Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела si sio2
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1662298
Авторы: Зеленин, Сенько, Снитовский
Описание
Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела Si - SiO 2, заключающийся в том, что пленку оксида кремния отделяют от подложки путем травления кремния в смеси водорода и хлористого водорода через сформированные методом фотолитографии окна в оксиде кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности за счет повышения скорости травления, травление осуществляют при температуре 950-1220°С при концентрации хлористого водорода 0,5-10 об.%.
Заявка
4729628/25, 16.08.1989
Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР
Сенько С. Ф, Зеленин В. А, Снитовский Ю. П
МПК / Метки
МПК: H01L 21/66
Метки: величины, границе, локальных, механических, напряжений, образцов, приготовления, раздела
Опубликовано: 20.03.2012
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-1662298-sposob-prigotovleniya-obrazcov-dlya-kontrolya-velichiny-lokalnykh-mekhanicheskikh-napryazhenijj-na-granice-razdela-si-sio2.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ приготовления образцов для контроля величины локальных механических напряжений на границе раздела si sio2</a>
Предыдущий патент: Способ формирования рисунка в полиимидной пленке
Следующий патент: Способ формирования пленок нитрида кремния
Случайный патент: Устройство для очистки запыленного воздуха