Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках

Номер патента: 884482

Авторы: Васильев, Герасименко, Ободников

Описание

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках, включающий нанесение металла на подложку и последующий нагрев, отличающийся тем, что, с целью исключения нагрева подложки, уменьшения глубины проникновения металла в подложку, нагрев осуществляется импульсом СВЧ-излучения мощностью импульса, обеспечивающей плотность поглощенной энергии 0,1 - 6 дж/см2, длительностью импульса менее 10-5 с и частотой излучения, определяемой по формуле: где d - толщина металлического покрытия; - проводимость данного металла; - его магнитная проницаемость.

Заявка

3215253/25, 12.12.1980

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Сибирский государственный университет

Васильев С. В, Герасименко Н. Н, Ободников В. И

МПК / Метки

МПК: C23C 14/00, H01L 21/24

Метки: диэлектриках, металлических, покрытий, полупроводниках, создания

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-884482-sposob-sozdaniya-metallicheskikh-pokrytijj-na-poluprovodnikakh-i-diehlektrikakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках</a>

Похожие патенты