C23C 14/54 — управление или регулирование способа нанесения покрытия

Номер патента: 139176

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Богушевич, Губанов, Ежов, Морозов, Поволоцкий

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, испарением, карусельный, многопозиционный, нанесения, покрытий, полуавтомат

...обезгаживание распыляемого материала под действием низкого напряжения, Затем экран 4 возвращается в исходное положение.При продолжении высоковакуумной откачки, рабочее напряжение подается на испарители 3 и при вращении изделия происходит распыление алюминия на его поверхность и нанесение защитного материала. По окончании процесса распыления затвор 12 закрывается. Затем открывается клапан для впуска воздуха. После смены изделия, прошедшего обработку, камеры загружаются очередной деталью и процесс работы повторяется.Предмет изобретения1. Многопозиционный карусельный полуавтомат для нанесения покрытий испарением в вакууме, состоящий из неподвижной часги и вращающейся карусели, с расположенными на ней вакуумными камерами, с испарительными...

Номер патента: 139895

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Блаер, Высоцкий, Жигулева, Капланский, Ливанов-Либаков, Оршанский, Петровская, Поволоцкий, Савин

МПК: C23C 14/54

Метки: автомат, вакууме, нанесения, покрытий

...импульс на контрольный прибор пультоупряВления. Зягр "Яку изделий В авто.ят и Выгрузку их пз 1 е. О осуществляют в блоках, несущих на себе кроме кассеты с изделиями вспомогательные устройства: испаритель с нспаряемым веществом, ко.1- такты для подводки элсктроэнергии и летали привода движения изделий вокруг испарителя.Предмет изобретенияЛвтомат для нанесения покрытий в Вакууме, выполненный в Нияз вертикальной круглой карусельной машины, смонтированной на и:давидуальпой опоре, и снабжсннь.и форвакуумным и диффузионным насосами, о тл и ч а ю 1 ц и й с я тем, что, с целью автоматизации процесса нанесения пленок В Вакууме, автомат снябксн Оощей ряспредсл 1 Счьной ВякуумнОЙ системой, смонтирОВянной по; ьрящающимся с Олом, я также...

Номер патента: 168575

Опубликовано: 01.01.1965

Авторы: Бродский, Зайдель, Хаскович

МПК: C23C 14/54

Метки: 168575

...подключает вакуумную камеру К к клапану-переключателю 3, При этом электромагнит б клапана-переключателя обесточен, и последний закрывает линию Б и подключает вакуумную камеру к линии А.Когда давление в вакуумной камере достигает 40 - 50 мм рт. ст срабатывает реле вакуума 13. Через некоторое время (порядка 1,5 мин) давление в вакуумной камере падает до 1 мм рт, ст срабатывает реле времени 14, которое включает электромагнит клапана- переключателя. Последний поднимается, закрывает линию А и подключает вакуумную камеру к линии Б (см. фиг, 1, в), Начинается удаление воздуха из вакуумной камеры до давления, допустимого для включения в работу диффузионного насоса 15.Блок контроля вакуума следит за изменением давления в вакуумной камере,Сигнал...

Номер патента: 175366

Опубликовано: 01.01.1965

Автор: Ларичев

МПК: C23C 14/54

Метки: вакуумная

...материалы. При совмещении отверстий изделия сообщаются с наносимыми материаламн.Откачиваемые или газонаполненные объемы 1 (см. чертеж) с изделиями укреплены на подвижном диске 2, притертом к неподвижному диску 3. К нижней части неподвижного диска крепятся емкости со съемными контейнерамц 4, содержащими наносимый материал. Подвижный и неподвижный диски имеют совмещающиеся отверстия б.Емкости со съемными контейнерами снабжены вакуум- и газопроводами. При совмещении отверстий емкости с наносимым материалом сообщаются с объемами, в которых помещают изделия,Возможность последовательно перемещать изделия над емкостями с испаряемыми мате 5 риалами позволяет наносить многослойные металлические и диэлектрические покрытия путем распыления...

Номер патента: 184982

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 14/54

Метки: 184982

...2 и предохраняет коллектор 14 от попадания на него положительных ионов с нити накала 8.Никелевое кольцо 15 исключает попадание посторонних заряженных частиц из рабочего объема на коллектор 14. Для этой же цели предназначен выполненный из нержавеющей стали экран 1 б.Вывод 17 коллектора 14 выполнен отдельно от выводов других электродов во избежание утечек, изолирован с помощью тефлоновых или ультрафарфоровых (ультрафарфор53, класс Ч) шайб 18 и экранирован.Попадающие в пространство между сеткой 2 и анодом 1 атомы испаряемого вещества ионизуются ударами электронов, Электроны эмиттируются накаленным катодом д и ускоряются в направлении сетки 2 разностью потенциалов 10 в. Анод 1 находится под потенциалом сетки 2. Образующиеся в результате...

Номер патента: 180457

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Горбунова, Пннчук, Сныткин, Шпиньков

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, испарении, напыления, пленок, скорости

...В, Сныткин и В, Д. ГорбуноваЗаявител ПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СКОРОСТИ НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК ПРИ ИСПАРЕНИИ В ВАКУУМЕмеряемый микроампер мет леп скорости напыления. пропорциона луч аемы. т скоро ристалли гим, на псп. ескую е магтзобретени 5 гп пасе.ппя ися этоользуяемогопепоктрод.спариок, из Своиства тонких пленок, порением в вакууме, зависят о с осаждения, влияющей на к ч структуру пленки и, в связи с е нитные и другие свойства.Известны способы измерения скорос пыления пленок при испарении в вакуу.Цель изобретения -- упростить измере повысить степень точности. Достигает тем, что по предлагаемому способу исп ют самопроизвольную ионизацию испар вещества. Ионы испаряемого вещества средственно переносят свой заряд на эле Измерительный электрод соединяют...

Номер патента: 255728

Опубликовано: 01.01.1969

Автор: Николаев

МПК: C23C 14/54

Метки: пленки, процессе, толщины

...входной сигнал в постоянное напряжение, пропорциональное частоте, Выход преобразователя соединен с электронным потенциометром 7, управляющим электромагнитом 10 8, который передвигает заслонку 9, предназначенную для перекрытия кварцевых резонаторов, Испаряемый материал помещают в тигель 10, Электромагнит, кварцевые резонаторы, заслонку 9 и тигель размещают под колпа ком 11 вакуумной камеры.Перед напылением разность частот кварцевых резонаторов равна нулю. Электромагниг 8 включен, и заслонка 9 открывает доступ испаряемого материала на кварцевый резона тор 1, В процессе напыления частота генератора 3 уменьшается, разность частот увеличивается. Когда разность частот достигает величины соответству 1 ощей половине толщины напыляемой пленки,...

Номер патента: 258800

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Дружинин, Лозинский, Чижов

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...балластные сопротивленияи т. д.), Над ттспартттельньтхттт ваннами располагают образец б, подлежащий напылению и подогреваемый до требуезтой температуры нагревателем 7, Блоки 8 и 9 управления состояг 10 из контрольных образцов О и 11, которыесоединены непосредственно с механотронными весами 12 и 1,т.Требуемая скорость конденсацшт задаетсяв виде графика-программы, наносимой, напри мер, на дттаграхтмттю ленту программных регуляторов 14 и 15. Контрольные приборы 1 б и 17 служат для визуального наблюдения за ректтхтом конденсацтпк Предусматривается также возхтожттость ручного регулирования про цесса по показаниям приборов и регистрациирежимов напыления на диаграммных лентах.Установка работает следующим образом.Материал, расположенный в...

Номер патента: 275639

Опубликовано: 01.01.1970

Автор: Шмелев

МПК: C23C 14/54

Метки: библиотека, г40ttxhn4lvi, иатектго

...блок-схема устройства; на фиг. 2 - регулятор скорости испаре ни ЯУстройство для нанесения токопроводящихпленок состоит из загрузочного механизма 1, вакуумной камеры 2, соединенной посредсгвом трубопровода с испарителсм 8, разгрузочного механизма 4 и регулятора скорости испарения 5, имеющего обратную связь с цспарителем.Регулятор скорости испарения включает всебя датчик расхода, выполненный в виде трех 30 архимеловых спиралей, размещенных внутриЗаказ 2661/3 пивное ипографпя, пр. Сапунова, 2 3труоопровода б перпендикулярно его осипа определенном расстоянии одна от другой, причем средняя спираль 7 является нагревателем, а крайние спирали 8 и 9 включены в качестве плеч в схему моста 10. Мост содержит батарею питания 11, балансирующие...

Номер патента: 300538

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Аэрофотосъемки, Горелик, Картографии, Колчев, Красногорский, Московский, Плотников

МПК: C03C 17/00, C23C 14/54

Метки: асферических, оптических, поверхностей

...способам получения оптических поверхностей методом напыления слоя вещества в вакууме на предварительно отполированные поверхности.Известен способ изготовления асферических поверхностей путем напыления неравномерного слоя вещества в вакуумной камере, который позволяет получить;а обрабатываемой поверхности нужный профиль за счет применения специально расположенного между испарительным приспособлением и вращающейся заготовкой фигурного экрана.Целью изобретения является возможность управления формообразованием в процессе напыления,Достигается это тем, что в процессе напыления измеряют, например, фотоэлектрическим методом, толщину нанесенного слоя, в зависимости от которого перемещают экран.Сущность способа заключается в следующем. В процессе...

Номер патента: 323469

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Демидкнн, Ковальчук, Мовчан, Ордена

МПК: C23C 14/54

Метки: вакуумена, ленту, нанесения, покрытий

...количеством зубьев. Штанга б риводой бооины 3 выполеа полой и внутри нее проходит вал 19 для передачи вращеия бобине. На валу 19 закреплен эксцентр, 20, воздействующий при вращении вала на ролик 21, связанный с концом рычага П тягой 22 и прижимающийся к эксцентрику 20 посредством пружины (на фиг. не показано). Вращеис приводной бобине 3 передается через вал 19, причем поддержание напыляемой поверхности ленты на одном и том же расстоянии от нспаряемой поверхности осуществляется за счет подъема бобиы самать 1 васмой наее лентой на величину толщины ле- ть.а каждый оборот бобины. Подъем бобиыроизводится гайкой 13 ходового вита 15, который, в свою очсрсдь, получает вращсис от раиового механизма. Храоной мехаизм оворач пает ходовой...

Номер патента: 333226

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гинцев, Жариков, Зорин

МПК: C23C 14/54

Метки: жидких, испарения, термического

...форме сигналов датчика д и задатчика б, поступает на суммирующее звено б вместе с этими сигналами. Результирующий сигнал Ур(1) =с 1 о+0,(1) - У в соответствии с изменением массы испаренного раствора изменяет с помощью регулирующего органа 7 величину стабилизируемой скорости испарения раствора. Программа регулирования задается величиной и знаком коэффициента а. В описанном устройстве значение коэффициента а остается неизменным, при этом точная стабилизация состава паровой фазы возможна лишь в случае, когда процентное содержание легколетучей компоненты в паре изменяется линейно с изменением скорости испарения в пределах регулирования.Этим условиям удовлетворяет ряд сплавов и растворов со сравнительно мало различаю щимися температурами...

Номер патента: 350869

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Воронин, Ивашкин, Слободенюк, Титов

МПК: C23C 14/54

Метки: 5-klillbilu-si, биз, ная, ооюс, пленокби, ртс, тонких, •gt

...термическим испарением материалов с последующим конденсцрОВанцех СГО на подложке В среде 20 разреженных газов, от,чаю 1 вся тем, что, сцелью повышения качества пленок ц воспроизводимости электрофцзцческцх параметров, прц испарении мцогокомпонецтного материала Интенсивность хОлекуля 1)ного потока каж дого компонента регулируют цзменагием температурных режимов цспарцтелей. Лвторыизобретения Г. И. Слободенюк Предлагаемое изобретение относится к области получения тонких пленок и может быть использовано в микроэлектронике для получения резистивных, сверхпроводящих, диэлектрических магнитных и других пленок.Известны способы получения тонких пленок термическим испарением материалов с последующим,конденсированием его на подложке в среде...

Номер патента: 353595

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Забежинский, Кацнельсон, Староверой, Фурман

МПК: C23C 14/54

Метки: напыления, пленок, процессом, тонких

...который в вакуумной камере 12 напыляется с испарптелей Иизготавливаемая пленка, направляется в сред 20 ство монохроматизацпи 2, выделяющее лучистый поток с длиной волны Х, на которой производится контроль. Поток вызывает на фотоприемнике 3 сигнал, пропорциональньшпропусканию образца 11. По мере роста тол 25 щины пленки в процессе напыления сигналменяется, достигая экстремальных значенийСоставитель Техред Г исимова Редак Струве тор О. Усова во ина Заказ 1796,1 Изд,1493ЦИИИПИ Комитета по делам изобретенийМосква, М(.35, Рау Подписное Министров СССРТираж 826открытий при Совекая наб., д. 4;5 Сапунов Типография,приемника 3 поступает в дифференцирующий блок 4, с выхода которого снимается сигнал в виде импульсов, следующих с частотой оз и...

Номер патента: 383759

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Модзелевокий, Рафалович, Ройх

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, интенсивности, металла, паров, потока

...тока в электрической цепи,что означает достижение критической температуры,П р едмет зобретени Спосоо измерения паров металла в ваку чала осаждения плен мую диэлектрическую ся тем, что, с целью измерений, в пары ме ческую пластину при пературы осаждения,зо температуры осажден деляют интенсивностьИзооретение относится к области измерения интенсивности потока паров металла в вакууме и может быть применено при нанесении различных металлических покрытий в вакууме.Известен ряд методов измерения интенсивности потока паров металла и скорости его конденсации в вакууме. Чаще всего скорость конденсации определяют по изменению частоты колебаний кварцевого резонатора, на поверхности которого конденсируется испаряеиый в вакууме металл. Этот способ...

Номер патента: 362074

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Дубинин

МПК: C23C 14/54

Метки: интерференционных, многослойных, покрытий, процессом

...17 и источником испарения 4 вещества б; далее ключа- ется электроиапнит 12, управлякхщий заслонками над иопарителем веществ а н б. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 Через заданное вреия включается вторая пропра;м,ма реле времени 15. Она приводит в действие электродввгатель 32 лентопротяжнопо механизма самопишущего потенциометра 8; цепь питаиия низковольпного оилового тра 1 нсформатора 17 при помощи реле 33; подключает фотоэлемент 10 посредством реле 34 к самопишущему потенц 1 иометру 8; включает электродви 1 гатель 1 вращения дбразца, Начинается процесс испаревия,вещества а и осаждение первого слоя покрытия,на образце. При конт 1 роле толщины. сигнал с фютовлемента 10 подается через автоматиче 1 ский регулятор 9 на усилитель...

Номер патента: 368349

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...на валу.На фиг. 1.изображена схематично установка; на фиг. 2 - вал вакуумного ввода.Установка для нанесения покрытий в вакууме состоит из камеры 1, внутри которой расположены испаритель 2 и вакуумный ввод 3, механизма вращения 4. Ввод 3 выполнен в виде вращающегося вала, в полости которого проходят термопары 5, соединенныеодним концом с подложками б, а другим -с герметичным штепсельным разъемом 7, закрепленном на валу. На фланце левой крыш 5 ки 8 имеется испаритель 2, который в рабочем положении находится внутри анода 9,на котором крепятся напыляемые подложки б.Вращение на валу вакуумного ввода пере 10 дается ременной передачей от электродвигателя 1 О, закрепленного,на тележке 11.Вал вакуумного ввода 3 (фиг. 2) расположен внутри...

Номер патента: 416420

Опубликовано: 25.02.1974

МПК: C23C 14/54

Метки: 416420

...втулки 15, гайки 16 и ре.15 зинового уплотнения 17. К гнезду кварцедержателя 14 пайкой крепится монтажный проВод В хлорвициловоц изоляции 18, который проложен в канале 19 для охлаждающей жидкости.20 Устройство работает следующим образом.Напыление различных материалов ца изделие производится одновременно с напылением ца обкладку 2 кварцевого резонатора 1, в результа 1 е чего изменяется масса резонатора 1 25 и собственная частота колебаний измерительного генератора 3, которую измеряют стандартны.,; частото ером, например, Ч 3-30. Измеренная девиация частоты служит мерой толшины покрытий :а изделии, а изменение чаЗо стоты в единицу времени - мерой скорости416420 8 акууп 15апыпинц ставитель Л. АнисимоваТехред Г. Васильева ктор Н, Аук...

Номер патента: 432241

Опубликовано: 15.06.1974

Авторы: Клебанов, Сумароков

МПК: C23C 14/54

Метки: вакуумных, изделия, нанесения, покрытий, скорости

...рулон 9 5 ленты 10, выполненной из прозрачного материала (например, лавсановой пленки). Ленту 10 с помощью роликов 11 перемещают перед щелью 8 и сматывают на барабан 12. За щелью 8 на некотором расстоянии по ходу 10 перемещения ленты 10 смонтирован измеритель толщины конденсата на ленте 10, выполненный из установленного с одной стороны ленты колли:апрованного источника света 13 и ориентированного на него фотопри емника 14, установленного с другой стороны ленты.При испарении метал гля 6потока паров достигает сти из 3 и конденсируется на ругая 20 этого потока паров чер 8 доет поверхности ленты 1 мещае постоянной скоростью.Скорость перемещения ленты 10 устанавливают такой, чтобы на ее поверхности по лучался сплошной полупрозрачный...

Номер патента: 433250

Опубликовано: 25.06.1974

Автор: Кацнельсон

МПК: C23C 14/54, G05D 5/02

Метки: вакуумнаяустановка, покрытийнанесения

...на образцы 3 путем термического испарсния наносят в трсбусмои:Оследоватсльност;1 ьсщества, Образ 1 дп 1 ис слои, В.д:151 щис В покрытие, Образцы 3 уста;1 авливаются с помощью 0 рав в дс 1 катс,с . Для обе:исч 1 я равндмеридй тол 1 ц;ы илсцдк 5 Обра: цак дс,жатс.1 ь ООВ 15 О Вра 1 ц 11 стс 51 Вокруг 0 11 касры. Крдзс тогд, иногда образцы В 011 рац 1 к вращаются вокруг своего центра. В прдцсдсс изготовлсни 51 покрыти 51 1 рдизВОдит.5 фдтоэлскт 111- 1 еский конт;1 оль ,ленок, сдстаВл 51 юц 1. .)- .Крытис. С истс ма кдцтд Ол 51 рси ст" 1 рмс т Вел 1- ч 1 ну световогодтдка, прошедьцсго через образец или отражсццдгд им. 11 сидл зу 51 извсстнмю зависимость .1о:1 скан;1 я (дтп 1 жсци 5)433250 Предмет изобретения Составитель В. Ванто...

Номер патента: 1828669

Опубликовано: 27.05.1995

Автор: Кульпинов

МПК: C23C 14/50, C23C 14/54

Метки: вакууме

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее подвижную камеру, размещенные в ней неподвижную стойку, средство технологической обработки, карусель с держателями изделий, выполненную в виде двух дисков, один из которых ведущий, а другой ведомый, сопряженных между собой с помощью пальца и группы отверстий, расположенных на ведомом диске, число которых соответствует числу обрабатываемых изделий, и привод планетарного вращения карусели, включающий две зубчатые пары, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения эксплуатационных характеристик, оно снабжено двумя тягами, подвижно установленными в стойке, каждая из которых жестко связана с ведомым элементом одной из зубчатых пар привода карусели, и снабжено n 1...

Номер патента: 1828142

Опубликовано: 27.06.1995

Авторы: Артемов, Афонин, Онуфриев

МПК: C23C 14/54

Метки: вакуумных, нанесения, покрытий, сложного, состава

1. Способ нанесения вакуумных покрытий сложного состава, заключающийся в том, что поочередно распыляют мономатериал из различных катодов мишеней, причем его количество регулируют длительностью импульсов, которые подают на катод-мишень, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия и расширения технологических возможностей, после каждого нанесения мономатериала периодически проводят его ионную очистку путем формирования отрицательных импульсов, амплитуду которых регулируют и подают их на подложку для повышения адгезионной способности покрытия.2. Устройство для нанесения вакуумных покрытий сложного состава, содержащее не менее двух распылителей, аноды которых подключены к положительному полюсу источника питания, а...

Номер патента: 1561548

Опубликовано: 27.12.1999

Авторы: Воскресенский, Перова, Шкурко

МПК: C23C 14/24, C23C 14/54

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее подложкодержатель, испаритель в виде тигля, заслонку, установленную между испарителем и подложкодержателем, и датчик проводимости наносимого покрытия, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок и повышения коэффициента использования материала покрытия, датчик проводимости установлен на заслонке со стороны испарителя, при этом датчик проводимости выполнен длиной рабочего участка, не превышающей диаметра тигля, и установлен по оси тигля.

Номер патента: 1316304

Опубликовано: 10.06.2000

Авторы: Богатырев, Щекочихин, Яценко

МПК: C23C 14/54

Метки: варианты, его, нанесения, пленок, тонких

1. Способ нанесения тонких пленок, включающий вакуумирование рабочего объема и формирование пучка атомов осаждаемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения чистоты пленок, пучок облучают монохроматическим световым потоком, резонансно-поглощаемым атомами осаждаемого материала или атомами примеси, причем, если длина волны светового потока соответствует резонансному поглощению атомами осаждаемого материала, световой поток направляют навстречу пучку атомов и облучение проводят в режиме, обеспечивающем соотношение Eu Ea

Номер патента: 1512176

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Глудкин, Гуров, Иванов, Лисин, Фурсова

МПК: C23C 14/54

Метки: испарения, электронно-лучевого

1. Устройство для электронно-лучевого испарения, преимущественно при обработке подложек большой площади, содержащий электронно-лучевую пушку, высоковольтный источник постоянного напряжения, электрически соединенный с катодом электронно-лучевой пушки, регулятор режима испарения в виде транзисторного ключевого элемента, электрически соединенного через блок сравнения с волноводными датчиками режима, электрически соединительными с СВЧ-генератором, катушки отклонения и развертки электронного луча, отличающееся тем, что, с целью повышения точности поддержания скорости испарения, регулятор режима испарения снабжен генератором пилообразного напряжения, источником постоянного отклонения,...

Номер патента: 1628564

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гусев, Дзекцер, Измайлов, Нестерова

МПК: C23C 14/54

Метки: контакта, покрытия, электрического

Способ получения покрытия для электрического контакта, основанный на ионно-плазменном напылении материала с твердостью выше твердости материала подложки при опорном напряжении на подложке 90 - 120 В, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности электрического контакта, на подложку напыляют двойной сплав меди с хромом, многократно изменяя в процессе напыления напряжение на подложке до 1000 - 2000 В и обратно к опорному, причем частота изменения напряжения составляет 1 - 2 раза на каждый микрометр толщины покрытия, а продолжительность напыления при 1000 - 1200 В равна 0,2 - 0,4 от времени напыления покрытия микронной толщины.

Номер патента: 1631832

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Аникеев, Котлярова, Паладин, Фадеев, Чигрин

МПК: B22F 7/04, C23C 14/54

Метки: износостойких, инструмент, нанесения, покрытий, режущий, твердосплавный

1. Способ нанесения износостойких покрытий на твердосплавный режущий инструмент, включающий очистку поверхности инструмента, его нагрев до 600-900°С, осаждение катодно-ионной бомбардировкой слоя нитридов тугоплавких металлов толщиной 3-15 мкм, охлаждение, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструмента, осаждение проводят сначала до толщины, равной 0,05-0,2 толщины слоя нитридов, проводят промежуточное охлаждение до 200-300°С с последующим осаждением слоя нитридов до конечной толщины. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение начинают при температуре поверхности инструмента 800°С.

Номер патента: 1336614

Опубликовано: 27.12.2013

Авторы: Бакуто, Бушик, Зачепило, Мицкевич

МПК: C23C 14/54

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее анод, расходуемый катод с рабочей поверхностью и центральным отверстием, обращенным к аноду, электромагнитную катушку, поджигающий электрод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, подложкодержатель размещен в отверстии катода в плоскости его рабочей поверхности и электрически соединен с ним посредством ограничительного сопротивления.