Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1300975
Автор: Левченко
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий формовку материала мишени, обжиг, измельчение и повторную формовку с обжигом, обработку материала мишени в вакууме путем пропускания через него тока, отличающийся тем, что, с целью повышения долговечности мишени, перед обработкой материала мишени в вакууме проводят селективную металлизацию поверхности мишени, а пропускание тока осуществляют поочередно через участки металлизации с последующим их удалением.
Описание
Целью изобретения является повышение долговечности мишени путем равномерной обработки участков материала мишени током в процессе ее изготовления.
Пропускание тока поочередно через участки металлизации на мишени позволяет устранить неоднородности в структуре керамики. Локальные участки, в свою очередь, способствуют образованию дуговых разрядов, приводящих к пробою мишени, что снижает ее долговечность.
Обработка объема мишени по частям позволяет получить более однородную проводимость в области всей распыляемой зоны, что приводит к повышению долговечности.
П р и м е р. Проводили изготовление сегнетокерамической мишени из керамического титаната бария. Порошок титаната бария с предварительно добавленной связкой (поливиниловый спирт) формовали при давлении 49
106 Па. Отформованную заготовку обжигали при температуре однократного спекания керамики титаната бария 1672 К в течение 2 ч. Обожженную заготовку дробили прессом, а затем дальнейшее измельчение проводили в агатовой мельнице. Из полученного порошка повторно формовали заготовку мишени размером 80 х 40 х 10 мм и обжигали пpи температуре 1533 К в течение 2 ч. Затем на всю распыляемую поверхность мишени наносили, например, через маску металлические (например, никелевые) электроды в виде секторов с дугой, не превышающей 10 мм. Превышение этого размера приводило к повышению неоднородности обработки объема мишени. После этого мишень устанавливали в вакуумной камере на катодный пьедестал, прогревали до 623-673 К, что обеспечивало электропроводность материала мишени, и поочередно пропускали через сектора от отдельных источников питания ток плотностью 83 мА/см2 в течение 9-12 ч в вакууме 6,65 Па. По окончании обработки металлизацию удаляли, например, химическим травлением или распылением в разряде на заслонку. Мишень была готова к использованию.В мишенях, изготовленных по данному способу, дуговые разряды начинают появляться только после 230-250 ч распыления в магнетронной системе, т.е. в 3 раза позже, чем в способе-прототипе.
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме путем ионного распыления мишеней. Цель изобретения повышение долговечности мишени достигается путем равномерной обработки участков материала мишени током в процессе ее изготовления. Для этого пропускают ток поочередно через участки металлизации, что позволяет устранить неоднородность в структуре керамики. По окончании обработки металлизации удаляют, например, химическим травлением или распылением в разряде на заслонку. Обработка мишени по частям позволяет получить более однородную проводимость в области всей распыляемой зоны, что приводит к повышению долговечности. В мишенях, изготовленных по данному способу, дуговые разряды начинают появляться только после 230-250 ч распыления в магнетронной системе, т.е. в 3 раза позже, чем в способе-прототипе.
Заявка
3831155/21, 22.11.1984
Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции
Левченко Г. Т
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Метки: мишени, сегнетокерамической
Опубликовано: 10.11.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1300975-sposob-izgotovleniya-segnetokeramicheskojj-misheni.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления сегнетокерамической мишени</a>
Способ обработки поверхностей диэлектрических мишеней в вакууме
Номер патента: 1580852
Опубликовано: 09.06.1995
Авторы: Зыков, Качанов, Марущенко, Фареник, Юнаков
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, диэлектрических, мишеней, поверхностей
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ В ВАКУУМЕ, включающий бомбардировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода-нейтрализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода-нейтрализатора подают положительный потенциал (B), выбираемый из выражения5 kТ e < E; < U,где k постоянная...
Способ металлизации пульверизацией распыленных металлов
Номер патента: 73070
Опубликовано: 01.01.1948
Автор: Скрипов
Метки: металлизации, металлов, пульверизацией, распыленных
...присадкД 11 51 Р а С ПЫ ,11 Сграфит. металлизации п Йся тем, что, с уху с, ужацеь орошкообразны распыгСнн(.х метя,5 Ов, о т Графита В )аСпыгяс)(ы( мс - ни 5 1)с 1,1851 енноО металла,Предлагается при металлизации пульверпзацнсй распыленных металлов, с целью присадки графита в распылясмьй метлг к 1)оздух 1, слу)5 ащему для распыления расплавленного мета)га. доВгять 10)Оп(кообразный графит.Это предло)кение осуществляется путем замены соПя метяллпзатора форсункой. В воздушную магистраль включается резервуар, заполнен- ныЙ до половНы порошко Графита. В дпо 1)сз:.)вмара Вонтп)овнтРУ(КИ, ПОДВОДЯЩИЕ ВОЗДУХ, а В КРЫШКУ -- тРУОКН, ОтВОДЯЩНЕ СМЕСЬ ВОЗ,1 уха с Графитом к форсункам. К форсуке, кроме ТОГО, ПО Отде,1 ьнОЙ Трубке...
Прибор для регистрации стрел прогиба железнодорожного пути на криволинейных участках
Номер патента: 80244
Опубликовано: 01.01.1949
Автор: Андрейцев
МПК: E01B 35/02
Метки: железнодорожного, криволинейных, прибор, прогиба, пути, регистрации, стрел, участках
...мц колес обеих коиевдлх тележек) равна 20 и, 1 г 1)айнис тележки 1 и 3 связаиы со средней тел(джкой 2 51(эктдмдг тягами 5, 6, 7 и 8 в виде 5 р(эс55.)рц работе ио промеру крнВОй дд(е ти тслежд(ц кддт 5 дт по наружиомгу )с:и су пзмс 1)51 смОГО иут 11 с таким расчетом, чтобь Тддбд(ие тяги 5, 6, 7 ц 8 оьдлц днэстоянно в натянутом поло)копни без провпсапия, Для оо(сисчсцця иран(льпой записи д(ри(дой псооходимо, чтооы Оое ддоддцевые тс;(сжкт Т(1)11 ряоотс Оылд Плот- )10 и)ид(аты 5( внутсинс Г 1)яии Головки эс,ид (.(б)01)дядд(и св 051 х колес а сре ддя 5 Тележка Оыла тад(эке 1 ц)и)ката и 1)е.(ьсу Вегика.1 ьныы ООКО 1511 ы 1)0;дцд;(эм. Прижатс 1)еборд колес ддоцддсвых тс;деэкск дд )тддддяльного )олика средней тележки и ооковой грани паруэьц(ого...
Способ укладки рельсовых плетей бесстыкового пути в кривых участках
Номер патента: 1379395
Опубликовано: 07.03.1988
МПК: E01B 29/02
Метки: бесстыкового, кривых, плетей, пути, рельсовых, укладки, участках
...по предлагаемому способу следующая; выгружают рельсовые плети 1 в кривых участках пути соответствующим образом; удаляют сменяемые рельсы 2; определяют проектное положение концов рельсоных плетей 1, соответствующее их месту расположения при температуре закрепления на постоянный режим эксплуатации; надвигают на подрельсовое основание концы рельсовых плетей 1 в проектное положение и закрепляют их от продольных перемещений;надвигают на подрельсоное основаниеи закрепляют средние части рельсовыхплетей.П р и м е р, Требуется уложитьрельсовые плети в кривом участке путирадиусом 800 м. Проектная длина наружной рельсовой плети при температуре рельсов с= 20 С равна 600 м,внутренней - 598 м 80 см. Рельсовыеплети должны быть закреплены на...
Железнодорожный путь на криволинейном участке
Номер патента: 1414908
Опубликовано: 07.08.1988
МПК: E01B 2/00
Метки: железнодорожный, криволинейном, путь, участке
...возвышение Ь поверхностикатания рельса 3 над поверхностью катания рельса.4, 1 ил.1414908 эован рельс более тяжелого, чем рельс4, типа. Составитель Б, КуэьменТехред Л.Олийнык Редактор А, Козориз Корректор Л. Пилипенког Заказ 3852/29 Тираж 517 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г, ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к железнодорожному транспорту, в частности к конструкции верхнего строения нутн.Цель изобретения - увеличение срока службы пути и уменьшение расхода5 балласта на участке круговой кривой.На чертеже показан путь, поперечНый разрез.10 Путь включает балластное основание 1 с уложенной на...
Предыдущий патент: Клей-расплав
Следующий патент: Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Случайный патент: Раздаточная коробка фронтального погрузчика