Устройство для электронно-лучевого испарения
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в волноводных датчиках режима в качестве чувствительного элемента использована металлическая нить, а датчики выполнены с возможностью расположения диаметрально противоположных краев обрабатываемой подложки.
3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что блок сравнения снабжен детекторами, видеоусилителями и балансными схемами, выходы которых электрически соединены с входами микропроцессорной системы, а входы детекторов электрически соединены с датчиками режима и СВЧ-генератора.
Заявка
4171312/21, 04.01.1987
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина, Московский авиационный технологический институт им. К. Э. Циолковского
Иванов В. Н, Фурсова Е. С, Лисин В. Н, Глудкин О. П, Гуров А. И
МПК / Метки
МПК: C23C 14/54
Метки: испарения, электронно-лучевого
Опубликовано: 27.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1512176-ustrojjstvo-dlya-ehlektronno-luchevogo-ispareniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для электронно-лучевого испарения</a>
Предыдущий патент: Фронтальный агрегат
Следующий патент: Преобразователь поверхностных акустических волн
Случайный патент: Аппарат для вскрытия продуктивных пластов в скважинах с очисткой перфорационных каналов