C23C 14/56 — устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

Номер патента: 107373

Опубликовано: 01.01.1957

Автор: Юрьев

МПК: C23C 14/56

Метки: металлического, нанесения, поверхность, селена, слоя, таллия, тонкого

...в пары,й изотоп Электрические параметры селепового В 1,1 пр 51 мительиого эземента В сильной степени зависят от толщины и от равОмерпоси распределения электронного полупроводника по селеиу.11 звестные способы нанесения таллия пг поверхность селеИ в виде солей таллия, раствореИ в воде, в спирте или в других растворителях, а также путем конденсации металлического таллия из его паров под вакуумом це обеспечиваот 1 еобходимой для высоковольтных элемс 1 пов точности дозировки и степени раьчюмериости распределе 55 я таллия по поверхности селепа.Тол 1 цииа слоя электронного полупроводника составляет, как известно, сотые доли микрона, и поэтому ие поддается измерению и ко 1 пролю раьпомерпости распреде.сиги обь 1 шыми ме 1 О.11 редла 1 аемый...

Номер патента: 117269

Опубликовано: 01.01.1958

Авторы: Богушевич, Ежов, Поволоцкий

МПК: C23C 14/56

Метки: аппарат, вакуумных, покрытий

...не показан), установленном со стороны приемного агрегата 1 Х, При нанесении нескольких покрытий по "ледовательно на каждый вид покрытия устанавливается отдельны.:. пульт питания.Транспортирование обрабатываемых листов осуществляется системой всдущих роликов 7 - 28, разбитых на пять групп с независимыми друг от друга приводами 29 - 33. Ведущие ролики 1 б - И рабочего агрегата , а также ведущие ролики свободного хода 1 б и 20 промежуточных агрегатов 11 и К объединены главным приводом Л, посредством которого осуществляется непрерывное перемещение листов со скоростью Гр. Остальные ведущие ролики служат для перемещения листов с большей скоростью 1, Переход от скорости 1 к скорости Гр, в Ю агрегате и обратно в 11 агрегате осуществляется...

Номер патента: 117359

Опубликовано: 01.01.1958

Автор: Поволоцкий

МПК: C23C 14/56

Метки: аппарат, вакуумный, нанесения, покрытий

...Р 1, шлюзового форвакуумного - УП и приемного И 11. Каждый из агрегатов имеет индивидуальные транспортеры 1 - 8.Управление работой аппарата производится пультом управления (на чертеже не показан), находящимся со стороны подающего агрегата 1. Автоматическая работа аппарата обеспечивается релейной схемой автоматики, программным реле и путевыми контактами 11 - 17, Питание и регулировка тигельного хозяйства 18 производится отдельным пультом питания (на чертеже не позакан), находящимся со стороны приемного агрегата У 111.С момента, когда во всех шлюзовых и рабочих вакуумных камерах достигнут требуемый вакуум, форвакуумные насосы 21 и высоковакуумные насосы 20 включены и находятся в рабочем состоянии, открыты все электромагнитные...

Номер патента: 159088

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: C23C 14/56

Метки: 159088

...подогрева изделий с нанесенными покрытиями б с нагревательным элементом 7, разгрузочная камера 8, кассеты 9 с укрепленными в них изделиями, роликовый механизм транспортировки кассет 10, экран 11 и система вакуумных насосов 12 и 13.Камеры разделяются вакуумными заслонками 14, При нанесении покрытий на цилиндрические детали 15 (см. фиг. 2) в рабочейкамере устачавливается механизм вращения 1 б спиц с нанизанными на них деталями.Процесс нанесения покрытий осуществляется при непрерывной транспортировке изделий.Кассета 9 с деталями помещается в загрузочную камеру 1, где с помощью механического насоса 12 создается вакуум. Затем открывают заслонку 14, и кассета передвигается вкамеру 2, где производится предварительныйнагрев изделий. Кассета...

Номер патента: 183564

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 14/56

Метки: автоматическое, вакуумнотерл1ической

...устройствах загрузочная н разгрузочная опера 1 ии совмещены В одном шлюзе, что затрудняет встраивание их и автоматические линии.Описываемое устройство отличается тем, что вакуумная камера сндбхкена встроенными и нее секционными загрузочными и раз грузочшямн шлюзами, работаОщихи синхрон- но с транспортными каруселямн. Оно позволхет ести процесс по нескольким независимым друг от друга рабочим каналам, что обеспечивает увеличение производительности, 1 н легко встраивается в автоматические линии.Ня фнг. 1 нзобг гво; ня фнг. 2 -0 е ство содерукнт Вдкуумнуо ка которой расположены транс 2 и 3. Кроме того, камера с ионным загрузочным шлюзо вующим ему двухсекционнь х шл юзох 1 д. 3 1 Грузоча 51 с гствующая ей разгрузочная с 3 нижнем днище...

Номер патента: 191986

Опубликовано: 01.01.1967

Авторы: Аникин, Блаер

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, катодным, нанесения, напылением, покрытий, шлгозовое

...151 я камера сножена приспособлением длястспорення транспортирующего механизма,сблокнрованным с источником подачи напряжения на электроды. Это способствует нанесе 1 гию равномерного покрытия, толщиной слояболее 15 л 1 к на цилиндрические поверхностидеталей,Устройство содержит загрузочную камеру 1, 20 камеру 2 очистки изделий в поле тлеющего разряда, рабочую камеру 3 с захватами 4 для крепления напыляемого металла 5 и приспособлением б для стопорения, разгрузочную камеру 7, кассету 8 с вертикально установлен нымн на ней изделиями 9, роликовый механизм 10 транспортирования кассет с изделиями и систему вакуумных насосов 11, Е(амеры разделены вакуумными заслонками 2 и каждая имеет свою систему откачки. В рабочей 3 камере на позициях...

Номер патента: 242636

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Злотин, Лагуткин, Фишель

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумного, напыления

...вакууоустройствочающаясяства покрь25 подложеки фиксатокамере иступами ив рабочей о в ляИзобретение относится к области вакуумного напыления,Известна установка для вакуумного напыления деталей, содержащая рабочую и отделенную от нее вакуумной заслонкой шлюзовую камеры и устройство для перемещения подложек.Предложенная установка отличается от известной тем, что устройство для перемещения подложек выполнено в виде ползуна с гнездом и фиксатором, расположенного в шлюзовой камере, и кронштейна с направляющими выступами и отводным упором, расположенного в рабочей камере. Это повышает качество покрытий.На фиг, 1 представлена описываемая установка, общий вид; на фнг, 2 - гнездо ползуна; на фиг. 3 - кронштейн.Установка содержит рабочую...

Номер патента: 273617

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Вигант, Грачев, Озеров, Специальное

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...установка,Она состоит пз вакуумных отсеков 1 с барабанами 2 - 4 поверхности, охлаждения ц напыления связанных между собой транспортными шлюзами б и б исгарцтельного устройства 7 и системы вакуумирования 8. Барабан 4 для напыления выполнен составным из двух частей 9 и 10 в виде конуса, на внутреннеи поверхности которого закреплены штыри 11, Конус барабана 4 выполнен расширяющимся в направлении перемещения деталей с целью придания обрабатываемым деталям поступательного перемещения. Детали из бункера 12 через транспортный шлюз 1,г поступают в вакуумный отсек 1, откуда поступают в барабан 2 для очистки поверхности. Пройдя барабан, детали через транспортный шлюз 5 поступают в барабан;3 для охлаждения, а затем через транспортный шлюз б...

Номер патента: 276686

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумных, установок, шлюзовое

...отсеков со ступенчато-понижающим давлением вакуумноп потных камер, снабженных загрузочными механизмами роторного типа.Данное устройство обеспечивает непрерывность подачи штучных изделий в вакуумную камеру.На чертеже представлено предлагаемое устройство.Оно состоит из шлюзов, выполненных в виде последовательно соединенных между собой посредством отсеков 1 со ступенчато-понижающим давлением вакуумноплотных камер 2, снабженных загрузочными механизмами 3 роторного типа, Внутренняя поверхность корпуса вакуумноплотных камер и наружная поверхность загрузочного механизма образуют узкую щель, ограничивающую натеканпе из области низкого вакуума в область более высокого вакуума. Отсеки 1 соединены отсасывающими патрубкамп 4 с вакуумными...

Номер патента: 279291

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Баранов, Бацкиаури, Воскобойников, Гаврилов, Гал, Голубцов, Залипский, Замиховский, Злотин, Казаскер, Лагуткин, Ларионов, Малкин, Нова, Преображенский, Раменский, Симео, Тихомиров, Фишель, Шуберт

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, многослойных, нанесения, покрытийв

...систему высоковакуумной откачки, работающую независимо от вы соков акуум ной системы откачки 1 Б дополнительной камеры и системы откачкишлюзовых камер. Кроме того, каждая из рабочих камер или группа их снабжены индивидуальной системой высоковакуумной откачки,На фиг. 1 - общий вид предлагаемого уст ройства в двух проекциях; на фиг. 2 - поперечный разрез устройства по дополнительной и рабочей камерам.Как видно из фиг. 1, устройство состоит изряда последовательно установленных обособ ленных рабочих камер 1 и дополнительной вакуумной камеры 2. Крайние камеры 3 и 4 служат для размещения в них механизмов загрузки и выгрузки соответственно.В дополнительной вакуумной камере 2 (см.30 фиг. 2) расположен транспортирующий меха.низм б подложки. В...

Номер патента: 285441

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Автоприборов, Глускин, Иноземцев, Малое, Научно, Цубин, Экспериментальный

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...установка, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид сверху,Установка состоит из горизонтально расположенной вакуумной камеры 1, барабанов 2 и 8 со стержнями 4, приводов б и б вращения барабанов, группы испарителей 7, расположенных внутри барабана, группы испарителей 8, расположенных под барабаном и системы создания вакуума (на чертеже не показана). Стержни 4 расположены на барабане в два ряда и имеют в сечении П-образную форму.Оператор загружает один из барабанов дегалями (отражателями) 9 и 10, причем отражатели 9 внутреннего ряда обращены покрываемой поверхностью к центру вакуумной камеры, а отражатели 10 наружного ряда обращены покрываемой поверхностью к периферии вакуумной камеры, Все отражатели вставляют в пазы стержней 4 барабанов и...

Номер патента: 322421

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Громаковский, Шлеин

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумная, напылительная

...затвором 8 и вакуумной камерой 1.Напыление на подложку производится через все имеющиеся в устройстве трафареты, после чего шток 3 выводят вверх до тех пор, пока подложкодержатель 2 с подложкой не окажется в шлюзовом загрузочном устройстве 7. Последнее снимают с установки, перекрыв его шлюзовым затвором 8, и включают вспомогательный вакуумный насос 10, поддерживающий в шлюзовом устройстве необходимое время высокий вакуум.Если имеется только одна вакуумная напылительная установка, то вакуумная камера вскрывается, трафареты 4 и, если необходимо, испарители 5 меняются, вакуумная камера вновь закрывается и откачивается, после чего шлюзовой затвор 8 открывается и подложкодержатель 2 с подложкой опускается в положение, при котором...

Номер патента: 290065

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Александров, Гришин, Рюмшина, Чесноков, Шалимов

МПК: C23C 14/36, C23C 14/56

Метки: катодного, распыления

...переменного напряжения.Натекатель 7 для напуска газа расположен 10 у верхнего торца цилиндра, а откачное отверстие 8 - с противоположной стороны. Катодный экран 9 предназначен для устранения распыления катода на его нерабочей стороне, а экран 10 служит для устранения попадания 15 частиц распыляемого материала на поверхность подложек, расположенных на соседних подложкодержателях.Устройство работает следующим образом, По достижении в вакуумной камере давле ния не выше 5 10 -льи рт. ст. через натекатель вводится рабочий газ, например аргон, и давление повышается до (1 - 4) Х 10 -.н,и рт. ст.К катодам прикладывают отрицательное 25 постоянное напряжение 2000 - 6000 в. На дополнительный электрод подают 50 - 500 в постоянного напряжения или...

Номер патента: 299572

Опубликовано: 01.01.1971

МПК: C23C 14/56

Метки: дозировки, питатель, порошкообразныхматериалов

...12 открывается ствием пружины кручения 14. Изобретение относится к о иной металлизации.Известен питатель для дозировкикообразных материалов, содержащкер, соединенный с трубопроводом,ромагнит.Предложенный питатель отличаетвестных тем, что трубопровод снабположенным внутри него поршнем,торого выполнен в виде пластины,щей через отверстия в горловинеЭто предотвращает спекание порошных материалов.На чертеже представлен питател порошй бун- электя от изкен расшток ко- проходябункера, кообразедмет изобрет някообразныхсоединенмагнит, от- редотвращематериалов, нным внутвыпочнен в з отверстия порош бункер электро лью п азных оложе торого й чере Питатель для дозировкиматериалов, содержащийный с трубопроводом, иличаюсцийся тем, что, с цеО ния...

Номер патента: 307119

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Василькин, Веремеев, Полушкин

МПК: C23C 14/56

Метки: защитных, нанесения, покрытий, радиоаппаратуры, узлы, элементы

...толкателя дополнительная мембрана, образующая совместно с пористой мембр аной воздушную камеру. На чертеке дано предлагаемое устройство. Устройство содержит ванну 1 для порошкообразного материала, воздушную камеру 2, образованную мембраной 3 и пористой мембраной 4, которые жестко связаны между со бой толкателем 5, электромагнитный вибраторб и электрод 7 высокого напряжения,Подаваемый в воздушную камеру воздух(газ) через пористую перегородку поступает 10 в ванну и при воздействии вибрации способствует получению псевдоожнженного слоя порошка.Предлагаемое устройство проверяется натермореактивном эпоксидном компаунде с 15 размером частиц не более 0,15,11 л. Нанесениепокрытия производится на полупроводнпко.вые диоды типа Д 18 при напряжении...

Номер патента: 312898

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Овчинников, Юрченко

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумного, испаритель-контейнер, силицирования

...контейнер выполнен пористым. Такое выполнение позволяет исключить подвешивание детали, являющееся трудоемкой операцией и нарушающее сплошность покрытия. Кроме того,в предлагаемом контейнере каждому элементу поверхности изделия противолежит равный ему по площади элемент испаряющейповерхности, причем расстояние между по- ЗО верхностями полости и изделия везде практически одинаково.На фиг. 1 показан предлагаемый испаритель-контейнер; на фиг. 2 в дета для вакуумного силицирования.Испаритель-контейнер представляет собой кремниевый брикет 1, имеющий рабочую полость 2, конфигурация которой отвечает конфигурации обрабатываемой детали прн равенстве их объемов с учетом толщины силицидного слоя,Подлежащую оилицирмещают в полость, кремкрывают...

Номер патента: 333225

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Абросимов, Лепехин, Поливенко, Токаев, Чернов

МПК: C23C 14/56, C23C 16/54

Метки: покрытий

...реакционной камерой и между собой посредством вакуумных затворов 5, высокотемпературной камеры б для осаждения порошка металла из непрореагировавшей в реакционной камере смеои, соединенной с реакционной камерой через систему трубопроводов 7.Испаритель. с загруженным галлоидопроиз водным соединением, например, гексофторвольфрама, нагревается до температуры, пре;вышающей температуру кипения галлоидного соедине 1 ния, в результате чего галлоидное соединение в виде пара поступает в лредвари тельно нагретую до 500 - . 700 С реакционнуюкамеру. Одновременно из баллонов в реакционную камеру поступает водород, В результате взаимодействия водорода с галлоидцым соединением происходит реакция выделения 15 металла на поверхности детали,...

Номер патента: 337447

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Бахур, Екимов, Специальное

МПК: C23C 14/56

Метки: вакуумных, установок, шлюзовое

...разрез. Шлюзовые ролики 1 и 2 смонтированы в пазах корпуса о, Один нз роликов 2 выполнен в виде вала с оболочкоп 4 из эластичного материала, отстоящей от его поверхности на расстоянии, не менее толщины пропускаемого материала, причем полость 6 оболочки 4 сообщена через отверстия 6 и 7 ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК 2в валу с регулятором давления (на черт. не показан). Ролик 8, выполненный из любого твердого материала, постоянно прижат к ролишку 2, тем самым исключая натекание меж ду роликами, Зазоры 9 и 10, образующиесяв пазах корпуса, выполнены такими, что натекание в область высокого вакуума сведено к минимуму. Торцовые части уплотнительных роликов уплотнены вакуумным антифрикци онпым материалом 11.Материал, подлежащий металлизации, поступает в...

Номер патента: 338563

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/56

Метки: 338563

...Натекат стенке камеры б при помощи резиновое уплотнение 8. атекатель для вакуумных каий капилляр, не обеспечивает ировку поступления газа в каобеспечея газа влляр закмагнитоен натек ние плавнои камеру - дорыт мембратения - ступлени что капи й электро изображ Предмет изобретени ель, общии вид.Натекатель состоит из капилляра 1, закрытого мембраной 2, снабженной электромагнитом 3. При подаче тока в обмотку электромагнита мембрана начинает колебаться, вследствие чего капилляр 1 периодически с частотой тока открывается. Объем подаваемой порНатекатель для ващий капилляр, отлцелью обеспечения вгулировки поступленляр закрыт мембранмагнитом. куумных камер, содержаича ощийся тем, что, с озможности плавной реня газа в камеру, капилой, снабженной...

Номер патента: 341877

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/56

Метки: ввода, вывода, шлюзовое

...2 - то же, поперечный разрез.Устройство содержит загрузочный механизм, выполненный в виде заключенного в вакуумплотный корпус 1 ротора 2 с расположенными ото окружности гнездами 3 для загрузки изделий.,По окружности корпуса имеются отверстия с патрубками 4, отходящими к вакуумным насосам, а также отверстие к буякеру 5. Вал б ротора 2 выведен из корпуса 1 через механический вакуумный ввод 7. Ротор 2 помещен в коротус 1 е зазорами по торцам и окружности, обеспечивающими минимальное натекание из области низкого вакуума в область высокого вакуума. Из бункера 5 изделия попадают в гнезда 3 ротора. При вращении ротора 2 ,последний отодводит загрузочное гнездо 3 последовательно к каждому из отсасывающих 5 со ступенчато понижающимся давлением...

Номер патента: 347366

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гинцев, Зорин, Рудковский

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...го охлаждения, Термический блок 10 быстроохлаждается и магнитный отжиг на этом заканчивается. Далее подложки с пленками из охлажденного термического блока 10 поочередно перемещают в кассетоприемник 7 и че рез шлюзовую камеру - наружу. Это достигается внутри вакуумной ром и кассетоприе с ячейками для к руемыми системами На чертеже вид.Установка с соединенных с которой распо лятор 4 с нагр сетоприемника куумной камер остоит из швакуумнойложены испаевателем 5 и7, расположы 1 магнитн юзовых каме амерой 2, вн ритель 8, ман кассетами б, иной снаружи й системы 8 в р 1, три ипуасвави Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.Известна установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая шлюзовые камеры,...

Номер патента: 356829

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Нежинский, Пельцман

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме

...транспортирующего диска, а днище - под диском. Верхняя и нижняя торцевые поверхности обечайки и верхняя торцевая поверхность днища закрыты эластичными диафрагмами 8, 9 и 10 соответственно и имеют кольцевые каналы б, в и г для подачи в них сжатого воздуха через трубопроводы 11, 12 и И. Крышка 7 прижчмается защелкой 4.Работает устройство следующим образом.Крышку 7 шлюзовой камеры освобождают от защелки и поднимают ее. В гнездо транспортирующего диска, расположенное в зоне шлюзовой камеры, загружают обрабатываемую деталь; опускают крышку и закрывают ее защелкой. Через трубопровод 11 в канал б нагнетают сжатый воздух, в результате чего диафрагма 8 перекрывает зазор между верхней торцевой поверхностью обечайки 5 и крышкой 7. Из вакуумной и...

Номер патента: 357276

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Пагентйо, Силис

МПК: C23C 14/56

Метки: ьиблиотена

...из камеры 1 со ступенчатым понижением давления и загрузочногомеханизма, выполненного в виде кассеты 2,по торцам которой установлены подпружиненные уплоптительные элементы т, образующиевместе с кассетами отдельные подвижные вакуумируемые отсеки,Кассеты 2 с изделиями 4 смонтированы нароликах 5, Соединение кассет в,цепь осуществляется с помощью зацепок б, На корпусе шлюзовогпатруоковсам:Кассета 2 с закрепленньв в ней изделием4, предназначенным для металлизации, помещается в камеру 1. С помощью зацепок б кпервой кассете присоединяется следующаяи т. д., тем самым образуя непрерывную цепь.Представляя собой отдельную подвижнуюО камеру, каждая из кассет, по мере продвижения в сторону высоковакуумной камеры, посредством ролтков 5,проходит ряд...

Номер патента: 389174

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 14/56

...поле.Материал, на который наносят покрытие,расположен между упомянутыми электродами,что является существенным недостатком установки при необходимости нанесения покрытияна поверхность не листового,пластинчатого, а,рулонного материала, В этом случае механизмдля перемотки материала должен быть изолирован от тока высокого напряжения и снабжен устройством для охлаждения его, что усложняет установку,В предлагаемой установке эти недостаткиустранены за счет того, что в вакуум-камеренад электродами смоентирован механизм дляперемотки рулонного материала, а испарительзаземлен.Установка поВ вакуум-кам ханизм 2 для перемотки рулонного материала, на поверхность которого наносят покрытие.Под этим механизмом расположена сетка- электрод 3, а под...

Номер патента: 390202

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Плотников, Попережаев, Руднев

МПК: C23C 14/56

Метки: 390202

...кольцевыс проточки 5, закрытые втулкой 6 с продольными прорезями и связанные через штуцер 7 с вакуумной системой, причем шлюзовое устройство изготовлено в виде отдельных секций 8 и 9,Цилиндр крепится к напылительной камере 10; при помощи шпилек 11 стыки отверстий, образующих магистрали, уплотня 1 отся медными прокладками 12. Подвод рабочей среды в полости верхних манжет каждой пары осуществляется через штуцер 13, а в полости нижних манжет - через штуцер 14.Устройство работает следующим образом.Перед пуском в работу вся полость шлюза заполняется кассетами. Подавая давление на манжеты 2 по ппевмомагистралям 1 через кольцевые полости 3, зажимают находящиеся против манжет кассеты 15 с обрабатываемыми изделиями. Прп этом кассеты...

Номер патента: 391884

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Авторы

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, нанесении, перемотки, покрытий, рулонных

...редложенное устройство отличается от 1 известного тем, что механизм для регулирования натяжения выполнен в виде промежуточного звена, установленного между рулоном и электроприводом и представляющего собой держатель с валом, соединенные пружинным элементом, реагирующим на изменение крутящего момента рулона.На фиг. 1 схематично изображено предлагаемое устройство для перемотки рулонных материалов при нанесении покрытий в ва кууме, поперечный разрез; на фиг, 2 - механизм для регулирования натяжения, разрез; на фиг, 3 - функциональная схема устройства.2 оиство работает следующим образом. мощью фиксатора 15 производят устаползуна 14 на реостате 18 в нулевое ние. По достижении рабочего вакуума ре и после введения в работу испари включают...

Номер патента: 405215

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Авторы

МПК: C23C 14/02, C23C 14/36, C23C 14/56 ...

Метки: катодного, распыления

...10, 11, и блока очистки, снабженного заслонками 12, 13, 14 и 15, электрически соединенными с камерой 1. Катоды 2, 3, 4, 5 и заслонки 12, 13, 14, 15 смонтированы по обе стороны механизма перемещения. Тележки 10, 11 и катоды 2, 3, 4, 5 соединены с источником переменного напряжения.Устройство работает следующим обра"эм.Металлические подложки 6 и 7 укрепляютвертикально на тележках 10, 11 и помещают кахкдую между двумя заслонками 12, 13, 14 и 15. Затем камеру 1 откачивают до необходимого давления и заполняют рабочим газом.Каждая подложка посредством тележек 10 и 11 соединена с источником переменного напряжения, величина которого - порядка 3000 - 4000 в, Во время соответствующего пол периода каждая подложка является като 2 п дом и...

Номер патента: 405974

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Дементьев, Иврин, Каратаев

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме

...с нижними направляющими плоскостями 8 шлюзов.Устройство 9 для выполнения технологичеи ской операции установлено внутри камеры.Для перемещения кассет иа каждой гранимногогранника со стороны входного шлюзаустановлены толкатели 10 в виде подпружиненной планки, получающей движение при15 врацении многогранника от торцового кулачка 11 на его валу.Для выгрузки кассет с обработанными изделиями служит съемник 12, установленный вкольцевой проточке 18 многогранника на участке выходного шлюза,Кассеты 3 с изделиями непрерывно подаются во входной шлюз и по мере его заполненияпоступают на одну из граней многогранника б,илос.ость которой совпадает с нижней направ 25 ляющей плоскостью этого шлюза. При повороте многогранника на 180 толкатель под...

Номер патента: 406975

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Азбиль, Леонтьев

МПК: C23C 14/56

Метки: вакууме, непрерывной

...плоскости диска 4 тот же угол наклона, что и шлюзы 2 и 3, причем в каждьш момент выстоя диска рабочие плоскости очерсд ного паза совпадают с рабочими плоскостями шлюзов, в результате чего образуется одна общая наклонная плоскость для перемещения изделий 6 под действием механизма 7 подачи изделий во входной шлюз 2, установленного 1,- с торца входного шлюза 2, вне камеры 1, Вкамере установлено устройство 8 для технологической обработки. Диск 4 приводится в прерывисто-вращательное движение механизмом 9 поворота.20 Установка раоотает следующим образом.Механизм 9 поворота приводит диск 4 впрерывистое вращение так, что с каждым поворотом диска на определенный угол, очередной его паз совпадает со щелями шлюзов 2 2;, и 3. Во время выстоя...

Номер патента: 364689

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бобровничий, Воскобойник, Сумароков, Умрнхин

МПК: C23C 14/56

Метки: bakvvme, нанесения, покрытий

...механизм перемотки прово.локи и направляютцие ролики.Однако в таком устройстве обрабатываемая проволока перегревается за счет излучения тигля и выделения скрытой теплоты конденса. ;цин, что приводит к неравномерному покрытию.С целью получения равномерного покрытия на проволоке и устранения ее перегрева направляющие ролики предлагаемого устройства расположены попарно по обе стороны пспарителя со смещением каждой пары роликов друг относительно друга в осевом направлении на расстояние, определяемое формулой где 1 - расстояние между осями роликов,и - количество роликов, а У - целое число.Привод, приемного барабана с регуляторомскорости расположен вне камеры испарения, 15 Все ролики изолированы от корпуса и друг отдруга и...