Патенты с меткой «пленок»

Страница 37

Способ получения пленок и устройство для его осуществления

Номер патента: 1750270

Опубликовано: 15.05.1994

Авторы: Коржавый, Кучеренко, Цымбаревич

МПК: C23C 14/32

Метки: пленок

1. Способ получения пленок, включающий формирование электронного пучка в вакууме, воздействие на него ускоряющим напряжением, испарение материала мишени электронным пучком, частичную ионизацию испаряемого материала и его осаждение на подложку, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа и его упрощения, ускоряющее напряжение выбирают большим величины второго критического потенциала.2. Устройство для получения пленок, содержащее кольцевой накаливаемый катод с металлическим экраном, тигель с мишенью из испаряемого материала и кольцевой электрод с источником питания, расположенный между тиглем и катодом соосно с последним и соединенный с положительной клеммой источника питания, отличающееся тем, что...

Способ получения пленок металлооксидных высокотемпературных сверхпроводников

Номер патента: 1658656

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Рубан, Свиридович, Точицкий

МПК: C23C 14/28

Метки: высокотемпературных, металлооксидных, пленок, сверхпроводников

1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ СВЕРХПРОВОДНИКОВ, включающий испарение мишени из наносимого материала в атмосфере кислорода импульсным лазерным излучением, осаждение его на нагретую подложку и охлаждение подложки в два этапа в атмосфере кислорода, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пленок и повышения технологичности процесса, испарение материала осуществляют при плотности мощности лазерного излучения 107 - 108 Вт/см2, частоте следования импульсов не более 15 Гц и давлении кислорода (0,13-13)Па, температуру подложки в процессе осаждения поддерживают в диапазоне (853-1023)К, охлаждение подложки на первом этапе проводят со скоростью не более 35 К/мин до температуры...

Способ осаждения пленок в вакууме

Номер патента: 1584433

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Грицкевич, Зыль, Точицкий

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, осаждения, пленок

СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, включающий испарение осаждаемого материала в тигле, инжекцию пара в вакуум с образованием кластеров, их ионизацию, ускорение и конденсацию на подложке, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, перед инжекцией пара в вакуум внутреннюю полость тигля герметично соединяют с внутренней полостью замкнутой инжекционной камеры, затем внутреннюю полость тигля отсекают от инжекционной камеры и осуществляют сжатие пара.

Способ плазменного реактивного нанесения пленок в вакууме

Номер патента: 1163656

Опубликовано: 15.07.1994

Авторы: Колесов, Сейдман

МПК: C23C 14/32

Метки: вакууме, нанесения, плазменного, пленок, реактивного

СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО РЕАКТИВНОГО НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, включающий напуск потоков инертного и реактивного газов при содержании реактивного газа более 10%, регулирование тока разряда путем изменения напряжения разряда и потоков газов, распыление мишени ионами из плазмы разряда с наложением магнитного поля и осаждение материала на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости свойств пленок от процесса к процессу, при регулировании тока разряда сначала определяют экстремальные значения тока изменением напряжения, после чего устанавливают минимальное значение тока путем изменения потока реактивного газа и максимальное значение тока путем изменения потока инертного газа.

Способ получения пленок химических соединений

Номер патента: 1297504

Опубликовано: 30.07.1994

Авторы: Колесов, Сейдман

МПК: C23C 14/36

Метки: пленок, соединений, химических

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ, включающий распыление металлической или полупроводниковой мишени в смеси инертного и активного газов плазмой разряда, имеющего вольт-амперную характеристику с динамическим сопротивлением, большим статического при стабилизации тока и напряжения разряда в процессе распыления, причем один из параметров стабилизируют источником питания, а другой - посредством регулировки потока активного газа, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости свойств пленок за счет повышения устойчивости режима разряда, источником питания стабилизируют ток разряда, а регулировкой потока активного газа - напряжение разряда, при этом в процессе распыления поток инертного газа поддерживают постоянным.

Способ магнетронного напыления тонких пленок

Номер патента: 1760776

Опубликовано: 30.08.1994

Авторы: Вильде, Макейчев, Шофман

МПК: C23C 14/35

Метки: магнетронного, напыления, пленок, тонких

СПОСОБ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, включающий формирование в магнетронном источнике магнитного поля электромагнитом переменного тока, зажигание разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях, распыление материала катода и осаждение его на подложку, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей, перед осаждением осуществляют нагрев подложек магнетронным источником, причем нагрев подложек осуществляют потоком электронов, бомбардирующих подложку при выключении электромагнита на время изменения направления переменного тока.

Способ получения алмазоподобных пленок

Номер патента: 1610949

Опубликовано: 15.10.1994

Автор: Тарасенко

МПК: C30B 23/02, C30B 29/04

Метки: алмазоподобных, пленок

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК путем распыления мишени из графита импульсным лазером и осаждения паров на подложку, отличающийся тем, что, с целью получения однофазных и бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению, распыление ведут с помощью ТЕА СО2-лазера с плотностью мощности излучения 1 107 - 5 108 Вт/см2 при расстоянии от мишени до подложки не менее 7 см и вакууме в камере не менее 10-5 торр.

Устройство для визуального контроля доменной структуры феррит-гранатовых пленок

Номер патента: 1769615

Опубликовано: 20.01.1995

Авторы: Грязев, Талуц

МПК: G11C 11/14

Метки: визуального, доменной, пленок, структуры, феррит-гранатовых

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВИЗУАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ДОМЕННОЙ СТРУКТУРЫ ФЕРРИТ-ГРАНАТОВЫХ ПЛЕНОК, содержащее последовательно оптически связанные осветитель, поляризатор, объектив и делитель изображения, анализатор, две телевизионные камеры, первая из которых оптически связана с делителем изображения через анализатор, а вторая - непосредственно, причем вход синхронизации первой телевизионной камеры подключен к выходу синхронизации второй телевизионной камеры, видеоконтрольный блок, отличающееся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности устройства за счет исключения фоновых составляющих изображения доменной структуры, в него введены четыре одновибратора, три элемента И, два ключа, инвертор, дифференциальный усилитель, схема фиксации уровня,...

Способ получения толстых пленок, обладающих высокотемпературной сверхпроводимостью

Номер патента: 1736312

Опубликовано: 10.04.1995

Авторы: Блаут-Блачев, Чубаров

МПК: H01L 39/24

Метки: высокотемпературной, обладающих, пленок, сверхпроводимостью, толстых

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОЛСТЫХ ПЛЕНОК, ОБЛАДАЮЩИХ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЙ СВЕРХПРОВОДИМОСТЬЮ, на основе соединений Bi Sr Ca Cu O, включающий нанесение смеси из окислов и карбонатов элементов, входящих в соединение, на подложку, нагрев и последующий отжиг, отличающийся тем, что, с целью расширения класса используемых подложек, нагрев осуществляют 1 20 мин при 910 950oС, а последующий отжиг проводят при 840 890oС в течение более 3 ч.

Способ травления высокотемпературных сверхпроводящих пленок y-ba-cu-o

Загрузка...

Номер патента: 1823732

Опубликовано: 09.07.1995

Авторы: Скутин, Сычев, Тихомиров, Югай

МПК: H01L 39/24

Метки: y-ba-cu-o, высокотемпературных, пленок, сверхпроводящих, травления

...на фиг.3 - зависимость среднего числа молекул Н 20 в кластере воды от давленияар воды Рно; на фиг.4 - завсоссреднего числа молекул воды и в кластереНС пН 20; на фиг,5 - зависимость скороститравления от парциального давления кластеров воды РнотоРеакционная камера 1 представляет собой вакуумированный насосом 2 сосуд, в15 которем помещается стравливаемая пленка У-Ва-Си-О 3, напыленная на подложкуиэ ЯгТОз или сапфир, Реакционная камера1 изготавливается иэ материала химическинейтрального к хлористому водороду (молибденовое стекло, кварц, полимер и др,).В начале эксперимента в предварительно откаченную камеру 1 напускают парыводы из емкости 4 до получения давленияРн,о =7 - 11 Торр, что при температуре 17 Ссоставляет (0,5-0,7)Рнонасы,ц....

Способ получения высокотемпературных сверхпроводящих пленок

Загрузка...

Номер патента: 1829818

Опубликовано: 09.07.1995

Авторы: Григорашвили, Сотников, Фомин

МПК: H01L 39/24

Метки: высокотемпературных, пленок, сверхпроводящих

...узла на расстояние свыше 8 200 пленка обладает плохими свойствам, ввиду малой толщины и снижения эффективности использования распылительного материала, а также нестабильности работы распылительного устройства.На чертеже показано устройство для осуществления способа получения ВТСП- пленок; 1 - подложки; 2 - нагреватель; 3 - мишень; 4, - область разряда; 5 - вакуумная камера.П р и м е р 1, В качестве распылительного узла используют систему встречно размещенных магнетронов. Подложки Ег 02 или ЗгТОз диаметром до 30 мм в количестве 10 шт, нагревают до 700 С и зажигают разряд. Выходные отверстия системы напуска аргона и кислорода, нагреватель 2 подложки и входное отверстие вакуумной откачной системы, размещают на оси симметрии...

Способ плазмохимического удаления пленок фоторезиста

Номер патента: 1653484

Опубликовано: 20.08.1995

Авторы: Будянский, Гомжин, Ефремов, Лебедев, Покроев

МПК: H01L 21/306

Метки: плазмохимического, пленок, удаления, фоторезиста

СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА с образцов, имеющих диэлектрические слои, включающий непрерывный напуск рабочего газа и откачку продуктов реакции, активацию потока рабочего газа плазмой ВЧ-разряда, отделение зоны активации газа от зоны обработки образца, размещение образца в зоне обработки в потоке активированного разрядом газа и удаление полимерной фоторезистивной пленки под действием химически активных частиц, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годной продукции путем сокращения числа электростатических пробоев тонких диэлектрических слоев обрабатываемых изделий, определяют напряжение пробоя диэлектрического слоя V* и в процессе удаления фоторезиста контролируют потенциал плазмы в зоне...

Адгезионный подслой для светоотражающих полиэтилентерефталатных пленок

Номер патента: 668337

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Джулакян, Марашлян, Мовсисян, Устян, Фиговский, Шахвердян

МПК: C08L 67/02, C09J 7/02

Метки: адгезионный, пленок, подслой, полиэтилентерефталатных, светоотражающих

АДГЕЗИОННЫЙ ПОДСЛОЙ ДЛЯ СВЕТООТРАЖАЮЩИХ ПОЛИЭТИЛЕНТЕРЕФТАЛАТНЫХ ПЛЕНОК, включающий полиэфир на основе этиленгликоля, терефталевой и себациновой кислот и растворитель, отличающийся тем, что с целью увеличения светопропускания и адгезии к полиэтилентерефталату и последующему слою на основе сополимеров бутилметакрилата, он дополнительно содержит полиэфирацетальуретан при следующем соотношении компонентов, мас.Полиэфир на основе этиленгликоля, терефталевой и себациновой кислот 13 16Полиэфирацетальуретан 3 10Растворитель Остальное

Клей для дублирования полиэтилентерефталатных пленок

Номер патента: 772192

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Айрапетян, Вартанян, Джулакян, Мовсисян, Фиговский, Харатян

МПК: C08L 67/02, C09J 167/02

Метки: дублирования, клей, пленок, полиэтилентерефталатных

КЛЕЙ ДЛЯ ДУБЛИРОВАНИЯ ПОЛИЭТИЛЕНТЕРЕФТАЛАТНЫХ ПЛЕНОК, включающий полиэфир на основе этиленгликоля, терефталевой и себационной кислот, полиэфирацетальуретан и растворитель, отличающийся тем, что, с целью повышения электрической прочности пленок, он дополнительно содержит полиуретановый сложноэфирный каучук и имидазолин на основе полиэтиленполиамина и синтетических жирных кислот С6 С12 при мольном соотношении 1 1 2 при следующем соотношении компонентов, мас.Полиэфир на основе этиленгликоля, терефталевой и себационной кислот 17 22Полиэфирацетальуретан 1,2 4,0Полиуретановый сложноэфирный каучук 1,0 3,0Имидазолин на основе полиэтиленполиамина и синтетических жирных кислот С6...

Способ получения пленок фосфоросиликатного стекла

Номер патента: 1415670

Опубликовано: 27.10.1995

Авторы: Васильев, Духанова

МПК: C03B 8/04, C03C 17/09

Метки: пленок, стекла, фосфоросиликатного

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ФОСФОРОСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА путем нагрева подложки до 200-500oС и осаждения пленок из парогазовой смеси, состоящей из моносилана, кислорода, триметилфосфата и аргона, с откачкой продуктов реакции со стороны, противоположной вводу смеси, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пленок за счет стабилизации содержания в них фосфорного ангидрида, осаждение ведут при пониженном давлении из смеси состава, об.Моносилан 2,0-8,0Кислород 5,0-50,0Триметилфосфат 0,02-2,0Аргон Остальноепричем пары триметилфосфата подают в горячую зону реактора, моносилан и кислород в холодную.

Способ получения сегнетоэлектрических пленок

Номер патента: 1137775

Опубликовано: 27.11.1995

Автор: Левченко

МПК: C23C 14/00

Метки: пленок, сегнетоэлектрических

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, включающий распыление исходного материала в среде кислорода и осаждение его на нагретую подложку, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических свойств пленок, процесс осаждения проводят циклично, при этом после каждого цикла осаждения температуру подложки и давление кислорода увеличивают до температуры не более 0,8 температуры плавления исходного материала и до давления не более 26664,4 Па соответственно, проводят термообработку пленки, снижают температуру подложки и давление кислорода до первоначальных значений и проводят следующий цикл осаждения.

Устройство для нанесения пленок в вакууме

Номер патента: 1077334

Опубликовано: 27.12.1995

Авторы: Левченко, Тарасов

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, нанесения, пленок

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, содержащее подложкодержатель и испаритель направленного действия с выходным каналом, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения производительности, выходной канал выполнен в виде многоканального коллиматора, подложкодержатель расположен от коллиматора на расстояниигде l длина канала;d диаметр канала;b расстояние между соседними каналами.

Устройство для нанесения пленок ионно-плазменным распылением сегнетоэлектрических материалов в вакууме

Номер патента: 1271132

Опубликовано: 27.12.1995

Автор: Левченко

МПК: C23C 14/36

Метки: вакууме, ионно-плазменным, нанесения, пленок, распылением, сегнетоэлектрических

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ, содержащее диэлектрический держатель с дисковой мишенью, размещенную между ними дисковую электропроводную прокладку, токоподвод и узел разогрева мишени, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет повышения равномерности распыления мишени, токоподвод выполнен в виде кольца, примыкающего к боковой поверхности мишени, а диаметр прокладки составляет 0,5-0,75 диаметра мишени.

Способ формирования пленок на основе полианилина

Загрузка...

Номер патента: 1805790

Опубликовано: 10.01.1996

Авторы: Ефимов, Зуева, Карелин, Корсаков, Николаева, Плавич, Саратовских, Титков

МПК: H01L 21/312

Метки: основе, пленок, полианилина, формирования

...0,95 - 1, Эту величину можно регулировать, вводя неболь шое количество воды и изменяя тем самымфизико-механические свойства пленки, Композиционный материал характеризуется массовым соотношением компснентов поливинилформиат:полианилин=2,9 - 0,34:1,При добавлении поливинилового спирта менее чем 0,2 ч, на 1 ч, полианилина трудно добиться однородности пленки и наблюдается образование комет. Верхний предел введения поливинилового спирта 30 определяется его растворимостью в муравьиной кислоте (50 г/л). Образующийся поливинилформиат обладает хорошими пластифицирующими и стабилизирующими свойствами и улучшает однородность дис персии полианилина в своей матрице.В качестве материала подложки можноиспользовать стекло и кремний с хорошо...

Способ нанесения тонких пленок

Номер патента: 751256

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Чуйко, Якубинская

МПК: B04B 5/00, H01L 21/00

Метки: нанесения, пленок, тонких

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, например пленок фоторезиста на подложки, включающий нанесение на подложку раствора фоторезиста, центрифугирование подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества нанесения на подложку раствора фоторезиста, край стороны подложки, на которую наносят раствор, скругляют по всему периметру.

Способ получения ферментсодержащих волокон и пленок

Номер патента: 1277654

Опубликовано: 27.01.1996

Авторы: Бибер, Вирник, Деваев, Журавлев, Кильдеева, Красовская, Неклюдов, Ныс, Скворцова, Соломон

МПК: D01F 1/10

Метки: волокон, пленок, ферментсодержащих

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФЕРМЕНТСОДЕРЖАЩИХ ВОЛОКОН И ПЛЕНОК, включающий растворение триацетата целлюлозы в метинхлориде, введение растворимого в воде и метиленхлориде полимера с мол.м. 10000-200000, модифицированного глутаровым альдегидом фермента в фосфатном буфере и формование, отличающийся тем, что, с целью повышения термостабильности волокон и пленок, используют водную суспензию фермента в фосфатном буфере и диспергируют ее в растворе триацетата целлюлозы, а свежесформованные волокна и пленки продувают сжатым воздухом или инертным газом в течение 1,0-300 с до содержания растворителя 0,005-2,0 мас.%.

Клей для липких пленок

Номер патента: 1678042

Опубликовано: 20.02.1996

Авторы: Дуняткин, Иванова, Мелконян, Сарибекян, Шарай

МПК: C09J 133/08, C09J 7/02

Метки: клей, липких, пленок

КЛЕЙ ДЛЯ ЛИПКИХ ПЛЕНОК на поливинилхлоридной основе, включающий сополимер бутилакрилата с акрилонитрилом, содержащий 10 - 20% акрилонитрильных звеньев, полиметилфенилсилоксановую смолу и органический растворитель, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости липкого слоя к УФ-излучению и инертности к краскам полиграфического текста, пастам шариковых ручек и чернилам, он дополнительно содержит смесь сополимера 50 - 70% винилацетата с бутилакрилатом и сополимера бутилакрилата с метакриловой кислотой с содержанием связанной метакриловой кислоты 5 - 10% при следующем соотношении компонентов, мас.%:Сополимер бутилакрилата с акрилонитрилом с содержанием акрилонитрильных звеньев 10 - 20% - 9,2 - 14,3Полиметилфенилсилоксановая...

Способ плазмохимического осаждения пленок фосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 1795829

Опубликовано: 20.02.1996

Авторы: Кастрицкий, Козлов, Корешков, Красницкий, Турцевич, Химко

МПК: H01L 21/316

Метки: осаждения, плазмохимического, пленок, стекла, фосфоросиликатного

...более 2 ат. о, возрастает в 5 и более раз, что обуславливает улучшение пассивирующей способности пленки за счет повышения ее влагостойкости и повышение стойкости стекла к диффузии ионов металлов.Выбор отношения ингредиентов закись азота-аммиак при осаждении пленки ФСС сделан на основе экспериментальных результатов.При соотношении ингредиентов закись азота-аммиак менее 5 ухудшаются условия для введения фосфора в пленку, что обуславливает ухудшение качества ФСС из-за увеличения дефектности,При соотношении ингредиентов закись азота-аммиак более 25 ухудшается пассивирующая способность пленки из-за уменьшения количества азота в ней, что наряду с увеличением привносимой дефектности обуславливает ухудшение качества пленок ФСС.Возможность...

Способ изготовления сверхпроводящих пленок

Номер патента: 1715152

Опубликовано: 27.02.1996

Авторы: Кукуев, Попов, Харламов

МПК: H01L 39/22, H01L 39/24

Метки: пленок, сверхпроводящих

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК, заключающийся в плазменном напылении в инертной газовой среде порошкового материала YBa2Cu3O7 на разогретую подложку с последующей ее термообработкой в кислорде и охлаждением, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок путем уменьшения количества пор, величину гранул порошкового материала выбирают в пределах 80 - 150 мкм, напыление производят до толщины пленки 10 - 1000 мкм, при этом в зону образования пленки подают кислород, после чего в течение 2 ч производят нагревание пленки до 945 - 955oС с постоянной скоростью, выдерживают при этой температуре в течение 2,5 - 3,0 ч, а затем постепенно охлаждают в течение 4 ч.

Способ плазмохимического травления пленок алюминия

Номер патента: 1739802

Опубликовано: 27.02.1996

Авторы: Красножон, Фролов, Хворов

МПК: H01L 21/306

Метки: алюминия, плазмохимического, пленок, травления

СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ, включающий размещение подложек со сформированной фоторезистивной маской на заземленном электроде-подложкодержателе и обработку в хлорсодержащей ВЧ-плазме при температуре подложек ниже температуры деструкции фоторезиста, но выше температуры, вычисленной по формулегде Q - расход газа, см3/мин;P - рабочее давление, Па;F - площадь поверхности алюминия, м2;V - скорость травления алюминия, нм/с,отличающийся тем, что, с целью улучшения качества получаемых структур за счет снижения загрязнения этих структур и внутренних поверхностей реактора продуктами полимеризации, перед...

Устройство для рентгенофлуоресцентного анализа тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 1831109

Опубликовано: 10.03.1996

Авторы: Жаворонков, Зуев, Шабельников

МПК: G01N 23/223

Метки: анализа, пленок, рентгенофлуоресцентного, тонких

...из торцевого выхода является достаточным закрепление моноблока 11 на узле 13 с постоянной ориентацией оси выхода излучения, Линейное перемещение моноблока обеспечивает совмещение оси выхода с центром прохода между прокладками 9. Упрощение конструкции достигается также за счет прижима рефлектора 10 к рефлектору 7 с зазором, величина которого и находится в диапазоне 5-50 мкм, В предлагаемом устройстве й определяется толщиной прокладок 9, что делает ненужным использование прецизионных средств ориентации и перемещения рефлекторов, Размещение прободержателя 12 и рефлектора 10 в одной детали позволяет отказаться от узла перемещения и ориентации прободержателя,Закрепление рефлектора 7 на оправке 4 упрощает конструкцию за счет фиксации...

Способ формирования планаризованных тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 1829760

Опубликовано: 27.03.1996

Авторы: Баранов, Достанко, Казачонок, Попов

МПК: H01L 21/263

Метки: планаризованных, пленок, тонких, формирования

...частоты модуляции Гмг35 имеет значение порядка 4 МГц, Ограничение частоты модуляции определяется ограничением подвижности ионов вэлектрическом поле, которые за один период модуляции Тг=1 Рмг не успевают пере 40 сечь область катодного падения потенциалав плазме тлеющего ВЧ-разряда.Способ поясняется схемой, представленной на чертеже, где 1 - рабочая камера,2 - магнетронный источник распыления, 3 -45 блок питания магнетронэ, 4 - мишень, 5 -подложка с рельефной поверхностью, 6 -подложкодержатель, 7 - керамические элементы, 8 - ВЧ-генератор, 9 - согласующееустройство, 10 - генератор импульсов,50 Для реализации способа формированияпланариэованных тонких пленок была модернизована промышленная установка типа 01 НИ-006, предназначенная...

Сульфокислоты замещенных n, n-дифенилдиимидов 3, 4, 9, 10 перилентетракарбоновой кислоты в качестве материалов для формирования сверхтонких термостабильных поляроидных пленок

Загрузка...

Номер патента: 1642741

Опубликовано: 20.04.1996

Авторы: Агальцова, Архипова, Банников, Быков, Ворожцов, Игнатов, Масанова, Танунина, Хан, Шишкина

МПК: C09B 57/12, G02B 1/08

Метки: n-дифенилдиимидов, замещенных, качестве, кислоты, перилентетракарбоновой, пленок, поляроидных, сверхтонких, сульфокислоты, термостабильных, формирования

Сульфокислоты замещенных N,N - дифенилдиимидов 3,4,9,10-перилентетракарбоновой кислоты общей формулыгде R H, Br, Cl, OH, CH3, C4H9, COCH3, OC2H5;n 1 2,в качестве материалов для формирования сверхтонких термостабильных поляроидных пленок, селективных в области 480 550 нм.

Сульфокислоты замещенных дибензимидазолов 3, 4, 9, 10 перилентетракарбоновой кислоты в качестве материалов для формирования сверхтонких термостойких селективных в области 550 620 нм поляроидных пленок

Загрузка...

Номер патента: 1598430

Опубликовано: 20.04.1996

Авторы: Архипова, Банников, Быков, Ворожцов, Игнатов, Масанова, Танунина, Хан, Шишкина

МПК: C07D 471/04, G02B 5/30

Метки: дибензимидазолов, замещенных, качестве, кислоты, области, перилентетракарбоновой, пленок, поляроидных, сверхтонких, селективных, сульфокислоты, термостойких, формирования

Сульфокислоты замещенных дибензимидазолов 3,4,9,10-перилентетракарбоновой кислоты общей формулыгде R1 H, 3(4)-CH3, 3(4)-C2H5, 3(4)-Cl, 3(4)Br; R2 4(5)-SO3H,в качестве материалов для формирования сверхтонких термостойких селективных в области 550 620 нм поляроидных пленок.

Сульфокислоты замещенных дибензимидазолов 1, 4, 5, 8 нафталинтетракарбоновой кислоты в качестве материала для формирования сверхтонких поляроидных пленок

Загрузка...

Номер патента: 1635538

Опубликовано: 27.05.1996

Авторы: Банников, Быков, Двуреченская, Игнатов, Левин, Танунина, Хан

МПК: C09B 57/12, G02B 1/08

Метки: дибензимидазолов, замещенных, качестве, кислоты, нафталинтетракарбоновой, пленок, поляроидных, сверхтонких, сульфокислоты, формирования

Сульфокислоты замещенных дибензимидазолов 1,4,5,8-нафталинтетракарбоновой кислоты общей формулыилигде R H, CH3, C2H5, OC2H5, Cl или Br;n 1 или 2,в качестве материала для формирования сверхтонких поляроидных пленок.