C23C 14/52 — средства наблюдения за процессом покрытия

Номер патента: 110532

Опубликовано: 01.01.1957

Авторы: Калябина, Рукман, Юхвидин

МПК: C23C 14/48, C23C 14/52

Метки: массы, пленки, распределения

...распределения массы пленки по . ее координатам с помощью ионной пушки и системы отклонения ионного луча по авт, св,109057, отличающийся тем, что, с целью получения пленки с требуемой переменной толщиной и конфигурацией, регулируют ин 1 ч исивность ионного луча по заданному функциональному закону с по. мощью известного модулятора плотности тока, подключаемого к ионной пушке, а развертку ионного луча производят нс по линейному, а по соот;ветственно заданному закону, изменяя потенциалы отклоняющей системы с помощью подключаемого к ней известного устройства.Отв. редактор И. В. Макаровтандартгиз. Поди. к печ. 22/11 г 1958 г. Объем 0,125 п. л. Тираж 600. Цена 25 коТипография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР...

Номер патента: 390201

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумной, защиты, стекол, установки

...при уста стекол содертакое я протельно ия почение тем, вана дачи является увели Это достигается краном смонтиро туцером для п Предметтройство для занонки от загрязс отверстием, ою увеличения сри экраном смоная штуцером дл изо бр ете ни усткол вакуумнои держащиее экеся тем, что, с бы, между стек- камера, снабинертного газа. щиты ст ения, с личающе ка служ тирована я подачи уста ран 20 цельлом жен ти отве вак экр я ш ом цеИзобретение относится к области нния покрытий в вакууме и может бытменено для защиты стекол вакуумныхновок от загрязнения.Известно устройство для защитывакуумной установки от загрязнения,жащее экран с отверстием. Однакоустройство не предотвращает попаданидукта испарения на стекло, что отрицасказывается на времени...

Номер патента: 392166

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Минайчев, Пупко

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумных, камер, окно, смотровое

...1 с фланцем 2 соединены со степкой вакуумной камеры 5 посредством герметичного элемента - силь- фона б. Один конец этого сильфопа приварен 2.к фланцу, а другой - к: вакуумной камере 5,на стенке которой неподвижно укреплен экран 7, имеющий форму усеченного конуса сотверстием а. Экран предохраняет основную5 площадь смотрового стекла от загрязненияиспаряющимися в . вакуумной камере материалами. Загрязнение. смотрового стекла происходит лишь на его участке, расположенномнапротив отверстия в экране. С фланцем 210 связан механизм 8 перемещения смотровогостекла 1.Устройство работает следующим образом.По мере загрязнения участка смотровогостекла, расположенного напротив отверстия,15 стекло с фланцем перемещают механизмом 8.Таким образом...

Номер патента: 397566

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Авторы, Ночный, Семенов, Сумароков

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумных, окно, смотровое, стробоскопическое, установок

...(около 90 по окружности диска) или одна прорезь (около 180), На экране 2, кроме того, сделаны две узкие прорези шириной порядка 1 мм, смещенные относи тельно осей широких прорезей на угол 90(180, 60 и т. д.). Экран 1 приводится во вращение непосредственно электродвигателем 3, а экрану 2 вращение передается от первого через специальные упоры 4. На экра не 1 имеется два упора, смещенные один относительно другого на 90. На экране 2 - один упор, расположенный между упорами экрана 1. Помимо экранов в виде дисков, могут быть использованы и экраны другои фор мы, например цилиндрические.При наблюдении нагретых до высокой температуры испаряющихся объектов экраны 1, 2 вращают в направлении, при котором совмещаются широкие прорези экрана 1 и...

Номер патента: 382771

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Абеле, Екимов

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумной, камеры, окно, смотровое

...кинетической энергии и прямолиненным движением, направляется в 1 О сторону смотрового окна. Достигнув поверхнасти конфузора 5, имеющего температуру меньше критической температуры конденсации паров испаряемого материала, последние конденсируются на наружной лавер хности 15 конфузора 5. Молекулы пара, попавшие в полость конфузора 5, конденсируются на его, внутренней поверхности, Часть молекулярного потока, не встретив препятствий на своем пути, проникает через узкое сечение конфузо О,ра 5 в камеру охлаждения 9.Наличие в корпусе 1 устройства камеры 9охлаждения позволяет создавать в ней ооласть с низкой температурой. В этой области молекулы испаряехтого материала теплоизлу чением теряют значительную часть своейэнергии и конденсируются на...

Номер патента: 420707

Опубликовано: 25.03.1974

Автор: Тютюннаков

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумных, запыления, защиты, ка, мер, окон, смотровых

...фазы.Это достигается тем, что устройство снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощью пористых прокладок.На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства.Устройство состоит из встроенного в стенку камеры 1 тубуса 2 со смотровым стеклом 3 и штуцером 4 для подачи газа, прозрачного диска 5, установлешого в тубусе 2 с помощьюпористых прокладок 6. Стекло 3 укрепленов тубусе с помощью прокладок 7 и фланца 8.Торец тубуса 2 со стороны реакционной ка 5 меры 1 выполнен так, что образует посадочное место для тугоплавкого,прозрачного диска 5. Диск 5 расположен между пористымипрокладками 6 и закреплен с помощью прижимной втулки 9 и гайки 10.10 Прокладки 7 выполнены из вакуумной резины, фторопласта, прокладки б -...

Номер патента: 433251

Опубликовано: 25.06.1974

Авторы: Белинский, Изобретени, Миронов

МПК: C23C 14/52

Метки: 433251

...с приближением рассматриваемой точки к тубусу 1. Перед 25входом в цилиндр 5 частиц вещества устанавливается шелевой катод 3 и анод 4,создающие электронный поток, и частицы,входящие в цилиндр 5, заряжаются, В точку Б в пространство между тубусом 1 и 30цилиндром 5 вводят ион вещества со ско:ростью ЧС , направленную под некоторым углом И к продольной оси цилиндра 5 ( Е - Е ). При отсутствии электрического поля конденсатора ион, двигаясь 35в направлении приложенной к нему скорости, ударяется в точке В в тубус 1, еслиЧ параллельно оси цилиндра 5, ион ударяется в смотровое стекло 2, Однако приналичии поля этого не происходит, так как 40на ион в точке Б со стороны поля действует электрическая сила,ко,РОК Йр45В(о (2) направленная по радиусу...

Номер патента: 1151592

Опубликовано: 23.04.1985

Авторы: Белов, Коваленко, Майборода, Плышевский, Устименко

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумного, испарителя, нагреве, нанесения, пара, плотности, покрытий, процессе, током, электрическим

...выделением переменной составляющей не позволяет избавиться от помех,поскольку последняя также имеетпеременный компонент.Целью изобретения является повышение достоверности контроля путемустранения влияния собственногосвечения пара,Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу контроляплотности пара в процессе вакуумногонанесения покрытий при нагреве испарителя электрическим током, основанном на облучении потока пара электромагнитным излучением видимого илиультрафиолетового диапазона, измерении интенсивности прошедшего черезпар излучения и сравнении измеренного значения с эталонным, в процессеоблучения потока пара электрическийток, нагревающий испаритель импульсномодулируют, а интенсивность прошедшего излучения измеряют в...

Номер патента: 1483980

Опубликовано: 27.12.1995

Авторы: Врублевский, Самаль

МПК: C23C 14/52

Метки: вакуумной, запыления, защиты, камеры, окна, смотрового

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ СМОТРОВОГО ОКНА ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ ОТ ЗАПЫЛЕНИЯ, содержащее экран с отверстием, жестко связанный с вакуумной камерой и смотровым стеклом, отличающееся тем, что, с целью увеличения срока службы смотрового окна при максимальном постоянном угле обзора, экран выполнен в виде полусферы с диаметром, равным диаметру смотрового стекла, и снабжен дополнительными отверстиями, соосно которым установлены цилиндрические трубки с внутренним диаметром, равным диаметру отверстий в экране, причем высота трубки h (мм) и ее внутренний диаметр d (мм) выбраны из выражения h:d=(3.1): 1, внутренний диаметр трубки d (мм) и диаметр смотрового стекла D (мм) выбраны из выражения d:D=(2.7):150, а расстояние S (мм) между центрами соседних трубок...