Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 884482
Авторы: Васильев, Герасименко, Ободников
Описание



Заявка
3215253/25, 12.12.1980
Институт физики полупроводников СО АН СССР, Сибирский государственный университет
Васильев С. В, Герасименко Н. Н, Ободников В. И
МПК / Метки
МПК: C23C 14/00, H01L 21/24
Метки: диэлектриках, металлических, покрытий, полупроводниках, создания
Опубликовано: 10.11.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-884482-sposob-sozdaniya-metallicheskikh-pokrytijj-na-poluprovodnikakh-i-diehlektrikakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках</a>
Предыдущий патент: Способ создания силицидов металлов
Следующий патент: Материал для светозвукопроводов акустооптических дефлекторов
Случайный патент: 156497