C03B 8/04 — реакциями в газовой фазе

Номер патента: 1415670

Опубликовано: 27.10.1995

Авторы: Васильев, Духанова

МПК: C03B 8/04, C03C 17/09

Метки: пленок, стекла, фосфоросиликатного

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ФОСФОРОСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА путем нагрева подложки до 200-500oС и осаждения пленок из парогазовой смеси, состоящей из моносилана, кислорода, триметилфосфата и аргона, с откачкой продуктов реакции со стороны, противоположной вводу смеси, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пленок за счет стабилизации содержания в них фосфорного ангидрида, осаждение ведут при пониженном давлении из смеси состава, об.Моносилан 2,0-8,0Кислород 5,0-50,0Триметилфосфат 0,02-2,0Аргон Остальноепричем пары триметилфосфата подают в горячую зону реактора, моносилан и кислород в холодную.