Тимошников
Способ упрочнения ионно-плазменных покрытий
Номер патента: 1485666
Опубликовано: 20.01.1997
Авторы: Карпов, Пучкарева, Теплоухов, Тимошников
МПК: C23C 14/00
Метки: ионно-плазменных, покрытий, упрочнения
Способ упрочнения ионно-плазменных покрытий, включающий обработку поверхности изделия ионами азота с последующим осаждением покрытий из нитридов или боросилицидов металлов конденсацией с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий и прочности сцепления покрытия с подложкой, обработку поверхности изделия проводят путем облучения пучком ионов азота с энергией 3 10 кэВ в течение 10 45 мин, а после нанесения покрытия проводят облучение изделия -квантами дозой 107 - 108 рад при 10 300oС.