Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела si sio2

Номер патента: 1662298

Авторы: Зеленин, Сенько, Снитовский

ZIP архив

Описание

Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела Si - SiO 2, заключающийся в том, что пленку оксида кремния отделяют от подложки путем травления кремния в смеси водорода и хлористого водорода через сформированные методом фотолитографии окна в оксиде кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности за счет повышения скорости травления, травление осуществляют при температуре 950-1220°С при концентрации хлористого водорода 0,5-10 об.%.

Заявка

4729628/25, 16.08.1989

Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР

Сенько С. Ф, Зеленин В. А, Снитовский Ю. П

МПК / Метки

МПК: H01L 21/66

Метки: величины, границе, локальных, механических, напряжений, образцов, приготовления, раздела

Опубликовано: 20.03.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1662298-sposob-prigotovleniya-obrazcov-dlya-kontrolya-velichiny-lokalnykh-mekhanicheskikh-napryazhenijj-na-granice-razdela-si-sio2.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела si sio2</a>

Похожие патенты