Дакалова

Номер патента: 1811221

Опубликовано: 10.05.1995

Авторы: Бударагин, Дакалова, Дробышевская, Ионов, Куприн, Платова, Филиппов, Хохлова

МПК: C23C 18/02, C23C 28/04

Метки: оксидов, пленочных, покрытий, смешанных, титана, щелочноземельных, элементов

...малорастворимых гидративных карбоксилатов титана, которые вызывают образование кратеров. Можно предполохсить, что при нанесении органического раствора при температуре кипения водыисключена возможность ее конденсации в органической системе, что способствует снижению числа дефектов на поверхности подложки. При температуре начала термолиза выше 140 С имеет место интенсивное разбрызгивание и связанное с этим образование дефектов,П р и м е р 2. Приготовленную смеськомплексов титана и стронция с ВИК - 1 приМольном соотношении 1:2 и суммарной концентрации элементов 27,3 г/л наносили ме 25 тодом окунания на образцы титана, кварцаи стали в интервале температур 25 - 150 С,Термолиз осуществляли в защитной атмосфере (аргон), начиная с температуры...