Номер патента: 1455763

Автор: Невский

Описание

Испаритель, содержащий тигель с нагревателем и систему для локального улавливания газоотделений с тигля в виде набора сменных цилиндров из адсорбента, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий, за счет исключения загрязнений подложки, он снабжен корпусом, на торце которого выполнено отверстие для выхода пара, расположенное напротив открытой поверхности тигля, и запорным клапаном для перекрытия этого отверстия, а система для локального улавливания газоотделений снабжена охлаждаемой вставкой для размещения сменных цилиндров из адсорбента.

Заявка

4210674/21, 16.03.1987

Специальное конструкторско-технологическое бюро монокристаллов СО АН СССР

Невский В. А

МПК / Метки

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

Опубликовано: 20.03.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1455763-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель</a>

Похожие патенты