Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1300976
Автор: Левченко
Формула
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий формовку заготовки, ее обжиг, измельчение, повторные операции формовки и обжига и обработку заготовки током разряда в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса, обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65 10-1 Па.
Описание
Целью изобретения является повышение производительности изготовления мишени путем ускорения структурных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током разряда.
Во время обработки мишени током разряда в ее объеме между поверхностью распыления и поверхностью, контактирующей с катодом, происходит постепенное изменение свойств сегнетоэлектрического материала, а именно повышение проводимости вследствие появления вакансий в подрешетке кислорода и свободных электронов, образующих f-центры, что приводит к заметному изменению цвета сегнетокерамики до серо-черного с n-типом проводимости. При обработке объема заготовки мишени при давлении не более 6,65



П р и м е р. Проводилось изготовление мишеней из керамического титаната бария. Порошок титаната бария с предварительно добавленной связкой (поливиниловый спирт) формовали при давлении 49 х 106 Па. Отформованные заготовки обжигали при температуре однократного спекания керамики титаната бария 1672 К в течение 2 ч. Обожженные заготовки дробили прессом, а затем дальнейшее измельчение проводили в агатовой мельнице. Из полученного порошка повторно формовали заготовки мишеней размером 80 х 40 х 10 мм и обжигали при температуре 1533 К в течение 2 ч. Затем обожженные заготовки помещали в вакуумную камеру и, установив давление не более 6,65

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и изготовления сегнетокерамических мишеней, распыляемых ионной бомбардировкой в вакууме. Цель изобретения повышение производительности изготовления мишени достигается путем ускорения структурных преобразований материала заготовки в процессе обработки ее током разряда. Для этого обработку заготовки током разряда в вакууме проводят при давлении не более 6,65

Заявка
3841424/21, 23.11.1984
Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции
Левченко Г. Т
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Метки: мишени, сегнетокерамической
Опубликовано: 10.11.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1300976-sposob-izgotovleniya-segnetokeramicheskojj-misheni.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления сегнетокерамической мишени</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Следующий патент: Способ получения огнестойкого органического стекла
Случайный патент: Башня с ннжней выгрузкой