Патенты с меткой «ионизатором»

Номер патента: 1665717

Опубликовано: 09.02.1995

Авторы: Ванин, Кремеров, Малинов, Сырчин

МПК: C23C 14/35

Метки: ионизатором, магнетронное, распылительное, термоэлектронным

...предложенном размещении электродов МРУ отрицательный по тенциал катода-мишени будетспособствовать отталкиванию электронного пучка при устремлении его к аноду МРУ.При возбуждении плазмы, которая имеет некоторый положительный потенциал, вли яние катода ослабнет, а возникшая разность потенциалов между термокатодом и плазмой будет способствовать эффективному введению в плазму электронного пучка.При размещении термокатода и анода уст ройства возможны два варианта: термокатод в центре, а кольцеобразный анод на периферии или анод в центре, а кольцеобразный термокатод на периферии, Роль полости катода заключается в формировании 25 электронного облака и выполнении дополнительной роли отражательного электрода для электронов, поскольку при...