Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1300976
Автор: Левченко
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий формовку заготовки, ее обжиг, измельчение, повторные операции формовки и обжига и обработку заготовки током разряда в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса, обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65 
10-1 Па.
Описание
Целью изобретения является повышение производительности изготовления мишени путем ускорения структурных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током разряда.
Во время обработки мишени током разряда в ее объеме между поверхностью распыления и поверхностью, контактирующей с катодом, происходит постепенное изменение свойств сегнетоэлектрического материала, а именно повышение проводимости вследствие появления вакансий в подрешетке кислорода и свободных электронов, образующих f-центры, что приводит к заметному изменению цвета сегнетокерамики до серо-черного с n-типом проводимости. При обработке объема заготовки мишени при давлении не более 6,65
10-1 Па значительно ускоряется процесс появления вакансий в подрешетке кислорода и свободных электронов, образующих f-центры, что и приводит к сокращению времени развития области повышенной проводимости. Дальнейшее уменьшение давления при обработке объема мишени (например, более, чем в 100 раз) практически не сокращает время обработки, но увеличивает затраты, связанные с получением более глубокого вакуума. Обработка в вакууме при давлении более чем 6,65 10-1 Па приводит к увеличению времени обработки до 9-12 ч, снижая тем самым производительность. Процесс же обработки при давлении не более 6,65 10-1 Па составляет 30-40 мин.П р и м е р. Проводилось изготовление мишеней из керамического титаната бария. Порошок титаната бария с предварительно добавленной связкой (поливиниловый спирт) формовали при давлении 49 х 106 Па. Отформованные заготовки обжигали при температуре однократного спекания керамики титаната бария 1672 К в течение 2 ч. Обожженные заготовки дробили прессом, а затем дальнейшее измельчение проводили в агатовой мельнице. Из полученного порошка повторно формовали заготовки мишеней размером 80 х 40 х 10 мм и обжигали при температуре 1533 К в течение 2 ч. Затем обожженные заготовки помещали в вакуумную камеру и, установив давление не более 6,65
10-1 Па, а также выполнив разогрев мишени до температуры, достаточной для зажигания разряда, обрабатывали объем мишеней разрядным током 1,5 А до его стабилизации. Поддержание разряда обеспечивали индукцией арочного магнитного поля 560 Гс (измерена на высоте 10 мм над мишенью), площадь кольцевой зоны эрозии составляла 18 см2, следовательно, плотность разрядного тока составляет 83 мА/см2. Стабилизация тока разряда наступала через 30-40 мин от начала обработки, после чего мишени были готовы к использованию.Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и изготовления сегнетокерамических мишеней, распыляемых ионной бомбардировкой в вакууме. Цель изобретения повышение производительности изготовления мишени достигается путем ускорения структурных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током разряда. Для этого обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65
10-1 Па. Процесс обработки при указанном давлении не превышают 30-40 мин. При практической реализации способа стабилизации тока разряда наступала через 30-40 мин от начала обработки, после чего мишени были готовы к использованию. Заявка
3841424/21, 23.11.1984
Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции
Левченко Г. Т
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Метки: мишени, сегнетокерамической
Опубликовано: 10.11.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1300976-sposob-izgotovleniya-segnetokeramicheskojj-misheni.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления сегнетокерамической мишени</a>
Способ обработки поверхностей диэлектрических мишеней в вакууме
Номер патента: 1580852
Опубликовано: 09.06.1995
Авторы: Зыков, Качанов, Марущенко, Фареник, Юнаков
МПК: C23C 14/00
Метки: вакууме, диэлектрических, мишеней, поверхностей
СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ В ВАКУУМЕ, включающий бомбардировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода-нейтрализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода-нейтрализатора подают положительный потенциал (B), выбираемый из выражения5 kТ e < E; < U,где k постоянная...
Устройство для непрерывной подачи порошкообразного или пастообразного материала из зоны загрузки с низким давлением в зону разгрузки с более высоким давлением
Номер патента: 492068
Опубликовано: 15.11.1975
МПК: B65G 53/40
Метки: более, высоким, давлением, загрузки, зону, зоны, непрерывной, низким, пастообразного, подачи, порошкообразного, разгрузки
...уплотняющими кольцами 9 из износостойкого материала.При огибании ведущего и ведомого колеспоршни, расположенные на цепи, входят врадиальные выемки, расположенные по периферии указанных колес,Полость между трубами 2 и опорами 3 сообщается трубопроводом 10 через регулирующее устройство 11 с источником сжатого воздуха, в котором шарнирная цепь с поршнямндвижется назад вхолостую, а полость эластичной трубы 2 сооощяется трубопроводом12 с зоной разгрузки и истогншком сжатоговоздуха, обеспечивающим создание давленияв зоне загрузки.По бокам ведущего колеса установленыдиски, между которыми расположены распорпые элементы 13, обеспечивающие размещение цепи с поршнями между указанными дисками в момент огибания колеса.Ведущее и ведомое колеса имеют...
Устройство для перемещения заготовки в рабочую зону вакуумного прокатного стана
Номер патента: 1722748
Опубликовано: 30.03.1992
Авторы: Дзуцов, Дулаев, Зарапин, Пагиев, Фомин, Чиченев
МПК: B23K 20/04
Метки: вакуумного, заготовки, зону, перемещения, прокатного, рабочую, стана
...работает следующим образом.Сердечник вводится из атмосферы (давление . 10 Па) в вакуумную камеру (давление 10 Па) через шлюз 1, а лента - через шлюз 2. В деформирующем устройстве 4 лента формуется вокруг сердечника в виде трубки, кромки которой свариваются в сварочном устройстве 6, с помощью электронно-лучевой сварки, Биметаллическая заготовка выводится из вакуумного устройства через шлюз 7. В шлюзе 1 сердечник последовательно проходит через первую группу фильер, камеру низкого вакуума (давление 10 Па), вторую группу фильер, камеру среднего вакуума (давление 10 Па)з и третью группу фильер. При этом . число фильер в группе и их диаметры уменьшаются в направлении от атмосферы к вакуумной камере. Фильеры 24 выполнены с возможностью из...
Способ динамической градуировки пьезоэлектрических датчиков давления
Номер патента: 1753314
Опубликовано: 07.08.1992
Авторы: Жуков, Каргапольцев, Коновалов, Симанчук, Чахлов
МПК: G01L 27/00
Метки: градуировки, давления, датчиков, динамической, пьезоэлектрических
...- коэффициент вторичной электронной эмиссии, который является известной величиной и зависит от свойств и структуры материала, знергйй первичных электронов и угла падения первичного пучка заряженных частиц на поверхность рабочей среды. Эквивалентная емкость Сэкв с достаточ. ной точностью определяется известным резонансным способом в сочетании с методом замещения.Расчет давления в объеме рабочей среды, создаваемого одной частицей, выполняют согласно выражения где Г - постоянная Грюнайзена:х - координата вдоль оси пучка;1 - текущее время;Д (хЛ) - величина поглощенной дозы (плотность поглощенной энергии, создаваемой одной частицей).В волновой системе координат (в плоской акустической волне) Р(ХА) = Р(х - Яе 1) = ГД (Х - Яе 1). Величина Д(х)...
Многослойная заготовка для корпусов сосудов высокого давления
Номер патента: 698359
Опубликовано: 15.09.1983
Авторы: Батаногов, Зисельман, Корф
МПК: F17C 13/00
Метки: высокого, давления, заготовка, корпусов, многослойная, сосудов
...спиральную навивку из 10тонколистовой рулонной стали и наружный кожух, причем торцы заготовкиимеют разделку для последующей .наплавки и сварки Ц .у известной заготовки разделка 15"торцов для наплавки и сварки выполнена со скосом, обращенным в сторону наружного кожуха, при этом торцывнутренней обечайки,слоев спиральнойнамотки и наружного кожуха лежат водной конической"плоскости.При наплавке торцов такой заготовки кромка наружного кожуха проплавляется неполностью, неизбежно происходит яависание наплавляемого металла на наружную поверхность кожуха. Это снижает качество заготовки,требует дополнительного ремонта наплавки, контроля качества, а такжеувеличивает расход сварочных материалов.Целью изобретения является уменьшение...
Предыдущий патент: Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Следующий патент: Способ получения огнестойкого органического стекла
Случайный патент: Способ стабилизации метилметакрилата