Кастрицкий

Номер патента: 1715138

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Кастрицкий, Козлов, Красницкий, Макаревич, Турцевич

МПК: H01L 21/318

Метки: кремния, нитрида, пленок, формирования

Способ формирования пленок нитрида кремния, включающий осаждение на кремниевые подложки пленки нитрида кремния при температуре 650-900°С из газовой смеси дихлорсилана и аммиака при соотношении ингредиентов 1:(4-20) и общем давлении 13,3-133,3 Па, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет увеличения их электрической прочности и снижения дефектности, осаждение проводят послойно с толщиной каждого отдельного слоя не более 15 монослоев, последовательно чередуя операции осаждения и отжига в аммиаке в течение 2-10 мин при давлении 6,65-66,5 Па при температуре осаждения пленки нитрида кремния.

Номер патента: 1651698

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Вискуп, Кастрицкий, Красницкий, Петрашкевич, Турцевич, Шкуть

МПК: H01L 21/316

Метки: осаждения, пленки, стекла, фосфоросиликатного

Способ осаждения пленки фосфоросиликатного стекла, включающий загрузку кремниевых подложек со структурами интегральных схем в реактор, нагретый до 350-450°С, вакуумирование реактора, раздельную подачу в реакционную зону реактора смеси моносилана с фосфином и кислорода и наращивание пленки фосфоросиликатного стекла при давлении 26,6-46,6 Па и соотношениях ингредиентов фосфинмоносилан с фосфином 0,03-0,25, кислород-моносилан 0,8-4,0, при температуре нагрева реактора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества фосфоросиликатного стекла путем увеличения электрической прочности и снижения дефектности осаждаемых пленок, после наращивания пленки толщиной 0,1-0,3 мкм прекращают...

Номер патента: 1780461

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Кастрицкий, Козлов, Красницкий, Лесникова, Наливайко, Турцевич

МПК: H01L 21/316

Метки: кремния, легированных, осаждения, пленок, поликристаллического

Способ осаждения легированных пленок поликристаллического кремния, включающий осаждение на кремниевую подложку подслоя поликристаллического кремния толщиной 10-50 нм при 560-580°С пиролитическим разложением моносилана при давлении не более 13,3 Па, доращивание слоя кремния при температуре осаждения подслоя при пониженном давлении из парогазовой смеси, содержащей фосфин и моносилан при соотношении ингредиентов 0,0008-0,0035, и последующую термообработку в среде азота и кислорода при 850-1000°С, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса при одновременном снижении удельного сопротивления пленок путем ускорения осаждения и улучшения структуры пленки,...

Номер патента: 1799203

Опубликовано: 10.10.1996

Авторы: Буляк, Довнар, Кастрицкий, Красницкий, Турцевич, Химко

МПК: H01L 23/48

Метки: интегральных, межэлементных, соединений, схем

...перекрыло покрытие из ФСС на 0,1-6,0 мкм.Приборы собирали в пластмассовые корпуса и проводили ускоренные испытания попарно 8 групп по 15 приборов на безотказность (при температуре 120 С, влажности 950 ). На специальных тестовых структурах методом поляризационного сопротивления системы электрод - раствор определялась скорость коррозии межэлементных соединений,Испытательной средой служил раствор ортофосфорной кислоты. Дополнительно провели сравнительные испытания пластин со сформированным защитным покрытием (16 групп пластин по 5 шт.) путем обработки в автоклаве под давлением 1,2 атм при повышенной температуре и влажности, Контроль на наличие следов коррозии проводили при помощи микроскопа 1 епа(ееЬ.Рассчитывалось отношение скорости...

Номер патента: 1795829

Опубликовано: 20.02.1996

Авторы: Кастрицкий, Козлов, Корешков, Красницкий, Турцевич, Химко

МПК: H01L 21/316

Метки: осаждения, плазмохимического, пленок, стекла, фосфоросиликатного

...более 2 ат. о, возрастает в 5 и более раз, что обуславливает улучшение пассивирующей способности пленки за счет повышения ее влагостойкости и повышение стойкости стекла к диффузии ионов металлов.Выбор отношения ингредиентов закись азота-аммиак при осаждении пленки ФСС сделан на основе экспериментальных результатов.При соотношении ингредиентов закись азота-аммиак менее 5 ухудшаются условия для введения фосфора в пленку, что обуславливает ухудшение качества ФСС из-за увеличения дефектности,При соотношении ингредиентов закись азота-аммиак более 25 ухудшается пассивирующая способность пленки из-за уменьшения количества азота в ней, что наряду с увеличением привносимой дефектности обуславливает ухудшение качества пленок ФСС.Возможность...

Номер патента: 1457150

Опубликовано: 07.02.1989

Авторы: Кастрицкий, Рябенко, Скоробогатый

МПК: G04F 10/00, H03K 5/01

Метки: видеоимпульсов, длительности, повторяющихся, половины, прямоугольных, формирователь

...первый интегратор 1 формирует линейно возрастающее напряжение (фиг.2 б). Спадом входного ВИ первый интегратор 1 возвращается в исходное состояние. 55Второй интегратор 2, постояннаявремени цепи заряда которого в двараза больше постоянной времени цепизаряда первого интегратора 1, также Формирует линейно возрастающее напряжение в течении длительности ВИна первой входной нине 9 устройства.Однако в отличие от первого интегратора 1 в исходное состояние он возвращается не сразу после окончаниявходного ВИ, В исходное состояниевторой интегратор 2 (Фиг.2 г) возвращается спадом сигнала с расширителем 7 импульсов (Аиг.2 в)Интегрирование напряжения -Н вторим интегратором 3 прекращается после окончания входного ВИ на первой входнойнине 9...

Номер патента: 1156817

Опубликовано: 23.05.1985

Авторы: Кастрицкий, Кукуй, Мельников, Уваров

МПК: B22C 9/00

Метки: двухслойных, литейных, форм

...гт очного холода снова тем, что согласно способу получения смерзается образуя сплФ уя сплошную ледя- двухслойных литейных форм, включаю- ную корочку 8 толщин " 2-3толщиной -3 мм в пощему изготовление пористого опорного слоя, нанесение на опорный слой на поверхности опорн . Попорного слоя. При гидрофобной прослойки .и последующую д необходимости получения более заливку шликерной суспензии в зазор толстой ледянойй корочки процесс момежду опорным слоем и моделью в ка - жет повторяться, ВарьУ арьируя время честве гицрофобной прослойки исполь- и температуру охлаохлаждения опорного зуют воду, которую затем заморажи- слоя а также время иУ мя и температуру вают, шликерную суспенэию перед за- ЗО обдува его горячим воздухом, можливкой в зазор...

Номер патента: 839646

Опубликовано: 23.06.1981

Авторы: Кастрицкий, Лапицкая, Ляхевич, Русаков, Фонштейн

МПК: B22C 1/02

Метки: литейныхформ, смесь

...предварительно прйготовленной суспензии. Результать ь испытаний смесей, в которых в качестве углеводородсодержащих до -.бавок используьотся образцы 1 - 7, приведецы в табл, 3 и 4 Как видно из табл. 3 и 4 составы сме. сей, в которых используются образцы углеводородсодержащих добавок 2 - 4 имеют такие же свойства, как и смеси, содержащие углеводородсодержащую добавку 1.Сравнительные данные, показываюьцне преимущества предлагаемой углеводородсодержащей добавки и состава; в котором оца используется, по сравнению с известной углеводородсолержащей добавкой и составом 3 приведены в табл. 5. ЭО Как видно из табл. 5 температура вспыьцки предлагаемой добавки в открытом тигле составляет 267 С, содержание ароматических углеводородов и смол - 99,4...

Номер патента: 727315

Опубликовано: 15.04.1980

Авторы: Басс, Войтенко, Волосенков, Кастрицкий, Кукуй, Ледян, Харитонович

МПК: B22C 5/04

Метки: смеситель

...для осмотра вала. Гильза- электрод 15 изолирована от частей кор пуса диэлектрическими прокладками 17 и снаружи прикрыта защитным кожухом 18, 30 соединенным с обеими частями корпуса при помощи фланцевого соединения. В кожухе 18 выполнены люки 19, Клемма 20 служит для подачи электрического потенциала на гильзу-электрод 15, а клемма - 35 21 - для заземления корпуса. Штуцер 22предназначен для подачи связующего материала, а цтуцер 23 - катализатора.Работает смеситель следующим образом 40Сухие составляющие смеси загружаются в бункер 3, вал 7 с лопатками 8 перемешивает сухие ингредиенты и перемещает йх вдольоси смесителя. Связующее вещество подается через штуцер 22, распределяется по поверхности зерен песка 15 4и вместе с ним перемещается в...

Номер патента: 541566

Опубликовано: 05.01.1977

Авторы: Волосенков, Кастрицкий, Ляхевич, Рудковский, Русаков, Фонштейн, Цыганова

МПК: B22C 1/02

Метки: литейных, смесь, форм

...обладает повышенной пластичностью, что способствует уменьшению пригара на отливках. Кроме того, более высокая температуоа вспышки экстракта уменьшает выгорание его при заливке жидкого металла в литейную форму и устраняет образование взрывоопасной смеси в трубопроводах вытяжной вентиляции.При содержании экстракта селективной очистки масляных дистиллятов нефти менее 0,1 вес.% смесь не обладает необходимыми противопригарными свойствами, а при содержании его более 0,5 вес.% наблюдается обильное газовыделение при заливке металла, ухудшаюшее качество литья и санитарно-гигиенические условия труда. ПлотностьТемпература вспышки в тигле, оС;в открытом Вязкость кинематическая о при 50 С, сстСодержание (вес.%) механическихпримесей серыКоксуемость...