G01B 9/02 — интерферометры

Номер патента: 1416860

Опубликовано: 15.08.1988

Авторы: Ильин, Старков

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, объектов, перемещений

...диафрагмы 14 и 15 и детекторы 16 и 17.Интегратор работает следующим образом.Пучок излучения от лазера 1 расширяется телескопической системой 2 и попадает на светоделитель 3, где делится на измерительный и опорный. Измерительный пучок, отразившись от зеркала 4, падает на отражатель 6, отражается им обратно параллельно самому себе, проходит оборачивающую призму 13 и возвращается вновь на светоделитель 3.Опорный пучок проходит ромбическуюпризму 11, смещается ею перпендикулярно пучку на величину его диаметра аа и падает на первый неподвижный отражатель 8 и, отразившись от него, идет обратно параллельно самому себе через призму 13 на светоделитель 3.Оба пучка вторично делятся светоделителем 3, интерферируют и, создав две картины...

Номер патента: 1416861

Опубликовано: 15.08.1988

Авторы: Савкин, Федченко

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений

...Грани выполнен прозрачным длялуча света и имеет длину, равнуюребру, и ширину, определяемю поФормуле45= -Д(2-ьд)Для того,чтобы не внести искажений вход луча света в световозвращающей системе, ширина зеркал 22 (23)и 24 (25) не должна превышать четырех расстояний 3,Фотоэлектронный блок 14 фиг. 4)содержит фотоприемники 26 и 27, входы которых оптически связаны соответственно с поляроидами 10 и 11,а выходы электрически связаны с входом блока 28 определения направления перемещения, а выход фотоприемника 26 также связан с одним из вхоцов реверсивного счетчика 29, второйзвход которого связан с выходом блока 28. Выход реверсивного счетчика 29 является выходом интерферометра,Интерферометр работает следующим образом.Луч от источника, 1...

Номер патента: 1421990

Опубликовано: 07.09.1988

Авторы: Ларионов, Лукин, Маврин, Мустафин, Рафиков, Федорова

МПК: G01B 9/02

Метки: кривизны, оптических, поверхностей, радиусов

...держателяобразцовый оптический элемент 8 иустанавливают в держатель контролируемый оптический элемент 11, после чего перемещают держатель в положение, при котором обеспечиваетсяавтоколлимационный ход лучей в устройстве, при этом контраст интерференционных полос на экране регистрирующего блока будет максимальным,после чего снимают второй отсчетизмерителя 9 перемещений, По разности двух отсчетов определяют знаки величину отклонения радиуса кривизны контролируемой поверхности отноминального значения,/Установка корригирующей голограммы 7 позволяет уменьшить сферическую аберрацию телескопической системы 4, что приводит к повышению контраста интерференционной картины, аследовательно, и точности измерения за счет повьюпения точности продольной...

Номер патента: 1421991

Опубликовано: 07.09.1988

Авторы: Комраков, Лазарева, Пуряев

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: асферической, линзы, поверхности, формы

...блок 1 формируетпучок лазерного излучения требуемой конфигурации, который после отражения от светоделителя 2 разделяется образцовой поверхностью пластины 3 на два пучка - объектный, который проходит через поверхность пластины 3, и опорный, который отражается от нее. Первоначально компенсатор 4 отсутствует и объектный пучок,проходит через иммерсионную жидкость 5,:контролируемую асферическую99 35 д 0 лируемой поверхностью линзы компен 45 где Ь - длина волны излучения;Х - допустимая погрешность формыконтролируемой поверхностилинзы50 вновь освещают контролируемую поверхность объектным световым пучком и регистрируют вторую интерферограмму , а корректировку интерферограммы выполняют вычитанием первой интерферо...

Номер патента: 1425434

Опубликовано: 23.09.1988

Авторы: Бараш, Пресняков, Резников

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений

...5, состоящий из последовательно установленных плоского зеркала 6, четвертьволновой пластины 7, двоякопреломляющего кристал ,ца 8 и ориентированных параллельнд друг другу и основанию трехгранного уголкового отражателя 3, отражатель 5 установлен с возможностью перемещения в одном из потоков от 25 светоделителя 2 со смещением относительно трехгранного уголкового отражателя 3 и фотоприемник 9, установленный в другом потоке бт светоделитля 2. ЗОИнтерферометр работает следующим образом.Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 разд 6 ляется на два потока, один иэ кото 35 рых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на трехгранный уголковый отражатель 3. После отражения от его боковой грани пбтока...

Номер патента: 1425435

Опубликовано: 23.09.1988

Авторы: Бараш, Пресняков, Резников, Фокин

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений

...потокнаправляют на вторую четвертьволно вую пластину 6, которая сообщает ему циркулярную поляризацию. После выхода из второй четвертьволновой 40 пластины 6 излучение направляют на второе плоское зеркало 7, скрепляемое с объектом (на чертеже не показан), которое и возвращает излучение на вторую четвертьволновую пластину 6, в которой циркулярно поляризованному излучению сообщают линейную ортогональную поляризацию, в связи с чем плоский поляризатор 5 отклоняет иэлуочение на угол 90 - с(9 где аС - угол преломления луча в поляризаторе, Навыходе из плоского поляризатора 5излучение направляют на первую чет"вертьволновую пластину 4, котораясообщает ему линейную ортогональнуюполяризацию. Последний проход излучения направляют на первое...

Номер патента: 1425437

Опубликовано: 23.09.1988

Авторы: Алипов, Назмеев, Феоктистов, Хуснутдинов

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: выпуклых, интерферометр, параболоидов

...фокусирующую оптическую снстему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5, двойное плоское зеркало 6, второй светоделитель 10, входной объектив 9 системы регистрации интерФеренционной картины, экран 11, афокальную систему, состоящую иэ линзовых компонентов 7 и 81 ил. плоских зеркал, расположенных под. 1углом 90 друг к другу, оптическую систему, выполненную афокальной и состоящую из двух положительных линзовых компонентов 7 и 8, расположенных по разные стороны светодетителя 5, систему (не чертеже не показана) регистрации интерференционной картины, включающую входной объектив 9, второй светоцелитель 10, экран 11.Интерферометр работает следующим образомСвет от источника 1 монохроматического излучения фокусирующей опти ческой...

Номер патента: 1427168

Опубликовано: 30.09.1988

Авторы: Вахрамеев, Горнов, Людаговский

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...следующим образом.Луч от источника 1 монохроматического света с помощью коллиматора 2преобразуют в узкий параллельный пучок света и подают на светоделитель 3.оЗатем луч отражается под углом 90и попадает на светоделитель 4, который образует два луча. Один луч проходит светоделитель 4 и уголковыйотражатель 5, попадает на отражающийзеркальный слой 9 светоделителя 4,возвращается прежним путем и совместно с вторым лучом, отраженным от светоделителя 4, попадает на светоделитель 3. Затем оба луча, отражаясьот светоделителя 3, направляются нарасширяющую линзу 6 и в плоскостифотоприемника 7 создают интерференционную картину,Испытуемый образец 8 располагаютна обеих половинах поверхности светоделителя 4 так, что осевые линии образца 8 и...

Номер патента: 1435933

Опубликовано: 07.11.1988

Автор: Конопелько

МПК: G01B 9/02

Метки: интерференционное, расстояния

...и фотопреобразователь 14 второго интерферометра регистрируют интерференционные картины.Из-за разности длин щизмерительных плеч интерферометров напостоянную величину 1 сигналы, снимаемые с выходов фотопреобразователей 8и 14, будут различны, С выходов Фотопреобразователей 8 и 14 сигналы поступают на узкополосные фильтры 9 и15 соответственно, Выделенные измерительные сигналы поступают на частбтомеры 10 и 16, где измеряются их часГ1 -212ееют ш ЙЙЮМЮее еюае агсв 3 п ЯР,/431 агсвьп ТР/4 й агсвхпР/4 ю 1 асгв хп и Рю /43-агсв ьп Т Р /4 И(1) где Ью ию, - длина опорных плечпервого и второго интерферометров;Р, и Р - частоты измерительныхсигналов, измеренные частотомерами 10 и 16;80 - девиация частоты излучения лазера.Принцип измерения расстояния...

Номер патента: 1435935

Опубликовано: 07.11.1988

Авторы: Васильев, Хопов

МПК: G01B 11/02, G01B 11/24, G01B 9/02 ...

Метки: геометрических, объектов, отражающих, размеров

...запоминающего 50 устройства 13, информационные входы которого соединены с выходом датчика б.Способ осуществляется с помощью данного устройства следующим образом. 55Светоделительная пластина 2 разделяет излучение лазера 1 на два параллельных пучка и направляет их на объект 14, Компенсатор 3 непрерывно изменяет разность оптического пути этих пучков, Пучки света, отраженные от объекта 14, совмещаются при помощи интерферометра сдвига, состоящего из линз 7 и 8 и дифракционной решетки 9. Диафрагма 10 служит для увеличения среднего размера элементов спекл - структуры света, отраженного от диффузионного объекта 14, поскольку фаза каждого спекла является случайной величиной, входное окно фотоприемника 11 должно быть меньше его среднего...

Номер патента: 1437680

Опубликовано: 15.11.1988

Авторы: Добровольский, Носов, Стеблин

МПК: G01B 9/02

Метки: интерференционное, объекта, положения, регистрации, углового

...9 возникает полеинтерференции, прецставляющее собой последовательность темных н светлых полос, параллепьньг, осн вращения концевого зеркала 5.При развороте концевого зеркала 5 на угол равный Ы.после прохождения атра;ю,еннога От нега ь 1 нфармацион ного пучка через телесистему б его угол отклонения относительно направления падающего пучка р увеличивается на величину, равную увеличению телесистемы 6, и определяется из зависимостигде Г - угловое увеличение телесистемычто, в свою очередь, приводит к изменению периода нтерференционной картины. С приближением концевого зеркала 5 к его нулевому положению период интерференционной картины приближается к действительной ширине диафрагмы фотоприемника 9. При этом возрастает амплитуда модуляции...

Номер патента: 1439389

Опубликовано: 23.11.1988

Авторы: Балицкас, Бунькин, Гульбинас, Жиленис, Магаршак, Малдутис, Сакалаускас

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, майкельсона, перемещений, типа

...лазера 1 иосью РПосле прохождения прямоугольной призмы 3 между компонентами луча с поляризацией вдоль Б- и Р-осей появляется разность фаз и - показатель преломления мариала прямоугольной призмы.На выходе интерферометра, послепрохождения опорного плеча, получаюциркулярно поляризованный луч, еслиудовлетворяются условия После подстанов (2) в (5) получаютзателя преломления 5 моугольной призмы птическои осью полята лазера и плоскоа на светоделитель Ход лучеи в измерительном плеинтерферометра следующий.1439389 где р - угол поворота плоскости поляризации после отражения от уголкового отражателя. Далее, пройдя ослабнтель 5, интен,сивности компонент луча равны(9) Компоненты интенсивности луча, отразившегося от ветоделителя 2, т.епрошедшие все...

Номер патента: 1441188

Опубликовано: 30.11.1988

Авторы: Ивахник, Козлов, Козырев, Красночуб, Никонов

МПК: G01B 9/02

Метки: гетеродинный, интерференционный, перемещений

...расходимостью пучков различных частот, и увеличиваетсяОрабочая эона измерений, Второй (опорный) световой пучок с помощью зеркала 9 и полупрозрачного зеркала 7 сводится с сигнальным пучком, отраженнымат исследуемого объекта 11. Результат интерференции сведенных пучковрегистрируется с помощью фотоприемника О,Результирующий сигнал в плоскости фотоприемника 10 представляет собой результат интерференции трех световых пучков, оптические частоты двух из которых совпадают и отличаются на заданную частоту А. от оптической час 55 тоты третьей. Переменная составляющая на частоте л. Результата интерференции в произвольной точке плоскости фотоприемника О зависит от разности хода между опорным и сигнальным пуч-ками следующим образом;8 Ярсов(Л...

Номер патента: 1441189

Опубликовано: 30.11.1988

Автор: Густырь

МПК: G01B 9/02

Метки: волн, длин, измеритель

...бы Лрбыло точным значением определяе 252(1-Я) .мой длины волны, ныреженнепРедв было бы целым числом 1 (с точностью до неопределенности значения Й и длины 1), однако за счет погрешности ,ВРедв в указанном соотношении появляется дробная часть Я . Отбросив (для выделения целой Части 1) дробную часть р в выражении (4). появившуюся за счет погрешности предварительного значенияйреад из соотНошЕнИя352(1-Е)=Ю 1 он й (5) можно найти уточненное значение длины волны Р. Те же самые операции 4 выполняются для второго, третьего и т,д. интерферометров, причем предварительным значением длины волны для каждого интерферометра служит уточненное значение длины волны, по-, 45 лученное для предыдущего интерферометра. Отношение (3) верно и при паре...

Номер патента: 1442817

Опубликовано: 07.12.1988

Авторы: Авдеев, Куренкова, Скрипаль, Тупикин, Усанов

МПК: G01B 11/30, G01B 9/02

Метки: глубины, дефектов, объекта, поверхности

...плоскопараллельную пластину 2, покрытую светоделительным слоем и разделяютна два пучка, один из которых отражаетсяот светоделительного слоя и образует первую ветвь интерферометра, вторая половинапучка, пройдя сквозь пластину 2, образуетвторую ветвь. После прохождения первогопучка лучей через объектив 3 и отраженияего от поверхности контролируемого объекта 7 и после прохождения второго пучка лучей через объектив 4 и отражения его отэталонного зеркала 5, наклоненного подугломер, оба пучка соединяются на поверхности разделительной пластины 2 и наблюдаются в окуляре 6. В результате сложениядвух пучков в поле 8 зрения окуляра 6 вобласти дефекта 9 наблюдают систему 10интерференционных полос. Измеряют расстояние 1 а между. соседними...

Номер патента: 1455232

Опубликовано: 30.01.1989

Авторы: Аксенкин, Кабаев, Ковалев, Тюшкевич

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объекта, перемещений, поляризационный

...Фиксируемое регистрирующим блоком 4, однознач. но определяется разностью показателей преломления для обыкновенного и необыкновенного лучей в анизотропномаэлементе, из которого выполнен делитель 2 светового пучка, и его оптической толщины в месте прохождения луча, Разность показателей преломления обыкновенного и необыкновенного лучей определяется ориентацией оптических осей анизотропного элемента бтносительно направления луча источника 1 света, Нри перемещении анизотроаного элемента вверх (либо вниз) под воздействием исследуемого объекта оптическая толщина его в месте прохождения светового пучка будет увеличиваться (либо уменьшаться), что приведет к изменению разности Фаз между обыкновенным и необыкновенным лучами. Это в свою очередь...

Номер патента: 1067909

Опубликовано: 30.01.1989

Автор: Пуряев

МПК: G01B 9/02

Метки: выпуклых, интерферометр, поверхности, сферических, формы

...кривизны ее входной сферической эталонной поверхности - с задним фокусом четвертого объектива.Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и двух расположенных между ними плосковыпуклых линз, а 60 выпуклые поверхности менисковых линзобращены к плоским поверхностям плосковыпуклых линз.Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых линз и расположенной между ними двояковыпуклой линзы, Кроме того, линзовая система выполнена в виде двух положительных менисковых Недостатком известного интерферометра является ограниченность диапа" зона его применения, так как он пригоден только для .контроля поверхностей в проходящем светеКроме того, для каждой поверхности необходим компенсатор...

Номер патента: 1456772

Опубликовано: 07.02.1989

Авторы: Горлов, Лахин, Николаева, Трусов

МПК: G01B 9/02

Метки: адаптивный, интерферометр

...Я и по падает на зеркало 8, поверхность которого необходимо измерить, установленное в фокальной плоскости объектива 7, отразившись от зеркала 8 в обратном направлении, отражается отсветоделительного кубика 6 и черезсветосоединитель 9 попадает на первый фотоприемник 10, образуя измерительное плечо интерферометра. Второйсветовой по ок, отраженный от кубика 6, а затем через светосоединитель11 попадает на второй фотоприемник12, образуя эталонное плечо интерферометр а. Световой поток, продифр агированннй в первом акустооптическом модуляторе 2 и имеющий частоту Гг ++ й попадает на светоделитель 13,разделяется на два, один из них,пройдя через светосоединитель 9,интерферирует с измерительным световым потоком в измерительном плече иобразует...

Номер патента: 1460598

Опубликовано: 23.02.1989

Авторы: Сойту, Трегуб

МПК: G01B 11/27, G01B 9/02

Метки: интерферометр, кривизны, отражающих, поверхностей, радиусов

...поверхности совпадал с центром кривизны высокоточной поверхности сравнения мениска 7. Отра зившись от контролируемого объекта 1 световой поток, не измеяя своего сферического волнового фронта (при качественном изготовлении контролируемого объекта), возвращается в строго обратном направлении и на высокоточной поверхности сравнения мениска 7 интерферирует с вторым световым потоком, образуя интерференционную картину, которая при помощи линз 6 и 4, светоделительной пластины 3 и окуляра 5 рассматривается в поле зрения окуляра 5.Микросмещени-. ем контролируемого объекта 11 в направлении, перпендикулярном оптической оси, добиваются наличия в цоле зрения окуляра 5 определенного (в зависимости от метода обработки интерференционной картины)...

Номер патента: 1462097

Опубликовано: 28.02.1989

Авторы: Волков, Карпушко, Кульпанович, Смирнов, Шидловский

МПК: G01B 9/02

Метки: излучения, спектральных, характеристик

...излучения,содержащее оптически сопряженные фор мирующий телескоп, светоделительноеустройство, многолучевые интерферометры Физо, линейные фотоприемникис блоками управления и ЭВМ, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью у 0 повьппения точности измерений путем.исключения взаимной разъюстировкиинтерферометров, многолучевые интерферометры выполнены в виде моноблока,в котором все элементы соединены спомощью оптического контакта,. одноИз зеркал является общим и нанесенона пластину, установленную параллельно основанию моноблока, а ответныезеркала каждого из интерферометров 4 О нанесены на отдельные клиновые пластины различной толщины и установленына основании моноблока, причем клиньяпластин ориентированы в одном направленни, а толщины...

Номер патента: 1462098

Опубликовано: 28.02.1989

Авторы: Матяш, Носов, Переходько, Стеблин

МПК: G01B 9/02

Метки: дифференциальный, изменения, интерферометр, перемещений, угловых

...образом.Пучки лучей лазера 1 проходят светоделитель 3 и разделяются светоделителем 2 на два пучка лучей, один из которых проходит через призменный отражатель 13, отражается от зеркала 5 и возвращается на светоделитель 2. Второй пучок лучей отражается от зеркала 4, проходит через приэменный отражатель 14, отражается. от зеркала 6 и возвращается на светоделитель 2,5 фовмула изобретения Составитель А,ЗаболотскийТехред А.Кравчук Корректор В.Гирняк Редактор М.Андрушенко Заказ 661/37 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ЮеПроизводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 31462Возникающая интерференционная картина...

Номер патента: 1469343

Опубликовано: 30.03.1989

Авторы: Алексеев, Бубис, Вересова, Духопел, Еськов, Мартынова, Медведев, Муретов, Прохорова, Серегин, Трегуб, Шидловский

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, многоходовой, объекта, плоской, поверхности

...направленная светоделителем 3 в опорный канал, преобразуется третьим коллиматором 10 в узкий слабо сходящийся опорный пучок диаметром Й и через четырехзер кальный узел 11 направляется в многоходовой узел, в котором совершает многократные прохождения между отражателем 6 и вторым светоделителем 4, совершая при каждом прохождении отЗО ражения от контролируемой поверхности детали. Диаметр опорного пучка мал, поэтому его отражения от поверхностей элементов многоходового узла происходят на малых участках.Благодаря этому снижается влияние 35 ошибок указанных поверхностей на точность контроля. Деформация волнового фронта за счет неплоскостности участка поверхности контролируемого объекта пренебрежимо мала. Часть излучения, направленная...

Номер патента: 1472754

Опубликовано: 15.04.1989

Авторы: Гладырь, Степанов

МПК: G01B 9/02

Метки: интерференционный, линейных, перемещений

...Фронта центр которого оптически сопря 9жен с центром Б, сходящегося в прост ранстве объекта пучка излучения,Изменение интенсивности интерференци.нного поля по сечению совмещенных пучков при приближении точки. Б к центру Я происходит несинфазно.В центре интерференционного поля изменение нормированного значения интенсивности составляет Ф1 = 2 соз(21 сЕ), где 1 с - волновое число Е - величина осевого смещения точки отражения Б относительно центра Б а на краю поля из-за изменения положения центров кривизны Б н опорного Б и измерительного Фронтов нормированное значение интенсивности меняется в общем случае по закону2 1= 2 с 21 Е +(- 20 1 1 1(2) 1 1 1 )в +а Е где Х, - координаты точки анализа; а - расстояние от линзы до контролируемой...

Номер патента: 1474453

Опубликовано: 23.04.1989

Авторы: Кузнецов, Петровский, Спорник, Яничкин

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, сдвига

...1 излучения и коллиматор 2, и приемную систему, содержащую объектив 3, светоделительныйэлемент 4, выполненный в виде и пардифракционных решеток, имеющих разный период в паре и установленныхтак, что штрихи решеток в каждой паре пересекаются под разными углами,диафрагму 5, имеющую и радиальныхщелей, и плоскости б регистрации, 30Интерферометр работает следующимобразом,Коллиматор 2 формирует от источника 1 параллельный пучок, в которыйпомещается объект 7. Объектив 3 направляет пучок на светоделительныйэлемент 4, размещенный перед Фокальной плоскостью объектива 3. На каждойиз решеток, записанных нелинейно дляповышения дифракционной эффективности, возникает большое число дифракционных максимумов различных порядков, Диафрагма 5...

Номер патента: 1483311

Опубликовано: 30.05.1989

Авторы: Лукин, Тартаковский

МПК: G01B 9/02, G01M 11/00

Метки: интерференционного, оптических, формы

...ср. 1 золновой фронт, по ксторох 1 с 1 дитче:тв контроли руемогэ Оптческо; О изде,1 и.1 ил. ражается От контО, ипуе 10 1 ОО ьелтс 1 затем, вновь пройдя светсде.1 ите,ь 5, попадает в плоскость регистрации, где усНновлен сканирующий фотодетектор 1 О ПО оО 11 ночу каналу свет проходит, Отражая,. От эталонного зеркала 9, виоьь прохо 1 Я с;.Ртс дсли тель 5, совмещается со светом из обьектного канала в плоскости регистрации, где сбразуется выборочная интерферогра."а. Интерферограмма регистрипуется сканирук, - щим фотодетектором 10, из которого сИс в виде электрического сигнала поступает в анализатор 11, где реализуется один из из. вестных алгоритмов анализа интерферограмм. После анализа каждои из ингерферограмм серии анализатор 11...

Номер патента: 1490463

Опубликовано: 30.06.1989

Авторы: Воробьев, Даубаев, Недбай, Суденков

МПК: G01B 9/02

Метки: двухлучевом, интерферометре, многократных, отражений

...их по окружности аналогично расположению уголкового стражателя 5 так, чтобы они не перекрывали сходящиеся в. Фокусе лучи и обеспечивали последовательное прохождениеоптического луча (каждый раз посяеотражения от контролируемого объекта) дополнительно устанавливаемыхуголковых отражателей.Увеличение чувствительности возможно и заменой последнего по ходу луча уголкового отражателя плоским зеркалом, В этом случае луч проходит обратный путь и допопнительно испытывает такое же копичевтво отражений, как при первоначальном проходе. Ввод и вывод оптического луча иэ устройства может производиться двумя различными уголковыми отражателями. Вместо уголковых отражателей для нвода и вывода из устройства оптических лучей могут быть использованы и...

Номер патента: 1497450

Опубликовано: 30.07.1989

Авторы: Елисеев, Ларионов

МПК: G01B 9/02

Метки: децентрировки, интерференционное, линзы

...контролируемой линзы 14 и, отразившись от светоделителя 2, попадают в объектив 4 . После объектива 4 пучки лучей делятся светоделительным кубиком 5 на два пучка лучей, один из которых проходит через светоделительный кубик 5, маску 6, светоделительный кубик 7 и собираются окуляром 8 наэкране 13. Второй пучок лучей отражается от светоделительной граниИнтерференционное устройства дляконтроля децентрировки линзы, са держащее лазер и последовательно установленные по ходу пучка лазера светоделитель и узел крепления контролируемой линзы, наблюдательную оптическую систему, оптическая ось кото О рой сопряжена через светоделительс осью пучка лучей лазера, включающую последовательно установленныепервый объектив, первую маску, установленную...

Номер патента: 1497451

Опубликовано: 30.07.1989

Авторы: Карашоков, Нескородов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, объектов, перемещений

...5 на поверхность вибратора 6,отражается от нее, вновь восстанавливается линзой 5 и также возвращается на светоделитель 2 таким образом,что оба луча создают на поверхностифотоприемника 7 интерференционнуюкартину, смещающуюся при смещенииподвижного отражателя 3,При подаче модулирующего напряжения от генератора 9 на пьезокерамический вибратор 6 последний вибрируети вызывает изменение Фазы опорного светового луча с частотойравной частоте модуляции, что всвою очередь вызывает вибрацию интер-"Ференционной картины с той же частотой. Смещение интерференционной картины регистрируется Фотоприемником7 в виде электрического сигнала Мх 4 УЙ . 2% ЙБ = Б + Б зхп( -+ -зп ".).Фп о 1Л постоянная составляющая выходного напряжения фотоприемника...

Номер патента: 1499108

Опубликовано: 07.08.1989

Авторы: Кулакова, Пуряев

МПК: G01B 9/02

Метки: вращения, интерферометр, качества, поверхностей

...из лицэ 2 и 3, котораяуменьшает расходимость пучка и расширение диапазона апертур круемых поверхностей. Это дся за счет реализации принципа разделения волнового Фронта на рабочийи эталонный по полю, Для этогообъектив расположен так, что перекрывает часть пучка излучения, формируемого телескопической системой,При этом задний фокус объектива совпадает с задним фокусом зеркальнойсистемы, образованной исследуемойповерхностью вращения и последнейпо ходу лучей поверхностью объектива,являющейся средством совмещения рабочего и эталонного волновых фронширяет его диаметр, Центральная часть пучка направляется в объектив 4, который формирует эталонный волновой фронт. Периферийная часть этого же пучка направляется на контролируемую поверхность 5,...

Номер патента: 1499109

Опубликовано: 07.08.1989

Авторы: Михайлов, Подвигалкин

МПК: G01B 9/02, G03C 5/00

Метки: записи, интерферограмм

...оптическую систему 7 фокусировки, преобразуется н ряд со сходящимися снетоными пучками тдк, что начала расхождения световых пучков одного ряда и места схождения пучков второго ряда расположень симметрично относи-. тельно поверхности светочувствительного материала.Сформированные таким образом два ряда снетоньх пучков соответственно совмещаются н плоскости Фотоматериала, где регистрируется ряд интерферограмм с экспозицией, изменяющейся по геометрической прогрессии, и с периодами интерференционных полос в диапазоне от Я2 нкап(в -Ц)2 я 1 п(о(+11)где 1 и ка света; разом.Световой поток от когерентногоистч,1:встд разделяется туле2 длсьц, етоного пучка на двенет 1 с рсдс тном полупрозрачнт оз ркапа еркалд 4, д затем плс -период...