Устройство для нагрева подложек в вакууме

Номер патента: 1662127

Авторы: Лубышев, Мигаль

Описание

Устройство для нагрева подложек в вакууме преимущественно к установкам молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащее корпус с размещенными в нем нагревателем и держателем подложек, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения однородности температурного профиля на подложках, нагреватель снабжен тепловыравнивающими пластинами из пиролитического нитрида бора и размещен между ними, при этом плоскости спайности пластин параллельны нагревателю, а толщина каждой пластины менее 4 мм.

Заявка

4720651/21, 20.07.1989

Новосибирский государственный университет, Институт физики полупроводников СО АН СССР

Мигаль В. П, Лубышев Д. И

МПК / Метки

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нагрева, подложек

Опубликовано: 20.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1662127-ustrojjstvo-dlya-nagreva-podlozhek-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для нагрева подложек в вакууме</a>

Похожие патенты