Устройство для нагрева подложек в вакууме
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Заявка
4720651/21, 20.07.1989
Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР
Мигаль В. П, Лубышев Д. И
МПК / Метки
МПК: C23C 14/24
Метки: вакууме, нагрева, подложек
Опубликовано: 20.11.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1662127-ustrojjstvo-dlya-nagreva-podlozhek-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для нагрева подложек в вакууме</a>
Предыдущий патент: Способ очистки трибутилфосфата от радиоактивного йода
Следующий патент: Способ генерации гиперзвуковых волн
Случайный патент: Устройство для лужения