Недыбалюк

Номер патента: 1832760

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Ключников, Левченко, Недыбалюк, Одиноков

МПК: C23C 14/35

Метки: вакууме, магнетронного, распыления

Устройство для магнетронного распыления материалов в вакууме, содержащее выполненные с возможностью взаимного вращения подложкодержатель и магнетронную систему с анодом и двумя катодными узлами, симметрично расположенными под углом к оси подложкодержателя и включающими дисковые мишени и концентрично расположенные с нераспыляемой стороны мишеней полюсные наконечники противоположной полярности, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости распыления и увеличения коэффициента использования материала, мишени выполнены с отсеченной частью со стороны оси подложкодержателя, при этом каждый полюсный наконечник образован пересечением двух дуг окружностей с сохранением у дуги, удаленной от плоскости отсечения, прежнего радиуса полюсного...

Номер патента: 1697453

Опубликовано: 20.11.1995

Авторы: Левченко, Недыбалюк, Одиноков

МПК: C23C 14/35

Метки: вакууме, ионно-плазменного, распыления

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ, преимущественно на вращающуюся вокруг своей оси подложку, содержащее магнетронную систему, состоящую из катода с мишенью и полюсных наконечников, подложкодержатель и анод, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента полезного использования распыленного материала, оси симметрии подложкодержателя и мишени образуют угол 18 26o, а центр мишени смещен от оси подложкодержателя на величину (0,18 0,27) D мм, причем средний диаметр зазора между полюсными наконечниками равен 0,75 D мм, где D диаметр подложкодержателя, мм.

Номер патента: 1322701

Опубликовано: 10.10.1995

Авторы: Левченко, Недыбалюк

МПК: C23C 14/42

Метки: вакууме, диэлектрических, катодным, нанесения, покрытий, распылением

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ КАТОДНЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ В ВАКУУМЕ, содержащее катод-мишень, подложкодержатель и кольцевой анод, расположенный между катодом-мишенью и подложкодержателем соосно геометрической оси катод-мишень подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции устройства и повышения его экономичности, на кольцевом аноде, равномерно по его периметру, выполнено не менее трех выступов игольчатой формы.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что длина выступов не менее 4 мм.

Номер патента: 844051

Опубликовано: 07.07.1981

Авторы: Казаринов, Недыбалюк, Ройтенберг

МПК: B02C 18/40

Метки: насос-дробилка

...и решеткой.Цель изобретения - повышение эффективности процесса дробления и напора насоса.Это достбилке, сод игается тем, что в насосе-дроержащем корпус, рабочее колесо с валом, всасывающий патрубок с пластинчатым резцом, механизм дробления, последний выполнен в виде гайки с режущими лопатками и расположенной на валу, а 5 резец установлен во всасывающем патрубке с возможностью перемещения вдоль оси вала.На фиг. 1 изображена рабочая часть насоса-дробилки; на фиг. 2 - разрез А - А 10 фиг. 1.Насос-дробилка выполнен в виде корпуса-улитки 1, имеющего рабочее колесо 2 закрытого типа, закрепленное на валу 3 с помощью гайки 4, всасывающий патрубок 15 5, внутри которого установлен неподвижный резец 6.Устройство работает следующим...