Будянский

Номер патента: 1642901

Опубликовано: 10.04.2004

Авторы: Будянский, Гомжин, Лебедев, Черноусов

МПК: H01L 21/302, H05H 1/30

Метки: плазмохимического, пластин, полупроводниковых, удаления, фоторезиста

Устройство для плазмохимического удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин, содержащее ВЧ-генератор, активационную камеру в виде трубы из диэлектрического материала с системой возбуждения газового разряда, в вершине которой расположен патрубок напуска рабочего газа, и реакционную камеру с термостабилизированным подложкодержателем, установленным в основании камеры вне зоны газового разряда, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости удаления фоторезиста и качества обработки пластин, активационная камера снабжена по крайней мере одной дополнительной трубой равного диаметра, система возбуждения выполнена в виде двух плоскопараллельных электродов с отверстиями, в которых...

Номер патента: 1651612

Опубликовано: 10.12.1997

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский

МПК: F03B 13/02

Метки: турбина, турбобура

Турбина турбобура, содержащая венцы статора и ротора, угол установки лопаток которых составляет 10 25o, а средняя линия профилей на входном и выходном участках наклонена в противоположные стороны относительно оси венцов, отличающаяся тем, что, с целью повышения КПД в зоне околотормозных частот вращения, межлопаточные каналы ротора и статора выполнены радиально сужающимися, а конструктивный угол атаки венцов составляет 5 25o.

Номер патента: 1044077

Опубликовано: 10.12.1997

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Филимонов

МПК: F03B 13/02

Метки: турбина, турбобура

Турбина турбобура, содержащая статорное кольцо и ступицу ротора с профилированными лопатками, имеющие на участке от места максимального прогиба спинки в окружном направлении до выходной кромки лопатки цилиндрические поверхности, отличающаяся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных характеристик, кольцо и ступица на участке от входной кромки лопатки до места максимального прогиба спинки имеют скос с выпуклой поверхностью.

Номер патента: 1385685

Опубликовано: 10.12.1997

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Иоанесян, Филимонов

МПК: E21B 4/00

Метки: двигатель, забойный

Забойный двигатель, включающий героторный механизм, выполненный, например, в виде винтовой пары, ротор которого установлен с эксцентриситетом относительно статора, закрепленного в корпусе, и соединен с коаксиально размещенным валом двигателя с помощью соединительного вала-муфты, отличающийся тем, что, с целью повышения долговечности и надежности двигателя за счет предотвращения отворота резьбового соединения корпуса забойного двигателя, по крайней мере в одном месте соединительный вал-муфта снабжен упругой радиальной опорой.

Номер патента: 1736226

Опубликовано: 20.02.1996

Авторы: Будянский, Жангазиев, Муллаев, Саламатов, Сисенбаев

МПК: E21B 43/20

Метки: газированной, жидкости, закачки, пласт

СПОСОБ ЗАКАЧКИ В ПЛАСТ ГАЗИРОВАННОЙ ЖИДКОСТИ, включающий сжатие и газообразной фаз, смешивание, подвод к устью скважины, транспорт к забою и закачку в пласт, отличающийся тем, что, с целью сокращения энергозатрат за счет увеличения гидростатического напора столба жидкости и сокращения гидравлических потерь на трение в насосно-компрессорных трубах, транспорт к забою жидкой и газообразной фаз осуществляют одновременно-раздельно по самостоятельным каналам до их смешения непосредственно вблизи продуктивного пласта, а сжатие жидкой и газообразной фаз происходит под действием столбов жидкой и газообразной фаз в скважине.

Номер патента: 1653484

Опубликовано: 20.08.1995

Авторы: Будянский, Гомжин, Ефремов, Лебедев, Покроев

МПК: H01L 21/306

Метки: плазмохимического, пленок, удаления, фоторезиста

СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА с образцов, имеющих диэлектрические слои, включающий непрерывный напуск рабочего газа и откачку продуктов реакции, активацию потока рабочего газа плазмой ВЧ-разряда, отделение зоны активации газа от зоны обработки образца, размещение образца в зоне обработки в потоке активированного разрядом газа и удаление полимерной фоторезистивной пленки под действием химически активных частиц, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годной продукции путем сокращения числа электростатических пробоев тонких диэлектрических слоев обрабатываемых изделий, определяют напряжение пробоя диэлектрического слоя V* и в процессе удаления фоторезиста контролируют потенциал плазмы в зоне...

Номер патента: 1573896

Опубликовано: 09.07.1995

Авторы: Будянский, Плетнев, Покроев, Фареник

МПК: C23F 1/00

Метки: плазмохимического, травления

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ, включающее диэлектрическую реакционную камеру, перфорированный металлический экранирующий элемент, подложкодержатель с пластиной, размещенный внутри реакционной камеры, отверстия для напуска и откачки газа и индуктор для возбуждения ВЧ-разряда, витки которого охватывают реакционную камеру, отличающееся тем, что, с целью увеличения скорости травления и повышения качества обработки путем уменьшения загрязнения поверхности образца продуктами распыления, экранирующий элемент расположен между витками индуктора и камерой и охватывает ее.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что металлические заземленные детали, составляющие экранирующий элемент, образуют проводящую поверхность,...

Номер патента: 1570549

Опубликовано: 20.03.1995

Авторы: Будянский, Зыков, Фареник

МПК: H01J 27/16

Метки: высокочастотный, ионов, источник

ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий диэлектрическую разрядную камеру, ВЧ-индуктор, охватывающий камеру снаружи, потенциальный электрод, расположенный в объеме камеры, и ионно-оптическую систему, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и надежности работы, потенциальный электрод соединен с источником ВЧ-напряжения через разделительный конденсатор, а ионно-оптическая система источника состоит из одного заземленного электрода сетки, причем площадь потенциального электрода больше площади электрода сетки.

Номер патента: 1653407

Опубликовано: 15.09.1994

Авторы: Будянский, Муллаев, Сафронов, Сесинбаев

МПК: E21B 43/25

Метки: освоения, скважин

СПОСОБ ОСВОЕНИЯ СКВАЖИН, включающий закачку в одну из них от общего нагнетательного водовода воды или водного раствора поверхностно-активного вещества и газообразного агента с использованием в качестве него азота, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности способа, перед закачкой в скважину воды или водного раствора поверхностно-активного вещества предварительно отобранный атмосферный воздух подают в поток воды нагнетательного водовода, полученную воздушно-водяную смесь сепарируют под давлением и отсепарированные воду возвращают в нагнетательный водовод, а азот направляют на смешивание с водой или водным раствором поверхностно-активного вещества для последующей закачки в скважину.

Номер патента: 1756525

Опубликовано: 23.08.1992

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Константинов, Крекин, Свирина

МПК: E21B 4/02

Метки: гидравлический, двигатель, забойный

...быть выполнена полой. Указанноеувеличение момента инерции сечеййя может быть осуществлено также другими известными средствами, йаприМер, путемприменения в средней части торсиона ребер жесткости, Диаметральное расширениеможет быть выполнено путем закрепленияв средней части торсиона втулок, предпоч тительно из легкого сплава,Длина средней части торСиона можетколебаться в пределах 0,3 - 0,7 от общей длины торсиона, Нижний предел позволяет засчет незначительного уменьшения гибкоститорсиона (до Зо) увеличить критическуюсжимающую силу в 1,5 - 2 раза, защититьнаиболее опасную, с точки зрения потериустойчивости, его часть, Верхний предел ограничен сохранением гибкости торсиона, восновном, в пределах 70 от гибкости валапостоянного сечения...

Номер патента: 1742459

Опубликовано: 23.06.1992

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Константинов, Крекин, Свирина

МПК: E21B 4/02

Метки: героторной, гидравлической, модуль

...Ви забойные двигатели. М.; ВНИИОЭН Изобретение относится к устройствам для бурения скважин, а именно к гидравлическим забойным двигателям.Известен винтовой забойный двигатель, включающий статор, ротор и присое-, диненный к нижнему концу ротора карданный вал (или торсион). Недостатком этого двигателя является невысокая надеж. ность винтовой пары, обусловленная я рачительными и крайне неравномерными по длине резиновой обкладки статора деформациями, которые вызваны воздействием центробежных сил, возникающих при вращении неуравновешенных масс ротора и торсиона. Известен также винто двигатель, включающий стат тор, а также проходящий чер тора и присоединенный к в ротора торсион. Недостатком ля также является невысокий сколько меньшую...

Номер патента: 1740600

Опубликовано: 15.06.1992

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Константинов, Свирина

МПК: E21B 4/02

Метки: героторный, двигателя, забойного, модуль

...ротора. При этом в распорнои втулке с обоих торцов выполнены продольные прорези, взаимное перекрывающиеся в осевом направлении,На фиг. 1 изображен героторный модуль забойного двигателя, общий вид; продольный разрез; на фиг, 2 и 3 - варианты закрепления торсиона в роторе; на фиг. 4 - распорная втулка в трех проекциях,Модуль состоит из винтовой пары, включающей статор 1 и ротор 2 и с уступом 3 на внутренней цилиндрической поверхности, полумуфты 4, закрепленной в роторе на резьбе 5 и взаимодействующей своим нажимным торцом 6 с торсионом 7, на диаметральном выступе 8 с конической поверхностью которого установлена распорная втулка 9 с наружной цилиндрической и внутренней конической поверхностями, контактирующая с выступом 8 по конусной...

Номер патента: 1641970

Опубликовано: 15.04.1991

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский

МПК: E21B 4/00

Метки: бурения, скважин

...4 сообщается со скважинным пространством 6. Выход 7 из скважинного насоса 4 в скважин ное пространство 6 находится между верхней 1 и нижней 2 частями бурильной колонны. При этом участок нижней части 2 бурильной колонны, примыкающий к выходу 7 струйного насоса, имеет участок 8 с площадью ггоперечного сечения по наружнрму контуру 9 больше площади поперечного сечения по наружному контуру любого участка верхней части 1 бурильной колонны. Устройство работает следующим образом,Приведенный в действие скважинный части 2 бурильной колонны, Создаваемыйнасосом 4 напор расходуется на преодоление гидравлических сопротивлений по указанному контуру циркуляции. Благодаря тому, что участок 8 нижней больше, чем таковая в любам месте верхней части 1...

Номер патента: 1601307

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Крекин, Литвяк, Свирина

МПК: E21B 4/02

Метки: гидравлический, двигатель, забойный

...б действует упомянутая сила снизу вверх Роторы 5 и 6 будут сохранать взаимное сцепление благодаря другой гидравлической силе, обусловленной перепадом давлений внешней среды (сумма давлений вышерасположенного столба жидкости и сработанного в двигателе, долоте и кольцевом пространстве) и в полости 13 (близкое к атмосФерному),действующим на площадь поперечногосечения (круга) по контуру, уплотняемому манжетой 14,Сцепление роторов 5 и 6 на вышеуказанных режимах работы двигателяобеспечит разгрузку его осевой опорына величину составляющей силы, действующей снизу вверх.С увеличением нагрузки на долотопроисходит постепенный переход работывинтовой пары 4 с насосного режимана двигательный с созданием положительной работы, используемой для...

Номер патента: 1579971

Опубликовано: 23.07.1990

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский

МПК: E21B 10/08

Метки: бурения, скважин

...производят пуск скважинного насоса 3, который осуществляет циркуляцию бурового раствора поконтуру от выхода 6 иэ насосного агрегата 3 по кольцевому наружному пространству 7 к забойному двигателю 8,далее к забою, породоразрушающемуинструменту 10 по внутреннему каналу40в роторе 9 двигателя 8 и внутреннейполости 5 нижней части 1 бурильнойколонны к всасывающей линии 4 насоса 3,Перепад давлений, затраченный на 45 сосом 3 на перекачку жидкости от выхода 6 до забоя (нисходящий поток),вычитается иэ давления гидростатического столба жидкости в скважине. Основным гидросопротивлением в нисходя 50 щем потоке является абойный двигатель 8. Поэтому гидравлическая мощность, создаваемая скважинным насосом3, практически полностью расходуетсяна...

Номер патента: 1472612

Опубликовано: 15.04.1989

Авторы: Будянский, Иоанесян, Филимонов, Чайковский

МПК: E21B 4/00

Метки: испытаний, опор, проведения, сравнительных, стендовых

...101 1Изобретение относится к горной промышленности, а именно к устройствам для проведения сравнительных испытаний различных видов опор забойных двигателей.Цель изобретения - повышение экономичности испытаний и сопоставимости их результатов за счет совмещения во времени получения экспериментальной информации о нескольких, различных по свойствам, опорах.На чертеже изображено устройство для проведения сравнительных стендовых испытаний опор.Устройство содержит испытательную камеру 1 с объектами 2 испытаний (опорами), вращательные приводы 3 в виде ступеней гидротурбины и насос (не показан). Испытуемая опора включает вращаемый 4 и ответный 5 элементы, закрепленные соответственно на валу 6 и в корпусе 7. Валы 6 соединены с роторами 8, а...

Номер патента: 1460165

Опубликовано: 23.02.1989

Авторы: Будянский, Иоанесян, Лапавок, Чайковский

МПК: E21B 10/00, E21B 4/02

Метки: двигателей, долот, забой, забойных, искусственный, испытания

...г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 Изобретение относится к устройствам,применяемым при стендовых испытанияхтехнических средств для бурения скважин -забойных двигателей и долот.Цель изобретения - повышение качестванатурного моделирования за счет наиболее полного воспроизведения условий реального бурения пород высокой моментоемкости.На чертеже представлен искусственныйзабой для испытания забойных двигателей 10и долот.Внутри стального корпуса 1, выполненного в виде стакана, находится композиция,состоящая из свинца 2 и равномерно распределенных в нем стальных включений 3, 15в качестве последних удобнее всего использовать шары (причем д шара (0,1 0 долота), так как равномерность их распределения достигается автоматически. В корпус.1 опущено...

Номер патента: 1263013

Опубликовано: 15.04.1987

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Филимонов

МПК: F03B 13/02

Метки: турбина, турбобура

...всторону от перепускного канала с клопаточному аппарату А.В пределах указанных признаковвозможны варианты выполнения ограничивающих лопаточный аппарат Е статора 2 поверхностей К и р: выходныедиаметры й и Р обеих поверхностейзаключены внутри интервала диаметровЙ, и 0 входного кольца лопатокротора 1 или эти поверхности наклонены в сторону от соответствующих каналов Ь и с к лопаточному аппарату Аротора 1: поверхность Г имеет наклонную образующую, а поверхность- цилиндрическая.Возможен вариант, когда канал Ъили с не выполняется, а соответствующая. ему поверхность Г или э статораможет не иметь указанных признаков.Если крутоизогнутые лопатки а имеют не ротор 1, как это показано нафиг, 1, а статор 2, все приведенныеконструктивные данные по...

Номер патента: 1127699

Опубликовано: 07.12.1984

Авторы: Будянский, Луций

МПК: B23B 31/16

Метки: зажимной, патрон, самоцентрирующий

...зацепления зубьев размещаются три конические шестерни 12 патрона, Позицией 14 обозначен ключ, предназначенный для передачи движения одной из конических шестерен 12 патрона.Устройство работает следующим образом. 20 25 30 35 40 45 50 55 Подлежащая зажиму деталь 15 вставляется в кулачки 16 патрона. Подачей сжатого воздуха е камеру Б пневмопривода обеспечивается вращение против часовой стрелки ротора 9 и штанги 3 относительно шпинделя станка, Закрепленное на конце штанги 3 пневмопривода коническое колесо 5 при вращении входит в зацепление с тремя коническими шестернями 12 и через коническую шестерню на спиральном диске (не показана) обеспечивает перемещение кулачков на размер Н в радиальных пазах корпуса до зажима детали 15. Так как после...

Номер патента: 693125

Опубликовано: 25.10.1979

Авторы: Будянский, Остапенко, Шейнкман

МПК: G01J 3/28

Метки: разложения, сложного, составляющие, спектра

...углов, где проявпяется структурность сложного спектра, величину углового шага целесообразно уменьшить до 1+3 . В этом диапазоне угловонарушается подобие спектра А 1 А) исходному спектру фотопроводимости 4(Л).Выбирают наибопее структурный спектр, Наиболее ясно структурность (неалементарность) сложного спектра проявпяечся, когда спектр ь 4 (Л) имеет области разного знака, Эти длины волн определяют участки спектра, в которых доминирует одна из5 6931полос. По количеству таких участков можно сделать вывод о количестве подполос,которые входят в состав исследуемогоспектра,Если число подполос превышает две,топрименяя внешние воздействия, сводятих количество к двум. В качестве такихвоздействий могут быть выбраны электрические иди магнитные...

Номер патента: 578424

Опубликовано: 30.10.1977

Авторы: Брудный-Челядинов, Будянский, Сорокоумов

МПК: E21B 17/00

Метки: забойный, клапан

...8 камеры.Верхняя камера через ниппель 9 заполнена газом под давлением, а нижняя камера сооб щена с внутренней полостью направляющей клапана через гидродинамическое сопротив ление, например дроссель 10.Работает клапан следующим образом, Если не осуществляется подача жидкости по бурильным трубам, сжатый газ, находящийся в камере 7, занимает весь внутренний объем запорного органа 5. Благодаря этому средняя плотность запорного органа меньше плотности промывочной жидкости, вследствие чего он всплывает и размещается в седле 3, перекрывая канал а. При включении насоса жидкость будет поступать через открытый канал б в забойный механизм, например в турбобур, а запорный орган 5 будет прижат к седлу 3 перепадом давлений, срабатываемым в забойном...

Номер патента: 447621

Опубликовано: 25.10.1974

Авторы: Будянский, Зозулев, Черноус

МПК: G01R 19/00

Метки: имитатор, нестабильности, переменного, сети, трехфазной

...ключом илиуправления,Это приводит к электроэнергии на последовательно с и и вносит погрешнос дополнительных соп ратора (нагрузки).начительныл потерямрезисторах, включенных сследуемой аппаратуро ь в измерения за счетротивлений в цепи генеиевский ордена Трудового Красного Знамени завод электронныхтчислительных и управляющих машин.Регулируюший элемент 2 имеет три идентичных канала в каждой фазе, поэтому устройство и действие его описывается для фазы Л. Выход первичной обмотки 7 транс-, форматора 3 подсоединен к фазе А сети переменного тока, а вход подсоединен к вы-. ходу обмотки 8 трансформатора 4.Входы первичных обмоток типа 8 во всех фазах соединены между собой в звезду,, 0 Выход вторичной обмотки 9 трансформатора 3 подсоединен к фазе...

Номер патента: 146836

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Будянский, Миловзоров

МПК: H01H 35/00

Метки: выключатель, конечный

...действия сил на магнитоупругий датчик КВ, или КВ, мост был уравновешен по основной гармонике.При подходе регулирующего органа к крайнему положению магнитоупругий датчик КВ, или КВ, (в зависимости от направления движения регулирующего органа) испытывает силу сжатия от соприкосновения с ограничителем. Так как сопротивление того или иного магнитоупругого датчика изменяется, мост разбалансируется В зависимости от того, на какой датчик действует сила, напряжение разбаланса имеет определенную фазу, совпадающую с фазой напряжения трансформатора Тр; или противоположную ей. В зависимости от этого на выходе фазочувствительного усилителя -- выпрямителя ФЧКВ появляется выпрямлен14 б 836 ный и усиленный сигнал, который запирает магнитный...