Патенты с меткой «ионно-лучевого»

Номер патента: 1802551

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Бизюков, Середа, Целуйко, Юнаков

МПК: C23C 14/56

Метки: ионно-лучевого, нанесения, покрытий

...магнитного поля и заземленный электрод - токоприемник, Расстояние мишень-подложка 1. = 3 см.Производя откачку вакуумного объема до давления Р 10 мм рт.ст. с помощью системы напуска газа подсоединенной к устройству формирования ионного пучка типа СЧА, устанавливают давление рабочего газа Аг в вакуумном объеме Р 5 10 мм рт.ст. С помощью блока питания типа БПустанавливают разрядное напряжение на устройстве формирования ионного пучка О - 4 кВ и разрядный ток 1 р 200 мА. С помощью блока питания подают отрицательное относительно корпуса напряжение смещения на держатель мишени, равное Осм = 4 кВ, формируя тем самым ионный пучок на поверхности мишени, Ток ионного. пучка на мишень 1 П -150 мА.Подставляя указанные конкретные значения...