14/34

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ преимущественно на цилиндрические длинномерные детали, содержащее ионный источник, выполненный в виде цилиндрического корпуса с двумя закрытыми торцами, на одном из которых выполнена кольцевая щель для выхода ионного потока, магнитной системы, анода и распыляемой мишени, и держатель обрабатываемой детали, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытия и расширения технологических возможностей, в ионном источнике по его оси выполнено отверстие для прохода цилиндрической детали, а мишень выполнена в виде усеченного конуса, установленного напротив щели.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено турелью для установки мишеней.

Номер патента: 699813

Опубликовано: 27.06.1995

Автор: Ломовцев

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуум, загрузки

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМ, содержащее загрузочную камеру с крышкой, кинематически соединенной с приводом, и клапан напуска воздуха, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства в работе, клапан напуска воздуха кинематически соединен с приводом крышки.

Номер патента: 1776088

Опубликовано: 27.06.1995

Авторы: Воронко, Дзидзигури, Жангозин, Левина, Рыжонков, Тричева, Умаров

МПК: C23C 8/00, C23C 8/26

Метки: диффузионного, металлических, насыщения

СПОСОБ ДИФФУЗИОННОГО НАСЫЩЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ, включающий нагрев, выдержку и охлаждение в насыщающей среде с наложением электростатического поля бесконтактным способом, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса за счет ускорения химических реакций, уменьшения энергозатрат и понижения температуры, наложение электростатического поля бесконтактным способом проводят при изоляции изделия с помощью диэлектрика от электрического тока при напряженности электростатического поля 4 10 кВ/см.

Номер патента: 1828142

Опубликовано: 27.06.1995

Авторы: Артемов, Афонин, Онуфриев

МПК: C23C 14/54

Метки: вакуумных, нанесения, покрытий, сложного, состава

1. Способ нанесения вакуумных покрытий сложного состава, заключающийся в том, что поочередно распыляют мономатериал из различных катодов мишеней, причем его количество регулируют длительностью импульсов, которые подают на катод-мишень, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия и расширения технологических возможностей, после каждого нанесения мономатериала периодически проводят его ионную очистку путем формирования отрицательных импульсов, амплитуду которых регулируют и подают их на подложку для повышения адгезионной способности покрытия.2. Устройство для нанесения вакуумных покрытий сложного состава, содержащее не менее двух распылителей, аноды которых подключены к положительному полюсу источника питания, а...

Номер патента: 1410560

Опубликовано: 09.07.1995

Авторы: Ахантьев, Полюшкова, Руденко, Шкурка

МПК: C23C 8/12, C23C 8/24

Метки: порошковых, химико-термической

СПОСОБ ХИМИКО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ, включающий газовое азотирование, отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса работы изделий, перед азотированием проводят парооксидирование.

Номер патента: 1240076

Опубликовано: 20.07.1995

Авторы: Дудкевич, Клевцов, Мухортов, Свиридов

МПК: C23C 14/36

Метки: вакууме, ионно-плазменного, распыления

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ, содержащее рабочую камеру с окном, катодным узлом, содержащим электрод с закрепленной на нем диэлектрической мишенью, соединенный с ВЧ генератором и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности в работе, мишень закреплена герметично в окне, а электрод расположен вне рабочей камеры.