Архив за 2012 год

Аппарат для высокотемпературного электролиза воды

Загрузка...

Номер патента: 1840818

Опубликовано: 27.01.2012

Авторы: Кузин, Перфильев, Демин, Липилин, Шаров, Серебряков, Куцепин

МПК: C25B 1/02

Метки: высокотемпературного, воды, аппарат, электролиза

Аппарат для высокотемпературного электролиза воды, включающий ряд электролизных ячеек с твердым электролитом, и источник тепла, отличающийся тем, что, с целью снижения объемно-весовых показателей и увеличения производительности, аппарат выполнен в виде концентрически размещенных труб, причем источник тепла помещен в центральной трубе и выполнен в виде радиоизотопного источника, а между центральной трубой и периферийными трубами помещены электролизные ячейки, имеющие общие патрубки вывода водорода и ввода электролита, соединенные соответственно с периферийными трубами, выполненными в виде змеевиков, имеющих общую поверхность контакта.

Высокотемпературная батарея с твердым электролитом, способ ее изготовления и используемое при этом вещество электроизоляционного слоя

Загрузка...

Номер патента: 1840819

Опубликовано: 27.01.2012

Авторы: Липилин, Демин

МПК: H01M 8/12

Метки: твердым, слоя, батарея, электроизоляционного, вещество, этом, высокотемпературная, используемое, электролитом

1. Высокотемпературная батарея с твердым электролитом с последовательно соединенными элементами, выполненным в виде волнообразных слоев (гофров) электролита и электродов, соединенных разделительной перегородкой, реакционные полости элементов коммутируются газовым коллектором, отличающаяся тем, что, с целью улучшения удельных характеристик, упрощения конструкции и сборки, каждый элемент выполнен в виде прямоугольного блока-пластины с прямоугольными гофрами, вдоль одной из сторон которого, перпендикулярной гофрам, на торцовой поверхности имеются отверстия газового коллектора одного из реагентов, газовые каналы другого реагента сообщаются с внешним объемом батареи через отверстия в боковой стенке, причем смежные элементы повернуты...

Установка для регенерации газовой атмосферы обитаемых гермообъектов и способ регенерации газовой атмосферы

Загрузка...

Номер патента: 1840820

Опубликовано: 27.01.2012

Авторы: Кузин, Липилин, Демин

МПК: C25B 9/00, C25B 1/00

Метки: обитаемых, атмосферы, регенерации, гермообъектов, газовой

1. Установка для регенерации газовой атмосферы обитаемых гермообъектов, включающая испаритель, конденсатор, нагреватель и последовательно соединенные высокотемпературные электролизеры с твердым электролитом на основе диоксида циркония с газодиффузионными электродами и патрубками ввода и вывода газов, отличающаяся тем, что, с целью увеличения срока ее службы, установка снабжена газореверсивным устройством, соединенным с испарителем, конденсатором и патрубками ввода и вывода газов в электролизерах, и размещена вне зоны конденсации воды.2. Способ регенерации газовой атмосферы обитаемых гермообъектов путем электролиза через последовательно соединенные электролизеры, с твердым электролитом на основе двуокиси циркония, отличающийся...

Высокотемпературная батарея топливных элементов

Загрузка...

Номер патента: 1840821

Опубликовано: 27.02.2012

Автор: Липилин

МПК: H01M 8/00

Метки: элементов, батарея, высокотемпературная, топливных

1. Высокотемпературная батарея топливных элементов с твердым электролитом из элементов, последовательно соединенных по току и газу с центральной газоподводящей трубкой с отверстиями, отличающаяся тем, что, с целью улучшения удельных характеристик, твердый электролит выполнен в виде двухсторонней спирали, например Архимеда, в витки которой вставлены плоские спирали-токоотводы, закрепленные с одной стороны электропроводными материалами, свободной же стороной опирающиеся на электропроводящую пластину, образующую с токоподводами каналы продвижения газов, а с твердым электролитом смежных элементов в центральной и периферической части соединенную герметично. 2. Батарея по п.1, отличающаяся тем, что, с целью равномерной подачи газа, в...

Высокотемпературная батарея

Загрузка...

Номер патента: 1840822

Опубликовано: 27.02.2012

Авторы: Дёмин, Липилин

МПК: H01M 8/12

Метки: батарея, высокотемпературная

Высокотемпературная батарея из элементов с твердыми электролитом в виде двухсторонней спирали Архимеда, соединенных последовательно по газу и току через электронопроводящие пластины, отличающаяся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления, уменьшения аэродинамического сопротивления, повышения надежности и расширения области применения с одновременным снижением металлоемкости, элемент имеет четыре отверстия, по два в центральной и периферийной частях смежных витков спирали, а пластины - два отверстия, которые совмещают при сборке с двумя рабочими отверстиями элемента, при этом пластина перекрывает два нерабочих отверстия.

Силовой полупроводниковый прибор

Загрузка...

Номер патента: 1485963

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Мартыненко, Чумаков, Авксентьев

МПК: H01L 29/74

Метки: полупроводниковый, прибор, силовой

Силовой полупроводниковый прибор, выполненный на основе кремниевой четырехслойной p-n-p-n-структуры, содержащий основную и вспомогательную структуры и разветвленный управляющий электрод основной структуры, при этом край эмиттера основной структуры зашунтирован по внутреннему периметру посредством дискретных поперечных шунтов базовых областей, отличающийся тем, что, с целью снижения перегрузки вспомогательной структуры и улучшения динамических параметров включения за счет снижения тока управления основной структуры, под управляющий электрод основной структуры введены выступающие из-под него дополнительные участки одноименного с эмиттером типа проводимости, отделенные от эмиттера и друг от...

Способ металлизации магнийсодержащих железорудных материалов во вращающихся печах

Загрузка...

Номер патента: 1489189

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Сапожникова, Горбачев, Ченцов, Киселев, Дмитриев, Ватолин, Кобелев, Леонтьев, Шариков, Шаврин

МПК: C21B 13/08

Метки: металлизации, железорудных, печах, магнийсодержащих, вращающихся

1. Способ металлизации магнийсодержащих железорудных материалов во вращающихся печах, включающий предварительный окислительный обжиг, восстановление совместно с восстановителем, десульфуратором и хвостами магнитной сепарации, охлаждение и магнитную сепарацию, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной производительности и качества металлизованного продукта и снижения тепловых затрат, перед восстановлением флюсотопливную смесь предварительно нагревают до 600 - 1000°С, смешивают с окисленным железорудным материалом крупностью более 5 мм и восстанавливают при 1200 - 1500°С. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что окислительному обжигу подвергают материал крупностью...

Способ переработки оловосодержащих хлоридов

Загрузка...

Номер патента: 671409

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Корюков, Дьяков, Меринов, Евдокимов, Семенов, Селиванов, Дергачев, Топтыгина

МПК: C22B 3/10, C22B 25/00

Метки: хлоридов, оловосодержащих, переработки

Способ переработки оловосодержащих хлоридов, включающий выщелачивание солянокислым раствором, нейтрализацию раствора и отделение оловянного кека от раствора, отличающийся тем, что, с целью получения оловянного концентрата, свободного от мышьяка и железа, выщелачивание ведут солянокислым раствором с концентрацией 35-40 г/л HCl, затем осаждают сульфиды цветных металлов при конечном значении pH 0,5-1, отделяют сульфидный кек от раствора хлоридов железа, выщелачивают кек солянокислым раствором с концентрацией 200-300 г/л HCl и нейтрализацией раствора осаждают коллективный оловянный концентрат.

Способ переработки оловянных концентратов, содержащих тантал

Загрузка...

Номер патента: 851988

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Дьяков, Галеев, Черешнев, Карташова

МПК: C22B 25/02

Метки: тантал, оловянных, содержащих, концентратов, переработки

1. Способ переработки оловянных концентратов, содержащих тантал, включающий электроплавку концентратов в смеси с восстановителем и основным флюсом, отличающийся тем, что, с целью повышения концентрации тантала в шлаке, концентраты смешивают с основным флюсом до соотношения в шлаке суммы двуокиси кремния, двуокиси титана, трехокиси вольфрама и пятиокисей тантала и ниобия к сумме окиси кальция и железа, равного 1,0-1,2, и плавят в режиме накопления шлака, а затем перед выпуском шлака увеличивают расход восстановителя и основного флюса до соотношения суммы двуокиси кремния, двуокиси титана, трехокиси вольфрама и пятиокисей тантала и ниобия к сумме окиси кальция и железа, равного...

Способ переработки шламов оловосодержащего сырья

Загрузка...

Номер патента: 672915

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Дьяков, Алексеева, Городецкий, Тихомиров, Кулиева

МПК: C22B 25/06

Метки: оловосодержащего, шламов, переработки, сырья

Способ переработки шламов оловосодержащего сырья в виде пульпы, включающий введение поверхностно-активного вещества и распылительную сушку, отличающийся тем, что, с целью снижения потерь олова и затрат на переработку, шламы смешивают с пульпой камерного продукта флотации в соотношении 1:(0,1-0,8).

Способ рафинирования сурьмы от примесей

Загрузка...

Номер патента: 989884

Опубликовано: 10.03.2012

Автор: Дьяков

МПК: C22B 30/02

Метки: сурьмы, рафинирования, примесей

1. Способ рафинирования сурьмы от примесей окислением в присутствии щелочного шлака с отделением его от металла, отличающийся тем, что, с целью концентрирования олова в шлак, пригодный для извлечения олова из него, после окисления сурьмы в присутствии щелочного шлака и отделения его от металла, окисление ведут в присутствии кислого шлака.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при окислении сурьмы в присутствии щелочного шлака в последний добавляют известь.3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что при окислении сурьмы в присутствии кислого шлака в последний добавляют одно из веществ, выбранное из группы, содержащей двуокись кремния, двуокись титана, пятиокись фосфора,...

Способ переработки вольфрамсодержащих оловянных концентратов

Загрузка...

Номер патента: 676009

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Роднин, Семенов, Макаров, Галеев, Дьяков, Шемякин

МПК: C22B 4/00, C22B 34/36

Метки: концентратов, переработки, оловянных, вольфрамсодержащих

Способ переработки вольфрамсодержащих оловянных концентратов, включающий шихтование исходного концентрата с углеродосодержащим восстановителем, электроплавку и последующее фьюмингование шлака, отличающийся тем, что, с целью повышения извлечения вольфрама, шихтование ведут с добавкой в шихту полупродукта магнитной сепарации вольфрамсодержащего оловянного концентрата при поддержании в шихте соотношения - окиси железа к трехокиси вольфрама 0,6-2 и окиси кальция к окиси железа 0,5÷1,3, а плавку ведут на железосодержащем шлаковом расплаве с соотношением суммы окислов кремния и вольфрама к сумме окислов кальция, железа и олова 0,7÷1,2.

Способ переработки оловосодержащего сырья

Загрузка...

Номер патента: 563822

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Дьяков, Березинский, Сизых, Звонкова

МПК: C22B 25/06

Метки: переработки, оловосодержащего, сырья

Способ переработки оловосодержащего сырья в виде пульпы, включающий обработку его едкой щелочью, отличающийся тем, что, с целью снижения потерь олова при переработке плавкой оловосодержащих шламов, в пульпу вводят поверхностно-активное вещество и подвергают ее распылительной сушке.

Магниторезистор

Загрузка...

Номер патента: 1085460

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Тюрнев, Беляев

МПК: H01L 43/08

Метки: магниторезистор

Магниторезистор, выполненный в виде полупроводниковой пластины с растром, состоящим из металлических полосок, расположенной на концентраторе магнитного поля, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности в области слабых магнитных полей, концентратор выполнен в виде пленки из магнитомягкого материала с высокой намагниченностью насыщения, находящейся в однодоменном состоянии, при этом ось легкого намагничивания концентратора направлена под острым углом к продольной оси полосок.

Способ переработки отходов индий-никелевых сплавов

Загрузка...

Номер патента: 999631

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Корюков, Барышникова, Яковлев, Бельский, Константинова, Селиванов, Дьяков, Звягин

МПК: C22B 7/00, C22B 58/00

Метки: индий-никелевых, отходов, сплавов, переработки

Способ переработки отходов индий-никелевых сплавов, включающий расплавление, фильтрацию, выкручивание в присутствии алюминия с получением чернового индия и анодное рафинирование его в водном растворе, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса, расплавление проводят одновременно с фильтрацией при температуре 156-400°С и давлении 1,1-5 атм с последующим выкручиванием непосредственно расплава.

Способ выплавки олова из оловосодержащих материалов

Загрузка...

Номер патента: 896920

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Двуреченская, Сутурин, Корюков, Новопашин, Семенов, Дьяков, Швед, Климантов, Черкасский, Кувшинов, Дугельный

МПК: C22B 25/02

Метки: выплавки, оловосодержащих, олова

Способ выплавки олова из оловосодержащих материалов, включающий электроплавку шихты, содержащей флюсы и восстановитель, отделение металла от шлака и рафинирование металла от железа и мышьяка центробежной фильтрацией с получением рафинированного олова и оборотных съемов, отливающийся тем, что, с целью снижения выхода олова в оборотные съемы, оловосодержащие материалы смешивают с оборотными съемами, электропечными пылями до отношения в шихте железа к мышьяку 2÷10 и загружают на расплавленный шлак, содержащий 4÷10% железа в восстановленной до закиси форме при отношении олова к сумме примесей железа и мышьяка в шихте не менее 8,0.

Способ рафинирования цинка от железа

Загрузка...

Номер патента: 1005480

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Дьяков, Сутурин

МПК: C22B 19/32

Метки: рафинирования, железа, цинка

1. Способ рафинирования цинка от железа, включающий расплавление его, вмешивание в расплав алюминия и съем дроссов, отличающийся тем, что, с целью снижения выхода цинка в дроссы, вмешивание алюминия в расплав ведут до содержания его 3-9%, расплав подвергают центробежной фильтрации при 690-420°С, затем обрабатывают карналлитовым флюсом.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что фильтрацию ведут сначала при 690-500°С, а затем, после снижения содержания алюминия, при 420-460°С. 3. Способ по пп.1, 2, отличающийся тем, что первую стадию фильтрации ведут при содержании алюминия, на 1-4% превышающем содержание железа, а вторую - при отношении содержания алюминия к...

Устройство для рафинирования расплавленных металлов

Загрузка...

Номер патента: 902473

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Дьяков, Корюков, Токарев, Дугельный, Соловьев, Сутурин, Степанов, Селиванов

МПК: C22B 9/02

Метки: рафинирования, металлов, расплавленных

Устройство для рафинирования расплавленных металлов, содержащее обогреваемую ванну, фильтр, погруженный в ванну, металлопровод, внутри которого установлены поперечные перегородки, а снаружи - С-образные магнитопроводы, и источник постоянного тока, соединенный токоподводами с ванной и металлопроводом, отличающееся тем, что, с целью снижения выхода металла в съемы, в металлопроводе выполнены основной и отводящий каналы, направленные в одной плоскости вверх под острым углом к оси металлопровода, а магнитопроводы установлены под углом 30-60° к оси металлопровода.

Способ рафинирования олова от примесей мышьяка, железа и цинка

Загрузка...

Номер патента: 647942

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Сутурин, Дьяков, Корюков, Двуреченская, Лелюк

МПК: C22B 25/08

Метки: мышьяка, железа, цинка, олова, примесей, рафинирования

Способ рафинирования олова от примесей мышьяка, железа и цинка, включающий отделение твердых примесей фильтрацией при температурах 260-340°С, отличающийся тем, что, с целью снижения выхода олова в съемы, перед фильтрацией в металл вмешивают железооловянный сплав, а затем металл обрабатывают измельченным сульфидом железа при температуре 350-450°С.

Способ переработки оловосодержащих материалов

Загрузка...

Номер патента: 653923

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Кожнова, Корюков, Сутурин, Дьяков

МПК: C22B 25/02

Метки: оловосодержащих, переработки

Способ переработки оловосодержащих материалов электроплавкой их в смеси с коксиком и флюсом в присутствии материала, содержащего окись марганца, отличающийся тем, что, с целью повышения степени извлечения олова, в качестве материала, содержащего окись марганца, используют съемы рафинирования олова марганцем.

Оксидный материал для последовательного соединения топливных элементов высокотемпературной топливной батареи

Загрузка...

Номер патента: 1351474

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Земцов, Пальгуев, Неуймин, Гильдерман

МПК: H01M 4/66

Метки: топливной, высокотемпературной, соединения, оксидный, батареи, элементов, последовательного, материал, топливных

Оксидный материал для последовательного соединения топливных элементов высокотемпературной топливной батареи, содержащей твердый электролит, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности соединений в восстановительной и окислительной среде, он содержит окислы с электронной проводимостью в виде двуокиси титана (TiO2) и пятиокиси ниобия (Nb2O 5), мол.% соответственно 85-99 и 1-15.

Способ переработки материалов, содержащих олово, индий и цинк

Загрузка...

Номер патента: 609336

Опубликовано: 10.03.2012

Авторы: Дьяков, Корюкова, Семенов

МПК: C22B 25/02

Метки: переработки, олово, содержащих, индий, цинк

1. Способ переработки материалов, содержащих олово, индий и цинк, включающий их восстановительную плавку с получением индийсодержащих возгонов и восстановительную плавку возгонов, отличающийся тем, что, с целью повышения извлечения индия в черновое олово и снижения потерь олова, исходные материалы смешивают с хлорсодержащим реагентом, взятым в соотношении хлор-индий как (6-22):1, и плавят на шлаке с кислотностью 1,5-2,8, затем полученные возгоны очищают от хлора и цинка известным способом, а восстановительную плавку возгонов проводят на шлаке с кислотностью 0,6-1,4. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве хлорсодержащего реагента используют оловосодержащую пыль с...

Способ создания омических контактов к кремнию

Загрузка...

Номер патента: 795321

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Кунашкевич, Снитовский, Портнов

МПК: H01L 21/28, H01L 21/285

Метки: кремнию, создания, омических, контактов

Способ создания омических контактов к кремнию р-типа проводимости, включающий нанесение молибдена на кремниевую подложку катодным распылением, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности омического контакта, катодное распыление молибдена проводят путем создания в рабочей камере вакуума (1,3-6,7)10 -4 Па, введения фторосодержащего газа, BF3, до создания вакуума (2,7-3,2)10-2 Па, зажигания плазмы и последующей подачи высокого напряжения на мишень 2000-3000 В.

Способ осаждения пленок поликристаллического кремния на полупроводниковую подложку

Загрузка...

Номер патента: 1484193

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Лесникова, Красницкий, Турцевич, Крищенко, Шкуть

МПК: H01L 21/205

Метки: кремния, пленок, поликристаллического, осаждения, полупроводниковую, подложку

Способ осаждения пленок поликристаллического кремния на полупроводниковую подложку, включающий осаждение подслоя поликристаллического кремния толщиной 40,0-100,0 нм разложением моносилана при температуре 600-650°С, прекращение подачи моносилана, проведение отжига в течение 5-20 мин при температуре осаждения и доращивание пленки до требуемой толщины при температуре осаждения подслоя, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пленок путем повышения их термостабильности и увеличения дисперсности, доращивание пленки до требуемой толщины проводят послойно с толщиной каждого отдельного слоя, составляющей 20-30% от толщины доращиваемой пленки, последовательно чередуя операции...

Способ создания омических контактов к кремнию

Загрузка...

Номер патента: 1709864

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Баранов, Сенько, Снитовский, Воробьев

МПК: H01L 21/28

Метки: создания, кремнию, контактов, омических

Способ создания омических контактов к кремнию p-типа проводимости, включающий катодное распыление молибдена на кремниевую подложку путем создания в рабочей камере предварительного вакуума (1,3-6,7)10-4 Па, введения фторсодержащего газа BF 3, зажигания плазмы и последующей подачи высокого напряжения на мишень 2000-3000 В, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества омических контактов, в рабочую камеру дополнительно к BF3 вводят четырехфтористый углерод и водород при следующем соотношении компонентов в газовой среде состава, об.%: Четырехфтористый углерод

Способ формирования рисунка в полиимидной пленке

Загрузка...

Номер патента: 1757395

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Коршунов, Воробьев, Снитовский, Сенько, Кульгачев

МПК: H01L 21/268

Метки: формирования, пленке, полиимидной, рисунка

Способ формирования рисунка в полиимидной пленке, включающий нанесение на полупроводниковую подложку пленки полиамидной смолы, обработку участков пленки и травление не обработанных участков пленки, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости за счет исключения фотолитографии, обработку проводят путем одновременного фотонного облучения дозой не менее 0,6 МДж·м-2 при мощности потока излучения (0,01-2,0) МДж·с-1 ·м-2 и нагрева подложки до температуры не менее 80°С.

Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела si sio2

Загрузка...

Номер патента: 1662298

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Зеленин, Сенько, Снитовский

МПК: H01L 21/66

Метки: напряжений, механических, раздела, образцов, локальных, границе, величины, приготовления

Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела Si - SiO 2, заключающийся в том, что пленку оксида кремния отделяют от подложки путем травления кремния в смеси водорода и хлористого водорода через сформированные методом фотолитографии окна в оксиде кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности за счет повышения скорости травления, травление осуществляют при температуре 950-1220°С при концентрации хлористого водорода 0,5-10 об.%.

Способ формирования пленок нитрида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1715138

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Красницкий, Турцевич, Макаревич, Козлов, Кастрицкий

МПК: H01L 21/318

Метки: пленок, нитрида, формирования, кремния

Способ формирования пленок нитрида кремния, включающий осаждение на кремниевые подложки пленки нитрида кремния при температуре 650-900°С из газовой смеси дихлорсилана и аммиака при соотношении ингредиентов 1:(4-20) и общем давлении 13,3-133,3 Па, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет увеличения их электрической прочности и снижения дефектности, осаждение проводят послойно с толщиной каждого отдельного слоя не более 15 монослоев, последовательно чередуя операции осаждения и отжига в аммиаке в течение 2-10 мин при давлении 6,65-66,5 Па при температуре осаждения пленки нитрида кремния.

Мощный свч-транзистор

Загрузка...

Номер патента: 683402

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Снитовский, Портнов

МПК: H01L 29/70

Метки: мощный, свч-транзистор

Мощный СВЧ-транзистор с гребенчатой конфигурацией эмиттерной области, состоящий из кремниевой подложки с эпитаксиальным слоем, с одной стороны которой выполнен невыпрямляющий контакт к коллектору, а с другой - планарные области эмиттера и базы, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения ее надежности, эмиттерная область выполнена так, что ее длина ориентирована по кристаллографическому направлению <110>.

Способ изготовления кмдп интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 1669333

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Кречко, Чертов, Круковский, Герасимчик, Снитовский, Воронин

МПК: H01L 21/265

Метки: схем, интегральных, кмдп

Способ изготовления КМДП интегральных схем, включающий формирование маски на поверхности монокристаллической кремниевой подложки, рисунка кармана, травление маски, последовательную имплантацию ионов, примеси n и p-типов, отжиг, формирование охранных областей, p- и n-транзисторов в n- и p-карманах и контактной системы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения трудоемкости и увеличения выхода годных схем за счет уменьшения трудоемкости и увеличения выхода годных схем за счет уменьшения внутренних напряжений в маске, маску формируют из термического окисла толщиной h, после чего проводят до создания рисунка кармана имплантацию ионов примеси n-типа с коэффициентом сегрегации m>1 и...