Способ получения алмазоподобных пленок
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1610949
Автор: Тарасенко
Формула
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК путем распыления мишени из графита импульсным лазером и осаждения паров на подложку, отличающийся тем, что, с целью получения однофазных и бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению, распыление ведут с помощью ТЕА СО2-лазера с плотностью мощности излучения 1 107 - 5
108 Вт/см2 при расстоянии от мишени до подложки не менее 7 см и вакууме в камере не менее 10-5 торр.
Описание
Цель изобретения - получение однофазных и бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению.
На чертеже показана схема осуществления предлагаемого способа.
В вакуумной камере 1 расположена мишень 2, на которую фокусируется луч лазера 3 с помощью линзы 4. Подложка 5 расположена по центру факела 6.
Способ получения алмазоподобных пленок реализован распылением графита с помощью импульсного ТЕА СО2-лазера, позволяющего получать плотность мощности на мишени в импульсе лазерного излучения 1


Перед началом напыления в камеру помещают мишень 2 из графита и подложку 5, причем мишень располагают под углом 45о к оси лазерного луча, а подложку - параллельно мишени на расстоянии от нее. Результаты сведены в таблицу.
Пленки в примерах 1-4 (см.таблицу) получаются рыхлые, черного цвета с дырками после напыления на подложки из плавленого кварца, на полированную поверхность KCl и на скол KCl. Пленки в примерах 5-8 (см.таблицу) получаются прозрачные светло-желтого цвета без микро- и макровключений, но с дефектной областью в виде серпа.
Пленки, согласно примерам 9-12 таблицы, являются бездефектными, без включений, о чем свидетельствуют фотографии микроструктуры.
Эти пленки имеют аморфную однородную структуру, что подтверждено рентгеновским фазовым анализом. Пленки толщиной 1000

Полученные результаты испытания пленок на лучестойкость дают основание для их использования в элементах лазерной оптики.
Изобретение относится к микроэлектронике, оптике, физике тонких пленок, может быть использовано, например, для получения защитных покрытий зеркал, обеспечивает получение однофазных, бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению. Способ включает распыление мишени из графита импульсным ТЕА CO2 - лазером с плотностью мощности излучения 1



Рисунки
Заявка
4427803/26, 20.05.1988
Институт теплофизики СО АН СССР
Тарасенко С. Н
МПК / Метки
МПК: C30B 23/02, C30B 29/04
Метки: алмазоподобных, пленок
Опубликовано: 15.10.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1610949-sposob-polucheniya-almazopodobnykh-plenok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения алмазоподобных пленок</a>
Предыдущий патент: 3-(3-оксиаминопропил)-4-оксибутират натрия, проявляющий антинекротическую и кардиотропную активность
Следующий патент: Высокопрочная конструкционная сталь
Случайный патент: Тиристорный инвертор напряжения с искусственной коммутацией