Покроев

Номер патента: 1653484

Опубликовано: 20.08.1995

Авторы: Будянский, Гомжин, Ефремов, Лебедев, Покроев

МПК: H01L 21/306

Метки: плазмохимического, пленок, удаления, фоторезиста

СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТА с образцов, имеющих диэлектрические слои, включающий непрерывный напуск рабочего газа и откачку продуктов реакции, активацию потока рабочего газа плазмой ВЧ-разряда, отделение зоны активации газа от зоны обработки образца, размещение образца в зоне обработки в потоке активированного разрядом газа и удаление полимерной фоторезистивной пленки под действием химически активных частиц, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годной продукции путем сокращения числа электростатических пробоев тонких диэлектрических слоев обрабатываемых изделий, определяют напряжение пробоя диэлектрического слоя V* и в процессе удаления фоторезиста контролируют потенциал плазмы в зоне...

Номер патента: 1573896

Опубликовано: 09.07.1995

Авторы: Будянский, Плетнев, Покроев, Фареник

МПК: C23F 1/00

Метки: плазмохимического, травления

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ, включающее диэлектрическую реакционную камеру, перфорированный металлический экранирующий элемент, подложкодержатель с пластиной, размещенный внутри реакционной камеры, отверстия для напуска и откачки газа и индуктор для возбуждения ВЧ-разряда, витки которого охватывают реакционную камеру, отличающееся тем, что, с целью увеличения скорости травления и повышения качества обработки путем уменьшения загрязнения поверхности образца продуктами распыления, экранирующий элемент расположен между витками индуктора и камерой и охватывает ее.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что металлические заземленные детали, составляющие экранирующий элемент, образуют проводящую поверхность,...

Номер патента: 1045178

Опубликовано: 30.09.1983

Авторы: Жук, Покроев

МПК: G01R 31/02

Метки: интегральных, контактирования, схем

...озондовкоторого соединяют соответственноконтактные площадки интегральнойсхемы с входами .блока измерения, 45и-вход которого соединен с выходомблока управления, второй выход которого соединен с входом источниканапряжения, выход которого через изонд блока зондов соединен с соответствующей контактной площадкойинтегральной схемы, элемент И, введены преобразователь ток-напряжение,блокопорных напряжений, блок элементов сравнения и индикатор, причемвторой выход источника напряжениясоединен с входом преобразователяток-напряжение, первый выход которого через и+1 зонд блока зондов соединен с соответствующей контактнойглощадкой интегральной схемы, а 60второй, выход - с первым входом блока,элементов сравнения, первая группаг.-1-входов которого...

Номер патента: 995003

Опубликовано: 07.02.1983

Автор: Покроев

МПК: G01R 19/165

Метки: двухпороговое, уровня

...подается на О-вход треть.его 15 триггера (фиг, 2), На счетный входэтого триггера подается сигнал Ос выходатретьего 3 порогового элемента. При переходе напряжения Ор 5 с низкого к высо.кому уровню третий триггер 15 фиксируетрезультат измерения: единица-уровень используемого сигнала лежит внутри допусковойзоны, нуль - вне зоны (эпюра ТЗ нафиг. 2).После фиксации третьим триггером 15 результата измерения первый 12 и второй 13триггеры могут быть переведены в исходное состояние и подготовлены к новому из.мерению во время очередного периода колебания исследуемого сигнала. Установка триггеров 12 и 13, как сказано выше, осуществляется с появлением высокого уровня напряжения Орэ на выходе третьего 3 порогового элемента, т.е, одновременно с...

Номер патента: 926768

Опубликовано: 07.05.1982

Авторы: Покроев, Сиротина

МПК: H03L 7/00

Метки: синтезатор, цифровой, частот

...Этот код поступает на блок 5, который формирует значение управляющего напряжения, величины емкости конденсатора или другого Физического параметра, с помощью которого осуществляется выбор диапазона работы перестраиваемого генератора 6, т,е. производится его грубая настройэз ка. Одновременно с занесением кода в блок ч заносится начальный код враспределитель 0 и в регистр 9. (Цепи занесения начального кода в распределитель 8 и регистр 9 на чартежеаоне показаны).В качестве начального кода регистра 9 выбран код 100 О, т.е. единица записана в старший разряд, а в остальные - нули. Этот код,преобразованный ЦАП 10 в аналоговую величину напряжения, через Фильтр 11 поступает на вход перестраиваемого генератора 6, который под воздействием...

Номер патента: 911363

Опубликовано: 07.03.1982

Авторы: Жук, Покроев

МПК: G01R 23/20

Метки: автоматический, гармоник, измеритель, коэффициента, цифровой

...детектора 5. При этом он сохраняет у веРхний уровень, равный единице, если частота на выходе делителя выше требуемой и имеет уровень, равный нулю, если частота на выходе делителя 4 ниже требуемой. Одновременно триггеры делителя 4 сбрасываются в нуль, а в триггеры делителя 3 вновь записывается качающий код с регистра 8 через блок 9. Таким образом, в следующий период измеряемого сигнала коэффициент деления делителя 3 будет отличаться от предыдущего на 50. По окончанию очередного периода в третий триггер регистра 2 записывается единица, а предшествующий ему триггер переписывает на свой выход результат с детектора 5. При этом триггер останется в единице, если частота на выходе делителя 4 выше требуемой и сбрасывается в нуль, если частота на...

Номер патента: 576666

Опубликовано: 15.10.1977

Авторы: Кошель, Кузьмин, Покроев, Сиротко

МПК: H04L 7/02

Метки: последовательностью, синхронизации

...первый и второй переключатели находятся в положении а, когда тактовая частота ггг-последовательности, генерируемой опорным генератором б, равна 1. где 1, - тактовая частота принимаемой 30 т-последовательности.Входной сигнал поступает через блок поэлсмсптного приема 3 на третий переключатель 16, который усти(вливстс 5 в положение гг тгиовы нну;со г(к то в 1)с(сг) сдвига 5 згносггс вьборк( нз прин гого сигнала. Затем переключатель 16 переводится в положение б и в течение Л/п тактов осуществляется продвыксние выборки в регистре, после чего в регистр заносится следующая выборка и т. д. Поскольку длина регистра сдвига 5 равна /. - 1, в момент занесения и+1 выборки первая оказывается во втором разряде, а в момент занесения п+2 выборки во...