C23C 14/48 — ионное внедрение

Номер патента: 109057

Опубликовано: 01.01.1957

Авторы: Калябина, Рукман, Юхвидин

МПК: C23C 14/48

Метки: пленок, тонких

...в виде атомов или молекул, образуя тонкую пленку. Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРРедактор И. М. Макаров. Гр. 209 Подп, к печ. 15.Ч 11-59 г.Тираж 1200 Цена 25 коп. Информационно-издательский отдел.Объем 0,17 п, л. Зак. 2989 Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Петровка, 14, Количество наносимого вещества определяется временем напыления и силой ионного тока. Так как обе эти величины могут контролироваться с большой степенью точности, то это дает возможность получения неограниченного количества идентичных пленок. Ниже для оценки возможностей метода приведен ориентировочный расчет времени, необходимого для получения пленки серебра толщиной в 0,5 микрона на...

Номер патента: 110532

Опубликовано: 01.01.1957

Авторы: Калябина, Рукман, Юхвидин

МПК: C23C 14/48, C23C 14/52

Метки: массы, пленки, распределения

...распределения массы пленки по . ее координатам с помощью ионной пушки и системы отклонения ионного луча по авт, св,109057, отличающийся тем, что, с целью получения пленки с требуемой переменной толщиной и конфигурацией, регулируют ин 1 ч исивность ионного луча по заданному функциональному закону с по. мощью известного модулятора плотности тока, подключаемого к ионной пушке, а развертку ионного луча производят нс по линейному, а по соот;ветственно заданному закону, изменяя потенциалы отклоняющей системы с помощью подключаемого к ней известного устройства.Отв. редактор И. В. Макаровтандартгиз. Поди. к печ. 22/11 г 1958 г. Объем 0,125 п. л. Тираж 600. Цена 25 коТипография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР...

Номер патента: 113051

Опубликовано: 01.01.1958

Авторы: Калябина, Рукман, Юхвидин

МПК: C23C 14/48

Метки: изотопов, нанесения, пленок, элементов

...нужное значение напряженности магнитного поля Выделенный таким образом чистый ионный луч пропускается через систему отклонения 4, например, аналогичную системе отклонения электронного луча в электронно-лучевой трубке, которая разворачивает луч таким образом, что он последовательно во времени многократно пробегает участок поверхности б, предназначенной для покрытия. Нейтрализуясь на поверхности, ионы создают свободную от загрязнений пленку.Описываемь 1 й спо,"об отличается от ионного способа нолучення тонких пленок, описанного в авт. св.М 0 109057, введением в последний метода очистки с помощью магнитного анализатора. Ниже приводится ориенМ 113051тировочный расчет времени, необходимого для получения пленки очень чистого серебра толщиной...

Номер патента: 284555

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Бондарь, Егорычев, Емель, Розен

МПК: C23C 14/48

Метки: металлов, осаждения

...исключает загрязнение пленки продуктами ионизацип остаточных газов. Путем изменения частоты и мощности высокочастотного разряда регулируют скорости процесса ионизации паров соединений металлов.Способ ения пок и,тем ионпза- электростатем, что, с цесса осажскп, иониза- кочастотном Способ осаждения металлов пцип паров соединений металлов втическом поле, отлпчаощийсяцелью регулирования скорости прдения на неподогреваемые подлоцию паров осуществляют в высоразряде. Изобретение относится к способам осаждения металлов, например, при нанесении покрытий, получении тонких пленок и мишеней для физико химических исследований.Известен способ осаждения металлов путем понизации паров соединений металлов в электростатическом поле. Но ионизацию...

Номер патента: 1638205

Опубликовано: 30.03.1991

Авторы: Бархум, Буравлев, Кушнир, Лабзин, Милославский, Раджабов, Троцан

МПК: C23C 14/48

Метки: медных, поверхностной, сплавов

...коррозионнай стойкости и понижению микротвердасти поверхности на 20%, а во втором - к сильному порообраэованию в поверхностном слое (размеры пор возрастают до 0,02 мм).В случае конной обработки дозами 5 в 10" и 5 ф 10 "9 ион/в м при постоянной. энергии ионов аргона,40 кэВ) в первом случае коррозианная стойкость па дает на 30-407 в а ва втором - на 20- 30%.При указанных параметрах обработки ускоряется насыщение поверхности изделий аргонам за счет увеличения кинетической энергии ионного пучка и ускоредния радиационно-стимулированной диффузиидСапаставлние значений микротвдрдости (измерения проведены на приборе 30 ЖП 3) приводит к заключяниюв что после ионнойОбработки. Она практически не изменилась,160-170 ГПа).1 Щнтропьвф...

Номер патента: 1786188

Опубликовано: 07.01.1993

Авторы: Курильчик, Павлов, Романов, Тетельбаум, Царева

МПК: C23C 14/48

Метки: ферромагнитных

...удельной намагниченности и температура Кюри уменьшается менее чем на 6% и 7% соответственно. При увеличении энергии вь 1 ше 60 кэВ, определяемого из неравенства йр+Лйр ,3,где Вр - проецирован,ый пробе ионов,Ь Вр - среднеквадратичное с тклонение пробега ионов.д - толщина пленки,магнитные свойства плевок ухудшаются, Уменьшение энергии ионов ниже 30 кэВ йе позволяет получать"упрочнен алые слои в магнитной пленке достаточной толщины.П р и м е р, Данным способом обрабатывались ферромагнитные пленки состава 71 ат.% М - 29 ат.% Ге толщиной 1000 А, полученных термическим напылением,где гп - число свободных мест в ЗО-зоне металла (для М п 1=0,6, а для Ре п 1=2,22), Х-концентрация атомов металлоида, и-параметр, равный 3, для фосфора, В нашем...

Номер патента: 1825820

Опубликовано: 07.07.1993

Авторы: Беккер, Волков, Егорычева, Куликов, Минеев

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, поверхности, режущего

...на поверхности,кг/мм Способ упрочнения Коэффициент повышения стойкости Наличие следов после царапания алмазной пирамидой14,0 Тй (КИБ) 1,0 14,0 Да 2,3 7,0 Нет ратуре в воздушной атмосфере и силе тока в разрядном промежутке 160 - 240 мкА, В результате обработки в положительном поле коронного разряда поверхность активизируется за счет внедрения катионов азота, 5 вследствие чего увеличивается адгезия имплантирующего слоя и покрытия. возрастает качество покрытия. Затем сразу же . проводят имплантирование ионов титана при напряжении 10 кВ в течение 40 с, затем снижают напряжение до 100 В на 60 с, Проводят несколько циклов, общее время обработки 25-30 мин. По окончании формирования диффузионного подслоя производится покрытие нитридом...

Номер патента: 1826995

Опубликовано: 07.07.1993

Авторы: Бычков, Иванов, Ладыженский, Лосев, Янчук

МПК: C23C 14/48

Метки: металлических, нанесения, покрытий

...вместе с частью поверхности стекла. Следует отметить, что достигаемые при дозах 10 - 10 ион/см высокие значения адгезиисохраняются и при дозах выше 10 ион/см, в частности при дозах 5 10 ион/см, 10 ион/см, При практическом осуществлении способа такие большие дозы нецелесообразны ни с физико-технической точки зрения: дальнейший рост адгезии пленки к подложке не наблюдается; ни с экономической: увеличение дозы требует увеличения временных и энергетических затрат. При современном уровне развития источников ионов металлов для достижения дозы ионного пучка 10 ион/см требуются временные затраты 10 - 60 мин. Аналогичный эффект увеличения адгезии наблюдался при использовании ионов металлов разных групп, таких как М 9, Т, Мо, А 1, и, 2 п, И и...

Номер патента: 1828877

Опубликовано: 23.07.1993

Авторы: Владимиров, Городецкий, Гусева, Жильцова, Залавутдинов, Лаврова, Столярова, Томашов, Фомин

МПК: C23C 14/48

Метки: поверхностных, слоев, титана

...никелевогопокрытия на титановых токоотводах, посравнению.с покрытием, полученным методом прямой ионной имплантации,Покрытия полученные предложенным 45способом, проверены в лабораторных условиях, Электрохимические и коррозионныеиспытания проводили в 40 КОН + 5 г/лООН при поляризации в интервале потенциалов от -1,0 до+0,5 В, то есть в условиях 50работы ХИТ. Ресурс работы полученного никелевого покрытия на титановых токоотводах был проверен в макетной сборке ХИТ,За критерий коррозионной стойкости былапринята скорость коррозии никеля с поверхности модифицированного никелем титанового токоотвода, Электропроводностьповерхностных слоев токоотводящих элементов оценивали по значениям контактного сопротивления токоотводя щего элемента ьс...

Номер патента: 1832135

Опубликовано: 07.08.1993

Авторы: Горшков, Павлов, Романов, Царева

МПК: C23C 14/48

Метки: пленок, сверхпроводящих

...стимулируется воздействием упругих волн, сопровождающих ионное облучение, Уменьшение энергии ионов ниже 30 кэВ не позволяет получать упрочненный аморфный слой в сверхпроводящей пленке достаточной толщины. При увеличении энергии ионов выше 80 кэВ сверхпроводящие свойства пленок ухудшаются, что связано с значительным увеличением толщины аморфного несверхпроводящего слоя и вследствие этого уменьшением толщины сверхпроводящей пленки.1 Я 32135 Составитель О. ГоршковТехред М,Моргентал Корректор Н. Ревская Редактор Заказ 2604 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035,Москва.Ж-З 5, Раушская наб., 45 Производственно-издательский комбинат "Пвтент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 П р и м е р,...

Номер патента: 2001974

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Козма, Панасенков, Плешивцев, Сидоров, Соболь

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, режущего

...системы. 13 - катоды газораэрядной камеры.В вакуумной камере объемом 1 м при помощи диффузионных насосов получают вакуум 5 10 Па. На электроды ионна-оптической системы 12 подается напряжение, к примеру+30 кВ на катоды 13 и минус 2 кВ на ускоряющий электрод. Этот электрод ускоряет ионы и тормозит электроны, образующиеся в пучковой плазме, создаваемой ионами пучка в остаточном газе.В разрядную камеру с помощью импульсного газового электромагнитного клапана подается порция азота. На катоды подается электрический ток до 1000 А, Он нагревает катоды до температуры 3150 К, чтобы получить плотность тока эмиссии электронов до 30 А/см . Затем между катодами и анодами подают электрическое напряжение 60 В и зажигают дуговой разряд с высокой...

Номер патента: 1670968

Опубликовано: 30.12.1993

Авторы: Волков, Зуев, Панасенков, Плешивцев, Ратгауз, Сидоров

МПК: C23C 14/48

Метки: стальных

...Х и У, измеряется распределение плотности тока ионов вдоль этих направлений. Изменяя геометрию эмиссионного, ускоряющего и заземленного электродов, например из ибая их по радиусу 2 или 3 м, и/или смещая две или четыре решетки ускорясощего электро. да относительно центральной решетки эмиссионного электрода, а также изменяя ток разряда и огношение напряжении на УСКОРЯК)ЩЕМ И ПРОМЕжУтОЧНОМ ЭЛВКСРОДсСХ ссолучвк либо рввномврнвв либо саус ов5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 ское распределение плотности тока ионов по поверхности неподвижной мишени.Образцы или детали, установленные на верхней и нижней плоскостях подвижной мишени 4, вдоль оси этой мишени, вводятся из буферного объема в вакуумную камеру 2, В зависимости от необходимой дозы...

Номер патента: 1589672

Опубликовано: 30.03.1994

Авторы: Карпов, Крючков, Малютин, Махмудов, Плотников, Погребняк, Русин, Яновский

МПК: C23C 14/48

Метки: железа, нанесения, образцы, покрытия

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОБРАЗЦЫ ИЗ ЖЕЛЕЗА , включающий очистку повеpхности, нанесение слоя металла и последующее облучение его ионным пучком наносекундной длительности, отличающийся тем, что, с целью уменьшения коэффициента тpения, в качестве слоя металла используют свинец толщиной 1000 - 1500 o А, а облучение пpоводят ионным пучком плотностью потока мощности W = (0,2 - 0,5) 106 Bт/cм2.

Номер патента: 1468017

Опубликовано: 30.09.1994

Авторы: Исаков, Калмыков, Нестеренко, Падалко, Плотников, Погребняк, Ремнев, Рузимов, Русин, Симонов, Чистяков

МПК: C23C 14/48

Метки: изделия, металлов, нанесения, покрытий, сплавов

1. СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ИЗ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ, включающий ионную очистку поверхности с последующим нанесением износостойкого покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения микротвердости и износостойкости изделия, очистку проводят облучением изделия ионным пучком с плотностью мощности более 7 106 Вт/см2, а после нанесения покрытия изделие дополнительно облучают ионным пучком с плотностью мощности (0,3 - 6) 106 Вт/см2, причем длительность облучения до и после нанесения покрытия выбирают равной 60 - 100 нс.2. Способ по п.1, отличающийся тем,...

Номер патента: 1642786

Опубликовано: 30.09.1994

Авторы: Насыров, Ремнев, Рябчиков

МПК: C23C 14/48

Метки: имплантации, ионной

СПОСОБ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ, включающий формирование плазмы, ускорение ионного пучка и облучение поверхности изделия пучком с плотностью мощности 1 - 103 Вт/см2, отличающийся тем, что, с целью улучшения механических характеристик поверхности за счет уменьшения коэффициента распыления, перед формированием плазмы проводят облучение поверхности ионным пучком с плотностью мощности 5 106 - 108 Вт/см2 и удельной энергией в импульсе 0,5 - 10 Дж/см2.

Номер патента: 1753737

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Архипов, Егоров, Нестеренко, Тимкин

МПК: C23C 14/48, H05H 1/54

Метки: плазменная, поверхностей

1. ПЛАЗМЕННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащая вакуумную рабочую камеру, внутри которой установлены обрабатываемое изделие с приспособлением для его установки и плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов, в состав которого входят коаксиальная разрядная камера с анодом и термоэмиссионный катод-компенсатор, и систему высоковакуумной откачки, соединенную с вакуумной рабочей камерой через трубопровод с вакуумным затвором, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности установки за счет исключения технологических потерь времени, в течение которого остывает термоэмиссионный катод-компенсатор, катод-компенсатор размещен в полости трубопровода перед вакуумным затвором со стороны высоковакуумной откачки.

Номер патента: 1753736

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Козейкин, Марьенко, Перинский, Школьников

МПК: C23C 14/48

Метки: защиты, коррозионной, сплавов

СПОСОБ КОРРОЗИОННОЙ ЗАЩИТЫ ДЕТАЛЕЙ ИЗ СПЛАВОВ на основе меди и алюминия, включающий химическую очистку детали и ее ионно лучевую обработку ионами инертных газов с энергией 40 75 кэВ и дозой 6 1015 2 1016 см-2, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости деталей с чистотой обработки поверхности ниже 13 класса, химическую очистку осуществляют в полирующем травителе, а после или перед основной ионно-лучевой обработкой проводят дополнительную обработку с энергией ионов 100 150 кэВ и дозой 1,2

Номер патента: 1707997

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Полетика, Полещенко, Пучкарева

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, ионно-лучевой, режущего, сплавов, твердых

...диапазоне скоростей резания (подача 5 = 0,14 мм/об, глубина резания= 1,5 мм). Снижение адгезионно-диффузионных процессов после+ +, +упрочнения ионами г фд г подтверждается результатами исследования изношенных поверхностей режущего инструмента. Изношенная площадка контакта имплантированного инструмента характеризуется меньшим количеством адгезионных вырывов.Исследование режимов имплантации и испытаний обработанных твердосплавных пластин позволило выбрать оптимальные режимы облучения по дозе и энергии ионов (см. табл. 1). Указанный нижний порог дозы 510 ион/см при энергии свыше 30 кэВ1 б 2обеспечивает некоторое повышение износостойкости. Однако уже при этой дозе при низких энергиях (25 кэВ) эффекта не наблюдается, поэтому снижение дозы...

Номер патента: 1723840

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Пучкарева, Толопа

МПК: C23C 14/48

Метки: износостойкости, металлов, поверхности, повышения, сплавов

Способ повышения износостойкости поверхности изделий из металлов и сплавов, включающий очистку поверхности изделий и последующую имплантацию ионов металла в атмосфере азота, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости за счет увеличения эффективности легирования, очистку производят путем облучения поверхности изделий ионами металла в импульсном режиме с дозой 5 1015 5 1016 ион/см2, после чего напускают азот до давления 5 10-4 1

Номер патента: 1777391

Опубликовано: 10.04.1998

Авторы: Гриценко, Костерина, Рузаев, Черный

МПК: C23C 14/48

Метки: ионно-лучевой

Способ ионно-лучевой обработки изделий, включающий имплантацию из одного источника ионов металла и неметалла, выбираемых из группы элементов, образующих твердое соединение, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости изделий, сначала проводят имплантацию ионами с энергией 50-20 кэВ и дозой 2 1016 - 2 1017 ион/см2, образующими либо нитриды, либо карбиды, либо бориды, а затем ионами молибдена с энергией 20-50 кэВ и с той же дозой.

Номер патента: 1483979

Опубликовано: 20.06.1998

Авторы: Афанасьев, Колобов, Коротаев, Савостиков, Савченко, Чернова, Чесноков, Янчук

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, ионно-лучевой, сплавов, сталей, твердых

Способ ионно-лучевой обработки инструмента из сталей и твердых сплавов, включающий имплантацию в приповерхностные слои ионов металла и неметалла, отличающийся тем, что, с целью повышения твердости и износостойкости инструмента при одновременном сокращении времени обработки, имплантацию осуществляют импульсами с частотой (Гц) и длительностью (c), выбираемых из выражения = 2

Номер патента: 1549110

Опубликовано: 20.06.1998

Авторы: Афанасьев, Бугаев, Колобов, Коротаев, Осинцев, Савченко, Чесноков, Янчук

МПК: C23C 14/48

Метки: быстрорежущих, инструмента, режущего, сталей

Способ обработки режущего инструмента из быстрорежущих сталей, включающий очистку и ионно-плазменное нанесение износостойкого покрытия нитрида титана, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости инструмента, после нанесения покрытия в него имплантируют ионы карбида вольфрама с энергией 40 - 100 кэВ и дозой 5 1016 - 1017 см-2.

Номер патента: 1520890

Опубликовано: 10.04.2010

Авторы: Андреев, Кабалдин, Мокрицкий, Фадеев, Щелкунов

МПК: C23C 14/48

Метки: инструмента, керамики, оксидно-карбидной, режущего

Способ изготовления режущего инструмента из оксидно-карбидной керамики, включающий нанесение на основу промежуточного металлического слоя и покрытия из жаропрочных соединений тугоплавких металлов конденсаций с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструмента, перед нанесением промежуточного слоя проводят термообработку основы с вакуумной печи при 1020-1070 K с выдержкой 50-60 мин и последующим охлаждением, а в качестве промежуточного слоя используют цирконий или ниобий.

Номер патента: 1258093

Опубликовано: 20.12.2013

Авторы: Белый, Макушок, Симонов, Ших

МПК: C23C 14/48

Метки: поверхности, сплавов, титана, упрочнения

Способ упрочнения поверхности титана и его сплавов, основанный на ионной имплантации пучком ускоренных ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения твердости и износостойкости упрочняемой поверхности, ионную имплантацию осуществляют ионами кальция или стронция, или бария, или франция, или натрия, или калия, или рубидия, или цезия, или радия.

Номер патента: 1508610

Опубликовано: 27.12.2013

Авторы: Белый, Вейник, Макушок, Поболь, Симонова, Ших

МПК: C23C 14/48

Метки: поверхности, сплавов, титана, упрочнения

Способ упрочнения поверхности титана и его сплавов, основанный на ионной имплантации пучком ускоренных ионов кальция или стронция, или бария, или франция, или натрия, или калия, или рубидия, или цезия, или радия, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости, после ионной имплантации проводят импульсную термообработку ионно-легированной поверхности концентрированным потоком энергии с длительностью импульса 1-10 мс и удельной мощностью 37-8 кВт/см2.