Способ формирования рисунка в полиимидной пленке

Номер патента: 1757395

Авторы: Воробьев, Коршунов, Кульгачев, Сенько, Снитовский

ZIP архив

Описание

Способ формирования рисунка в полиимидной пленке, включающий нанесение на полупроводниковую подложку пленки полиамидной смолы, обработку участков пленки и травление не обработанных участков пленки, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости за счет исключения фотолитографии, обработку проводят путем одновременного фотонного облучения дозой не менее 0,6 МДж·м-2 при мощности потока излучения (0,01-2,0) МДж·с-1 ·м-2 и нагрева подложки до температуры не менее 80°С.

Заявка

4798158/25, 16.01.1990

Институт физики твердого тела и полупроводников АН БССР и Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством Института физики

Коршунов Ф. П, Кульгачев В. И, Сенько С. Ф, Снитовский Ю. П, Воробьев О. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/268

Метки: пленке, полиимидной, рисунка, формирования

Опубликовано: 20.03.2012

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-1757395-sposob-formirovaniya-risunka-v-poliimidnojj-plenke.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования рисунка в полиимидной пленке</a>

Похожие патенты