Ободников

Номер патента: 376029

Опубликовано: 20.06.2000

Авторы: Ободников, Серяпин, Серяпина

МПК: H01L 21/316

Метки: p-n-переходом, кремния, окисления

Способ окисления кремния с р-n-переходами в электролите при подаче на пластину кремния анодного напряжения, отличающийся тем, что, с целью селективного окисления n-области, пластину кремния предварительно обрабатывают в химическом травителе и при окислении анодное напряжение подают на n-область.

Номер патента: 1028202

Опубликовано: 20.11.1999

Авторы: Васильев, Герасименко, Ободников

МПК: H01L 21/477

Метки: ионно-легированных, отжига, полупроводников

Способ отжига ионно-легированных полупроводников, включающий импульсный СВЧ-нагрев, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса термообработки и повышения однородности отжига ионно-легированных слоев полупроводников с малой величиной проводимости, нагрев полупроводников проводят импульсом СВЧ-излучения со следующими параметрами: длительность импульса СВЧ-излучения 10-6 - 102С, основная частота СВЧ-излучения 950 Мгц - 10 ГГц, плотность поглощенной энергии СВЧ-импульса рассчитывают по формулеE T(Cndn+2

Номер патента: 915684

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Вихрев, Герасименко, Лебедев, Ободников

МПК: H01L 21/425, H01L 31/18

Метки: антимониде, индия, создания, фоточувствительных, элементов

Способ создания фоточувствительных элементов, на антимониде индия p-типа проводимости, включающий операции фотолитографии, нанесения диэлектрических покрытий, облучения протонами для создания p-n-переходов, нанесения контактов к элементам на кристалле, присоединения кристаллов к основанию корпуса, отличающийся тем, что, с целью избежания деградации параметров p-n-переходов во время технологических нагревов, облучение проводят после всех технологических операций.

Номер патента: 1452399

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Герасименко, Мясников, Ободников, Юрков

МПК: H01L 21/268

Метки: кремния, легирования, поликристаллического, слоя

Способ легирования слоя поликристаллического кремния, включающий внедрение ионов легирующей примеси и импульсный отжиг некогерентным источником света, отличающийся тем, что, с целью уменьшения поверхностного сопротивления слоя и увеличения его стабильности при последующих термических обработках, перед внедрением ионов легирующей примеси проводят отжиг слоя поликристаллического кремния в потоке инертного газа в диапазоне температур 950-1100oC в течение 10-45 мин.

Номер патента: 1047333

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Васильев, Герасименко, Ободников

МПК: H01L 21/24

Метки: многослойных, покрытий, проводящих, создания

1. Способ создания многослойных проводящих покрытий на полупроводниковых приборных структурах, включающий нанесение пленок диэлектрика, кремния, металла и нагрев, отличающийся тем, что, с целью сокращения числа операций термообработки, на поверхность каждого слоя металла перед нанесением слоя диэлектрика наносят разделительный слой кремния, а нагрев проводят однократно после нанесения всех слоев структуры.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что нагрев проводят СВЧ излучением со следующими параметрами: длительность воздействия СВЧ излученичя 10-2 - 100 с, плотность поглощенной энергии СВЧ излучения 0,1 - 10 кДж/см2, основная частота СВЧ излучения определяется по...

Номер патента: 884482

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Васильев, Герасименко, Ободников

МПК: C23C 14/00, H01L 21/24

Метки: диэлектриках, металлических, покрытий, полупроводниках, создания

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках, включающий нанесение металла на подложку и последующий нагрев, отличающийся тем, что, с целью исключения нагрева подложки, уменьшения глубины проникновения металла в подложку, нагрев осуществляется импульсом СВЧ-излучения мощностью импульса, обеспечивающей плотность поглощенной энергии 0,1 - 6 дж/см2, длительностью импульса менее 10-5 с и частотой излучения, определяемой по формуле: где d - толщина металлического покрытия; - проводимость данного металла;

Номер патента: 880198

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Герасименко, Лежайко, Любопытова, Ободников

МПК: H01L 31/0352

Метки: полупроводниковый, фотоприемник

Полупроводниковый фотоприемник на основе внутреннего фотоэффекта, содержащий кристалл с фотоприемной поверхностью, отличающийся тем, что, с целью расширения спектрального диапазона фоточувствительности, над фотоприемной поверхностью расположен варизонный слой, толщина которого не более обратной величины коэффициента поглощения регистрируемого излучения и не менее длины туннелирования носителей заряда, причем градиент ширины запрещенной зоны удовлетворяет соотношениюгде Eg(x) - ширина запрещенной зоны; - подвижность носителей...

Номер патента: 1190857

Опубликовано: 20.06.1999

Авторы: Верходанов, Герасименко, Мясников, Ободников

МПК: H01L 21/268

Метки: кремниевых, пластин, полупроводниковых

Способ очистки полупроводниковых кремниевых пластин путем воздействия на поверхность лазерным излучением, отличающийся тем, что, с целью обеспечения очистки поверхности пластин от механических загрязнений, кремниевые пластины подвергают воздействию лазерного излучения с длиной волны 1,06 0,000365 мкм, удельной мощностью 318 Вт/см2 - 15 кВт/см2 и длительностью воздействия 50 - 200 мс.

Номер патента: 1351892

Опубликовано: 15.11.1987

Авторы: Гаврилюк, Горосов, Коновалов, Косяков, Ободников, Хлистун, Шрам

МПК: C03B 37/09

Метки: волокна, горных, жаростойкого, питатель, пород, сплава, стекла

...предприятие, г,Ужгород, ул.Проектная, 4 1 13518Изобретение относится к производству стекловолокон и минеральной ва" ты, в частности к .устройствам для получения волокна из стекла и горных пород путем вертикального раздува5 их струйным энергоносителем (сжатый воздух, пар и т.п.).Цель изобретения - снижение затрат на изготовление и улучшение качества готового питателя.На фиг.1 изображен питатель, в плане; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг.1,Жаростойкий питатель содержит фильерную пластину 1, боковые стенки 2, поля 3 и токоподводы 4. Пита- тель выполнен цельнолитым при соотношении ширины фильерной пластины к высоте боковой стенки 3-4,5.Соотношение ширины фильерной пластины к высоте стенки меньше 3 не допускается, так как при этом...

Номер патента: 1092905

Опубликовано: 15.01.1986

Авторы: Алешин, Военушкин, Зейфман, Косяков, Леута, Меркин, Можаев, Ободников, Павлушкин, Худяков

МПК: C03B 37/10

Метки: стекловолокнистого, теплоизоляционного

...вращающийся барабан, разрезания полученного стекловолокнистого шпона,снятия его с барабана, растяжки впоперечном направлении, уплотненияи термической обработки для отверждения связующего, перед уплотнениемна поверхность стекловолокнистогошпона напыляют рубленое стекловолок"но длиной 1-20 мм в количестве 550 мас.7. волокна в шпоне.Благодаря нанесению минеральныхволокон на стеклошпон до его термо-обработки они приклеиваются к волокнам шпона. Минеральное волокно длиной 1-20 мм при нанесении его на по-.верхность стеклошпона проникает в поверхностные слои на глубину 5"10 мм,Использование волокна меньшей длиныприводит к утяжелению материала засчет неоправданно глубокого проникновения.волокна.Использование минеральных волокондлиной больше 20...

Номер патента: 1193125

Опубликовано: 23.11.1985

Авторы: Брулев, Ерохин, Ободников, Ойсгельд

МПК: C03B 9/04

Метки: ножке, стеклоизделий

...5 для прессовки, расположенный в центральном отверстиипуансона 4 соосно с ним.Изготовление, изделия начинаетсяс выдувания сосуда 6 выдувной трубкой 7, параллельно осуществляетсяподача порции горячей стекломассы8 в форкамеру 3 при раскрытых формеи поддоне и опущенных в нижнее положение .пуансонах,4, После этого поддони форма закрываются, сосуд 6, находящийся на выдувной трубке 7, устанавливается в чашу формы 1, При одновременном подъеме пуансонов 4 проис".ходит запрессовка стекломассы в форму 1 через центральное отверстие вподдоне, формование ножки 9 и частично донышка 1 О, соединение в горячем состоянии ножки с сосудом 6.Усилие прессования при этом подбирается таким образом, чтобы полостьдля образования ножки 9 заполнялась3 полностью,...

Номер патента: 1106640

Опубликовано: 07.08.1984

Авторы: Андрюшин, Ободников

МПК: B24B 9/08

Метки: граней, нанесения, станок, стеклоизделия

...в нем с возможностью3 11066 вращения шпинделем 22, на одном конце которого жестко закреплен тарельчатый центр 23, а на втором - сменные делительный диск 24, храповое колесо 25 и свободно вращающееся на шейке шпинделя 22 водило 26. Один конец водила шарниром 27 соединен со штоком 28, на котором закреплен ролик 2" свободно вращающийся вокруг оси 30 и взаимодействующий с копиром 10, Прижатие ролика к копиру осуществляется пружиной 31, одним концом скрепленной с водилом 26, а вторым - с корпусом 32, в котором установлен с возможностью перемещения вдоль оси шток 15 28. На втором конце водила 26 шарнирно закреплена собачка 33, выполненная в форме двухплечего рычага. Одним концом собачка взаимодействует с храповым колесом 25 под...

Номер патента: 994514

Опубликовано: 07.02.1983

Авторы: Александрова, Баранов, Вайн, Герасимова, Горасов, Гурская, Лясин, Ободников, Олейникова, Прохоров, Симонова, Туляков

МПК: C08L 31/04

Метки: связующее, стекловолокнистых

...с рабочей концентрацией1-2 насосом по трубопроводам подают в узел нанесения связующего, расположенный на технологической линиицля производства стекловолокнистогоматериала, Пропитанный связующимхолст подвергают сушке путем вакуумного отсоса излишков связующего и нагрена инфракрасными горелками, Далеехолсты подвергают термообработке при180-220 С по принятому режиму, Послевсех операций стеклохолсты подвергают испытаниям. 15 Характеристика свойств стеклохолста, полученного с использованием пред-, лагаемого связующего и связующего по прототипу приведена в таблице.( отсмолы)гП ( 1 н )4 Со Прочностькгс Водо- стойкость, кгс Содержание связующего встеклохолсте,8,7 3,7 3,5 650 6,5 7,0 9,0 7,0 900 3,0 3,6 9,5 5,0 5,0 250 7,6 6,4 9,0 520 3,6 2,94...

Номер патента: 841924

Опубликовано: 30.06.1981

Авторы: Брулев, Ободников, Рябов, Смирнов

МПК: B24B 9/08

Метки: краев, полыхстеклоизделий, станок, шлифования

...путем их перемещения вдоль оси вала 13 позволяет регулировать высоту хода прижимного приспособления;Регулировка скорости вращения кулачкового вала 13 осуществляется бесступенчатым изменением скорости вра щенияэлектродвигателя 9 постоянного тока с помощью реостата 20. На одном конце шарнирных рычагов 21 закреплены ролики 22, на которые при вращении нажимают кулачки, поворачивая рычаги вокруг осей 23, с помощью которых они крепятся на кронштейнах 24. На другой конце шарнирных рычагов 21 имеются грузы 25, которые могут перемещаться вдоль рычагов, что поз воляет регулировать максимальную величинудавления стеклоизделйя 26 на шлифовальный круг 6. К каждому из рычагов одним концом жесткб прикреплен подпружиненный шток 27, а другим через...

Номер патента: 712873

Опубликовано: 30.01.1980

Авторы: Герасименко, Кибалина, Мордкович, Ободников, Стась

МПК: H01L 21/263

Метки: фотомишени

...счет большей степени компенсации.Диапазон спектральной чувствительностирасширяется за счет более мелкого энергетического уровня дефекта по сравнению суровнем золота в прототипе.Диапазон спектральной чувствительностипрототипа: уровень золота Ес - 0,54 эВ,т, е. граница чувствительности = 2,3 мкм.Диапазон спектральной чувствительностизаявляемого способа: уровень дефектаЕс - 0,37 эВ, т. е. граница чувствительности = 3 4 мкм.По сравнению с существующими способами, где вытравливают образец до малыхтолщин имеет место увеличение механической прочности,Лсходный кремний можно использоватьс концентрацией кислорода 10" см- -108 см -(см. пример 1). Что касается времени отжига, то оно лежит в пределах 10 -30 мин, В течение этого времени...

Номер патента: 343953

Опубликовано: 01.01.1972

Автор: Ободников

МПК: C03B 9/02

Метки: станок, стеклоизделии

...пружиной и регулировочными винтами.На чертеже изображен предлагаемый станок.Станок содержит верхнюю гладкую форму 1, которая получает вращение от электродвигателя 2 через клиноременную передачу 3.Нижняя форма 4 с рисунком установлена на опорном подшипнике 5 и закреплена на поворотном горизонтальном рычаге 6, системы рычагов 7, обеспечивающих соосное соединение форм, двух регулировочных винтов 8, ножной педали 9 для управления формами и корыта для сбора воды, возвратной пружины 10, водяного клапана 11, душпрующей сетки 12 и газовой горелки 1;г.Верхняя часть формы получает вращениеот электродвигателя и свободно вращается, нижняя часть выведена из-под верхней формы и разогревается до необходимой температуры при формоваии. Нажимая ногой...