Патенты с меткой «ионно-плазменным»
Устройство для нанесения пленок ионно-плазменным распылением сегнетоэлектрических материалов в вакууме
Номер патента: 1271132
Опубликовано: 27.12.1995
Автор: Левченко
МПК: C23C 14/36
Метки: вакууме, ионно-плазменным, нанесения, пленок, распылением, сегнетоэлектрических
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ, содержащее диэлектрический держатель с дисковой мишенью, размещенную между ними дисковую электропроводную прокладку, токоподвод и узел разогрева мишени, отличающееся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет повышения равномерности распыления мишени, токоподвод выполнен в виде кольца, примыкающего к боковой поверхности мишени, а диаметр прокладки составляет 0,5-0,75 диаметра мишени.