C23C 14/30 — электронной бомбардировкой

Номер патента: 126569

Опубликовано: 01.01.1960

Авторы: Виноградов, Рыбчинский, Ульянов

МПК: C23C 14/30

Метки: испаритель, электронный

...пушка 4, создающая электроннып пучок лучей, и полюса о расположены вне зоны запыления. Корпус испаритсля представляет собой охлаждаемый водой медный фланец 6, в который впаяны два патрубка. В боковох наклонном патруоке размещена электронная пушка 7 с линейчатым катодом, смонтированным вместе с вакуумным электровводом о. В центральном патрубке, представляющем собой охлаждаемый медный цилиндр, помещается стержень 9 испаряв. мого металла. Перемещение тержня в вертикальном направлении осуцествляется при помощи охлаждаемого водой толкателя 10, проходящего через вакуумное уплотнение 11 и приводимого в движешге поворотом маховичка 12. Электромагнит 13 укреплен на подвижном кольце 14 и может поворачиваться на небольшой угол в...

Номер патента: 182250

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 14/30

Метки: 182250

...и регулируют фокусирующие линзы так, чтобы получить макси з мальное значение тока термоэмиссии,2. Способ по п, 1,с целью исключениячуч электрическогомой измерения тока отличающийся тем, что, влияния на электронный поля, создаваемого схетермоэмнссии, и нсклюПри размерной импульсной электроннолучевой обработке материалов необходимо сфокусировать электронный пучок так, чтобы на обрабатываемой детали получилось электронное пятно минимального диаметра.Предлагается для обнаружения момента острой фокусировки пучка использовать термоэлектронную эмиссию с обрабатываемой детали или (если материал обрабатываемой детали не позволяет получить значительную эмиссию) со специальной контрольной пластины, вводимой вместо детали. Известно, что при...

Номер патента: 191002

Опубликовано: 01.01.1967

МПК: C23C 14/30

Метки: 191002

...вращения поворотной головки на угол, соответствующий углу совмещения отверстия охлаждаемого тигля 3 и тигля-спутника 5.Механизм поступательного движения длянепрерывной или периодической подачи штабиков в зону испарения состоит из привода 8, штока 9, толкателя 10 и компенсатора 11.Многокомпонентный автотигельный испаритель собирается на отдельном фланце с металлическими уплотнителями. Конструкция 10 допускает прогрев для обезгаживания всегоустройства до 400 - 450 С.Работает данное устройство следующим образом. Поворотная головка 4 с тиглями-спутниками 5, выведенными из охлаждаемого тиг ля 3, поворачивается от устройства 7 поворота головки таким образом, что необходимый штабик для испарения в своем тигле-спутнике устанавливается...

Номер патента: 287494

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Киевский, Кучеренко, Саенко

МПК: C23C 14/30

Метки: диэлектрических, пленок, тонких, электропроводящих

...фокусируется на стержень и в мест доводит его температуру до темпер рсния, Е-Еа пути к подложке испар шество понпзпруется электроннь Электронный пучок взаимодейств зующейся плазмой, в результате ч ется пучковоплазменная неусто скрещенных полях, приводящая к коэффициента ионизации. ции паров рабо дгезии пленок с предлагаемому тю рабочего ве льном магнитн к электронному чегопо спо- Шествниз ния а ки по низац прод шенгпополях ы и пучСхема, иллюстрирующая предложенный об, представлена на чертеже.Здесь ЭП - электронная пушка; 1 - ожкодеркатель с напыляемой пленкой; лектронный пучок; 3 - поток паров и и - магнитный экран, защищающий элек тую .пушку от продольпого магнитного Н 1 камеры ионизации; б. - стенки камерь изации (анод); б -...

Номер патента: 354016

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: C23C 14/30

Метки: 354016

...для Выход 1 иОПОВ, я ОоряоятыВяемяя деталь разменсия па Оси каверн и имеет отрицательный потенциал.Для облегчения условий зажигания и по вышеция степени иоцизацпир 5 дна 51 ея меря помсщсця Внитное поле, создаваемоесоленоидом.При давлении 10 - 4 - 10 - " тор металл в исиаритслс нагревается до температуры, при которой давление паров достигает 10 - 10 втор, ца анод и катод подастся постоянное напряжение 200 - 600 в, и в парах металла В Гязорязрядпои камере зяжпгястс 5 рязряд.Благодаря наложению магнитного ноля увеличивается длица пробега электронов, образовавшихся при ион изации, движущихся пО циелОидсалпытряеетория.11 и ООВсрша 10 щих колебания между катодцыми электродами (, претерпевал большое число столкцоВспий с ятОГсями хстялла, что...

Номер патента: 368779

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: B21D 33/00, C23C 14/30

Метки: 368779

...по делам изобретений и открытии при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 подогрева и увеличивают амплитуду отклонения электронных лучей всех электронных пушек.По достижении скорости ленты дискретного значения отключают часть электронных пушек со временем коммутации, близким к нулю, и восстанавливают величину амплитуды отклонения неотключенных пушек до первоначальной величины. По окончании процесса смены мотка скорость ленты вновь увеличивают, включают отключенные электронные пушки со временем коммутации, близким к нулю, и увеличивают амплитуду отклонения электронных пушек. По достижении лентой первоначальной скорости амплитуда отклонения доводится до первоначального значения. Изменение...

Номер патента: 380155

Опубликовано: 15.12.1974

МПК: C23C 14/30

...путем осажден зированной парообразной фазы, сформированной в пучки, регулируемые по составу. Ионизацию парообразной фазы осуществляют электронами, энергию которых выбирают в соответствии с потенциалами ионнзацин полиатомных молекул и энергиен диссоцпации их под действием электронного удара на молекулы (атомы) меньших масс для изменения относительных количеств ионных составляющих пучков.При осуществлении способа, варьируя энергшо ионизирующих электронов, можно изменять соотношение ионных видов конденсируемой системы за счет вклада от днссоциативной ионизации,Пример. Прп осаждении пленок сурьмы на подложке из свежесколотых на воздухе монокристаллов хлористого калия, подогретых до 95 - 110 С в парообразной фазе, содержащей...

Номер патента: 1749315

Опубликовано: 23.07.1992

Авторы: Гракович, Красовский, Шелестова

МПК: C23C 14/30

Метки: вакууме, порошков

...лент мешалки с сосудом реактора. С помоЩью изолятора 8 мешалка 5соединяется с приводом 9, а посредством 20скользящего контакта 10 - с фидером ВЧ-генератора (не показан). Для создания необходимой газовой среды в реакторе 1 служитсистема напуска газа в виде натекателя 11или испарителя 12, 25Устройство работает следу ощим образом.Обрабатываемый порошок помещаетсяна до 2, Вакуумная камера откачивается донеобходимогб давления. Затем включается 30привод 9 мешалки 5, например электродвигатсль, который приводит в движение кольца б: Скорость вращения выбирается такой,чтобы частицы порошка не успевали осестьна дно 1 и, сталкиваясь с лентами колец б. 35постоянно находились во взвешенном со.стоянии, После установления стационарного...

Номер патента: 1448760

Опубликовано: 20.09.2005

Авторы: Волков, Каляев, Нефедова, Шавкунов

МПК: C23C 14/02, C23C 14/30

Метки: жаростойких, нанесением, поверхности, подготовки, покрытий

Способ подготовки поверхности перед нанесением жаростойких покрытий электронно-лучевым напылением, при котором выполняют виброшлифование, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества покрытия и повышения усталостной прочности лопаток турбомашины, после виброшлифования лопатки подвергают поверхностной пластической деформации и рекристаллизационному отжигу.

Номер патента: 1526272

Опубликовано: 27.12.2013

Авторы: Алехнович, Ващенко, Вейник, Шипко

МПК: C23C 14/30

Метки: вакууме, нанесения, покрытий, электронно-лучевого

Способ электронно-лучевого нанесения покрытия в вакууме, включающий активирование поверхности изделия управляемым потоком электронов, электронно-лучевое испарение материала покрытия и последующее осаждение его на изделие, отличающийся тем, что, с целью повышения твердости и износостойкости титановых сплавов с хромовым покрытием, активирование поверхности осуществляют электронным лучом с удельной мощностью 600-1000 Вт/см2 , после чего проводят электронно-лучевое испарение хрома и его осаждение толщиной 2-50 мкм, после чего нагревают изделие электронным лучом на глубину, превышающую толщину покрытия.