Тюгина
Устройство для осаждения покрытий из газовой (паровой) фазы
Номер патента: 1338451
Опубликовано: 10.03.1995
Авторы: Гусев, Костенков, Крашенинников, Тюгина, Чапля
МПК: C23C 16/00
Метки: газовой, осаждения, паровой, покрытий, фазы
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ (ПАРОВОЙ) ФАЗЫ на наружную поверхность цилиндрических изделий, содержащее горизонтальную цилиндрическую реакционную камеру, нагреватель изделия, подложкодержатель, патрубки для ввода исходного химсоединения и отвода продуктов реакции, расположенные соосно друг другу, и привод для вращения обрабатываемого изделия, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий и повышения эффективности процесса, оно снабжено ограничительной вставкой, установленной внутри реакционной камеры симметрично относительно патрубков и выполненной в виде двух кольцевых перегородок, жестко связанных радиальной перемычкой, расположенной под острым углом за вводным патрубком.2. Устройство по п.1,...