Способ получения покрытий в вакууме
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 908113
Авторы: Кривонощенко, Селифанов, Точицкий
Формула
Способ получения покрытия в вакууме, заключающийся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет снижения капельной фазы пароплазменного потока, на расходуемый электрод воздействуют ультразвуковыми колебаниями.
Описание
Известен способ получения покрытий в вакууме, заключающийся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке [1]
Недостатком известного способа является низкое качество покрытия из-за наличия в пароплазменном потоке капельной фазы, источниками которой являются окклюдированные газы в испаряемом материале и термоупругие напряжения.
Цель изобретения повышение качества покрытий за счет снижения капельной фазы пароплазменного потока, достигается тем, что в способе получения покрытий в вакууме, заключающемся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке, на расходуемый электрод воздействуют ультразвуковыми колебаниями.
Способ получения покрытий в вакууме реализуется с помощью устройства, представленного на чертеже.
На расходуемый электрод (катод) 1, эродируемый в микропятнах дугового разряда, возбуждаемый между катодом и анодом 2 в парах испаряемого материала, воздействуют ультразвуковыми колебаниями от ультразвукового источника 3.
При воздействии ультразвуковых колебаний на эродируемый катод 1 происходит дробление жидкой фазы материала катода в микропятнах вакуумной дуги на поверхности расходуемого электрода. Формирующийся в разряде пароплазменный поток 4 содержит капли значительно меньших размеров, не снижающих качество покрытий на подложке, вследствие дробления и распыления жидкой фазы в микропятнах дуги в результате звукового давления. Под действием ультразвуковых колебаний в жидкой фазе осуществляется процесс кавитации с образованием мельчайших пузырьков паров металла и последующим их схлопыванием, сопровождающимся возникновением местных давлений (до 5000 кгс/см2), приводящих к разрушению капель и снижению их количества. Ультразвуковые волны в эродирующем электроде способствуют растеканию жидкой фазы металла по поверхности электрода, занятого разрядом, что приводит к уменьшению микронеровностей поверхности и, как следствие, уменьшению размеров капель.
Пример осуществления способа. Ультразвуковые колебания частотой 100 кГц от ультразвукового преобразователя подавались на катод, изготовленный из Cu и W. Полученные пленки толщиной 100 А исследовались на электронном микроскопе (IEM-120).
Размеры капель в пленках вольфрама не превышали 0,1 мкм, а в пленках меди
0,3 мкм. Снижение размеров капель позволяет получать покрытия высокого качества не препятствующие получению металлизационных слоев М-Д-М и М-Д-П структур для производства полупроводниковых приборов в микроэлектронике.Способ получения покрытия в вакууме, заключающийся в возбуждении дугового разряда в парах материала расходуемого электрода и конденсации пароплазменного потока этого материала на подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет снижения капельной фазы пароплазменного потока, на расходуемый электрод воздействуют ультразвуковыми колебаниями.
Рисунки
Заявка
2798147/21, 20.07.1979
Институт электроники АН БССР
Кривонощенко В. И, Селифанов О. В, Точицкий Э. И
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Опубликовано: 20.10.1996
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-908113-sposob-polucheniya-pokrytijj-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения покрытий в вакууме</a>
Устройство для контроля концентричности покрытия электродов для дуговой сварки
Номер патента: 707733
Опубликовано: 05.01.1980
Авторы: Богданенко, Евграшин, Кеслер, Меркулов, Тархов
МПК: B23K 35/40
Метки: дуговой, концентричности, покрытия, сварки, электродов
...8, прижимную пружину 9, рычаг 10, опору 11 и клавишу12,Калибровка устройства осуществляется изменением расстояния междупервичным преобразователем и стержнем контролируемого электрода, путемперемещения подвижной каретки назаданную величину,В исходном положении подвижнаякаретка 5 под действием возвратнойпружины 8 прижата к колпачку 6.При нажатии на клавишу 12 рычаг10, опираясь на опору 11, тянетвниз пружину 9, которая, в свою707733 формула изобретения Составитель Н.Козловскаяедактор И.Вирко Техреду.Алферова Корректор Н.Сте з 8402/11 ЦНИИПИ Го по дела 113035, 11 осПод ета ССС ытий наб.,дсное ака Тираж 1160сударственного коми м изобретений и от ква, Ж, Раушска, 4/5 илиал ППП Патент, г.ужгород, ул,Проектная,4 очередь, сжимая возвратную...
Электрогидравлический привод перемещения электродов для дуговой электропечи
Номер патента: 549896
Опубликовано: 05.03.1977
МПК: H05B 7/156
Метки: дуговой, перемещения, привод, электрогидравлический, электродов, электропечи
...одновременно пофазно включается электромагнит гидравлического золотника, который открывает свободный проток рабочей жидкости по трубопроводу 2 в ту или другую сторону и включается электродвигатель переменного тока 5, который, вращаясь в одну сторону с постоянным числом оборотов, раскручивает до этих оборотов (без учета проскальзывания) на одной ступени муф. ты скольжения в ту же сторону (на подъем электрода), а вторая ступень этой муфты при этом выполняет роль индукционного тормоза проскальзывания, обмотки которой под воздействием электрических сигналов от блока 7 регулятора мощности печи позволяют плавно, с заданным ускорением раскручивать жестко связанный с ней гидродвигатель 4 з ту или иную сторону, в зависимости от сигнала...
Устройство управления положением электродов трехфазной дуговой электропечи
Номер патента: 540415
Опубликовано: 25.12.1976
Авторы: Вейнер, Гарнов, Иткин, Левин, Соколов, Шапиро
МПК: H05B 7/148
Метки: дуговой, положением, трехфазной, электродов, электропечи
...каждой фазы к выходу датчика тока, а каждый из трех входов элемента И соединен через пороговый элемент минимального уровня каждой фазы с выходом датчика напряжения.На чертеже дана функциональная схема предлагаемого устройства.Устройство управления положением электродов содержит (на каждую из фаз А, В, С) датчик тока дуги 1 и датчик фазного напряжения 2, формирователь 3 регулируемого параметра, нормально замкнутые контакты 4 реле 5, блок 6 управления приводом перемещения электродов, контакты 7 (реле 5), пороговый элемент 8 максимального уровня, пороговый элемент 9 минимального уровня, элемент ИЛИ 10, элемент И 11, элемент Память 12, элемент Задержка 13, источник 14 нормированного сигнала.Устройство реализует два режима работы - рабочий и...
Устройство для управления положением электродов трехфазной дуговой электропечи
Номер патента: 660305
Опубликовано: 30.04.1979
Авторы: Вейнер, Гарнов, Иткин, Левин, Соколов, Шапиро
МПК: H05B 7/148
Метки: дуговой, положением, трехфазной, электродов, электропечи
...с выходамипороговых элементов минимального уров-.ня тока 9 и напряжения 11, а выход с запреша ошим входом элемента память 14.Устройство реализует два режима работы: рабочий и аварийный. иВ рабочем режиме сигнал с выхода формирователя 3 регулируемого параметра, например фазы А, поступает через размыкаюшие контакты 4, 6, 7 на вход блока 8 управления привода перемешения электрода и отрабатывается путем перемешения электрода. В режиме аварийного управления (при обвалах шихты) сигнал с порогового элемента 10 тока аварийной фазы, например А, достигает максимального уровня, сигнал с порогового элемента 1 фазного напряжения минимального уровня. Эти сигналы подаются соответственно через пороговые элементы максимальногэ уровня тока 10 и...
Устройство для удержания и перепуска самоспекающихся электродов в дуговых электропечах
Номер патента: 135985
Опубликовано: 01.01.1961
Авторы: Абрамова, Андреева, Виноградова, Гнедин, Ерофеев, Лившиц, Назаров, Парфанович, Смиряев
МПК: H05B 7/10, H05B 7/156
Метки: дуговых, перепуска, самоспекающихся, удержания, электродов, электропечах
...- нижний 1 и верхний 2. В этих корпусах располагаются съемные полые резиновые манжеты 3 и, соответственно, 4, наполняемые находящейся под давлением водой.Создаваемый при этом в манжетах напор раздувает их, в результате чего внутренняя поверхность манжет прижимается к кожуху электрода и защемляет его по всей окружности.Нижний корпус 1 зажима жестко связан с системой подвески электрода, а верхний 2 через пружины о - с нижним корпусом 1,Для перепуска электродов сперва удаляется вода из нижней резиновой манжеты 3. Электрод, зажатый тогда только верхней резиновой манжетой 4, начинает скользить вниз вместе с верхним корпусом 2 заПредмет и зоб р етения Устройство для удержания и перепуска самоспекающихся электродов в дуговых электропечах,...
Предыдущий патент: Способ определения бромного числа пероксидных мономеров
Следующий патент: Устройство для сбора витков проволоки в бунт в потоке прокатного стана
Случайный патент: Замасливатель для стеклянного волокна