G01B 9/02 — интерферометры

Номер патента: 1567869

Опубликовано: 30.05.1990

Авторы: Носов, Переходько, Стеблин

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, перемещений

...соединенными светоцувствительными площадками, в результате чего фотоприемник представляет собой два фотоприемника со светочувствительными площадками размером 1 Х 2 мм в об(цем корпусе.Устройство работает следующим образом.Луч От источника 1 когерентного излучения нона;шет в светоделитель 2 на полунрозрачнук) зону ), из которой он выходит н дву направлениях: луч а попадает на второй голкоиый отражатель 9 и луч в на нрн(,11 ОГковый отражатель 7. ОтразивИись Ог отражателей 9 и 7, лучи а и в ион(д( ОИа зеркальную 4 и прозрачную 5 зоны светоделителя 2 соответственно. ,1 ч а, Отразившись от зеркальной зоны 4, и луч в, прошедший прозрачную зону 5, с помошьк третьего уголкового отражателя 6 смешаются но высоте не менее, чем на диаметр...

Номер патента: 1567870

Опубликовано: 30.05.1990

Автор: Переходько

МПК: G01B 9/02

Метки: величин, интерферометр, линейных

...5 попадает нз отражатель 7 со смещением относительно ребра 8 рабочего двугранного угла, где смецдается в вертикальном направлении, после чего луч возвращается по тому же пути в обратном направлении опять на свето- делитель только со смешением по вертикали. Второй луч с после светоделителя 2 отражается от зеркала 14 и отражателя 16, после которого смешается в плоскости чертежа и в обратной последовательности возвра 1 цается на светоделитель, но уже на зеркальную его зону 4. После отражения от зеркальной зоны 4 луч последовательно отражается от дополнительного огражателя 7 со сл 1 егцениел 1 чо высоте зеркальной зоны 4 светоделителя и точно в обр;тной последовательности возвращаетс, нз полупрозрачную зону 3 светоделителя, где смешивается с...

Номер патента: 1578456

Опубликовано: 15.07.1990

Автор: Недбай

МПК: G01B 9/02

Метки: двухлучевом, интерферометре, многократных, отражений

...8, и образует интерФеренционную картину, которая регистрируется, блоком 9.Изобретение позволяет повысить виброустойчивость интерферометра за счет того, что лучи, отражаемые зеркалом 6, собираются оптическим элементом 4 на зеркале,.благодаря чему уменьшается вероятность ухода интерферируюцих лучей за пределы чувствительной плоцадки фотоприемника. Одновременно повышается пространственное разрешение устройства, поскольку отражение всех лучей происходит от небольшого участка поверхности зеркала б.Поворотом отражателя и его поворотом .совместно с собирающим элементом 4 относительно центров зеркал 5 и 6 появляется возможность изменять количество отражений от зеркала б,и, тем самым, изменять чувствительность интерферометра. Формула...

Номер патента: 1578457

Опубликовано: 15.07.1990

Авторы: Кокоулин, Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...2 на опорный, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и на измерительный, отраженный от нее. Измерительный пучок .отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачнойповерхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси У в зонеприемника 6 света формируется интер.ференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос (пятен).Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемещения отражателя 5,Плоскопараллельная пластина 4необходима для финишного совмещенияопорного и отраженного лучей на. приемнике 6 света, так как юстировочнаяподвижка зеркал 2 и 3 и уголковогоотражателя 5 приводит одновременнокак к смещению опорного и измеритель-ного, лучей параллельно друг...

Номер патента: 1578458

Опубликовано: 15.07.1990

Автор: Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...за счет воэможности задания требуемой точности измерения, например, при использовании в устройствах совмеще- ния для микролитографии.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для измерения линейных перемещений.Интерферсметр содержит источник 1 света, полупрозрачные зеркала 2 и 3,расположенные на оси источника 1 света, уголковые отражатели 4 и 5 (уголковые отражатели могут состоять как из двух, так и из трех отражающих поверхностей), расположенные по обе стороны от полупрозрачных.зеркал 2 и 3, со смещением по оси Х друг относительно друга. Величина смещения а определяется размером в полупрозрачных зеркал (эеркало 2 не должно перекрывать пучки света, отраженные от отражателей 4 и 5, то есть ав/2) Один из уголковых...

Номер патента: 1578551

Опубликовано: 15.07.1990

Авторы: Агурок, Герловин, Голод, Дич, Скворцов, Трегуб

МПК: G01B 9/02, G01M 11/00

Метки: объективов, поверхностей, сферических

...Ы (г,сд+ М (г, -ц), (1) где М (г,) - двумерные Функции,описывающие отклонение от сферичности поверх- ностеР 3 и 5 соответственно в полярноР системе координат, полюс ко-.торой совпадает с оптической осью объектива.После регистрации интерферограммы А один из объективов, например объектив 4, разворачивают вокруг оптической оси на произвольный угол и затем регистрируют следующую интерферограмму В, Для нее определяют суммарную разность ходач,(г,р = И,(г,ц)+ У (г, - с-ч), (2)где- величина разворота объектива,Затем объектив 4 разворачивают вокруг точки 0 так, чтобы оптические рси объективов 2 и 4 образовали угол, с вершиной в точке О. При этом происходит смещение зрачков объективов друг относительно друга. Оптимальным является смещение зрачка...

Номер патента: 1580156

Опубликовано: 23.07.1990

Авторы: Киселев, Коленко, Лачугин, Ульянов

МПК: G01B 9/02

Метки: дробной, интерференции, порядка, части

...поьрядков интерференции;1(- ) - функция Бесселя и-го поряд 4 Ака аргумента (4 А/Д);Я - длина волны оптическогоизлучения.Амплитуда четной гаРмоники имеет 55 вид;26 о Г 4 А Пф = р вз.п -- 1 (- - ) Ль Л.0 = 2 р зхп6 1 (- в ) , (2)2 4 иАр д ь ь Л Для нечетннх гармоник соответствующее выражение имеет вид Ц ф- "2 сов 6 1 (- - ) е (3)2 п 4 АВ 4 я ь ф Л Подстановка (2) и (3) в соотно шение (4) позволяет получить выражение, связывающее значения амплитуд гармонических составляющих и по известной амплитуде колебаний одного из зеркал интерферометра определить величину дробной части порядков ин- терференции г 1 2 А - +П + 0- агсс 18 (5) Способ реализуется следующим образом. С помощью лазерного интерферометра Майкельсона, образованного источником 1...

Номер патента: 1580157

Опубликовано: 23.07.1990

Автор: Степаненков

МПК: G01B 9/02

Метки: зеркала, интерферометра, перемещения

...- жесткость стержней 6.Благодаря пазу 13 и наклонному закреплению стержней 6 и 8 угловые Фперемещения кольца 7 сопровождаются осевым перемещением, котороЕ определяют по формулегде К . - радиус окружности, на которой размещены стержни 6;с( - угол наклона стержней 6 коси обоймы 3.Угловые перемещения кольца 7 обеспечивают осевое перемещение кольца 9, которое определяют по формулеН = К. уапцгде К - радиус окружности, на которой размещены стержни 8;О - угол наклона стержней 8 коси обоймы 3.,Осевое перемещение зеркала 10 определяется разностью перемещенийН и Н, и обеспечивает сканирование5по прямолинейной траектории и строгую ориентацию различных эон зеркала10 относительно оптической оси,Устройство работает следующим образом,Задают...

Номер патента: 1587326

Опубликовано: 23.08.1990

Автор: Амстиславский

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, учебный

...зависимости от положения второй призмы 5 в большей или меньшей степени покрывают полутемную область, соответственно увеличивая ее освещенность в области перекрывания, Прижатие15 20 призм и образование тонкой плоскопараллельной воздушной прослойки между гипотенузными гранями призм 4 и 5 приводит к полному перекрыванию бликов и в случае подготовленного интерферометра, когда соприкасающиеся грани призм тщательно очищены от пыли, в области перекрыванияформируются яркие и насыщенные красками интерференционные спектры,Отличительная особенность явления состоит в том, что картина представляет собойсовокупность полос равного наклона самыхпервых интерференционных порядков, и высокая степень временной ксгерентности перекрывающихся пучков...

Номер патента: 1587327

Опубликовано: 23.08.1990

Авторы: Мирошниченко, Салоид

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...к нормальному падению, на равнобедренную призму 3 с угломпри вершине 90, При этом траектория прохождения излучения не меняется, На малойграни 4 призмы 2 происходит деление потока излучения на два. Один поток, отразившись от светоделительного покрытия черезуголковый отражатель 6, попадает на ком-пенсирующую призму 8 и после отраженияпроходит все указанные элементы 4 и 3 вобратном направлении. Прошедший же через светоделительное покрытие поток проходит последовательно элементы 2, 7 и 8 впрямом направлении, После отражения вкомпенсирующей призме 8 лазерный лучпроходит элементы 7 и 2. Можно подобрать 45такое положение лазера 1, моноблока, состоящего из элементов 2, 3 и 8, при которомлучи, пришедшие от двух отражателей б и 7,совмещаются в...

Номер патента: 1587328

Опубликовано: 23.08.1990

Авторы: Бычков, Городишенин, Карцев, Коваленко, Титков, Черепица

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, расстояний

...направления излучения, и фотоприемник. блок измерения отношения сигналови СВЧ-генератор, выход которого электрически соединен с кристаллом, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью расширениядиапазона измерений, интерферометр снабжен первой и второй четвертьволновымипластинками, дополнительным двулучепреломляющим кристаллом, дополнительным фотоприемником и призмой Валастона, перваячетвертьволновая пластинка размещена между источником света и двулучепреломляющимкристаллом, дополнительный двулучепреломляющий кристалл, вторая четвертьволнов упластинка и призма Валастона установле Ьпоследовательно по ходу излучения между полупрозрачным зеркалом и фотоприемником,5 дополнительный фотоприемник размещен походу дополнительно...

Номер патента: 1589045

Опубликовано: 30.08.1990

Авторы: Калбазов, Калбазова

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: плоскостности, прозрачных

...источника 1 излучения направляют зеркалом 2 на объектив 3. Пройдя оптический клин 7, излучение попадает на объектив 4 колпиматора, затем на клиновидную пластину 5 и контролируемую деталь 9. Излучение, отражаемое от контролируемой детали 9 и эталонной 25 30 35 40 45 50 оптический клин, отклоняется от он тической оси и совершает круговое движение на экране 6. В результате чего параэитные интерфереиционные картины и участки с неравномерностью освещения, связанные с дифракцией когерентного излучения, на неизбежных загрязнениях оптических элементов, получают круговое перемещение .в плоскости экрана и при вращении клина с частотой более 24 Гц раэепгваются и становятся невидимыми, а исследуемая интерференционная картина остается при этом...

Номер патента: 1597527

Опубликовано: 07.10.1990

Автор: Соловьев

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, клиновидности, оптических, пластин

...зрения изображенияполос интерференционной картины постоянной ширины независимо от расстояния между отражателями 8 и 9. Объек 2 О тив 4 с рефлектором в виде зеркал 6и 7 образуют телескопическую систему,Контролируемую пластину 13 устанавливают на столик 5 так, чтобы нор 25 мали к ее рабочим граням составлялинебольшой угол с оптической осьюобъектива 4, Пучки лучей источника 1излучения (например, лазера) проходятчерез конденсор 2, светоделитель 330 и объектив 4 и параллельным пучкомпадают на грани контролируемой пластины 13 и после отражения от них проходят через объектив 4, отражаютсяот светоделителя 3, и последовательно35 отразившись от зеркал 6 и 7 рефлектора, падают на отражатели 8 и 9 в виде волнового Фронта. Перед...

Номер патента: 1597528

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Башков, Воронов, Мурзаханов, Тагиров

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, объекта, прямолинейности

...чего пучки света интерферируют между собой, Результирующую интерференционную картину перехватывают регистратором 9, который осуществляет счет интерференционных полос, проходящих через фиксированную точку в плоскости регистратора, например щелевую диафрагму.сПри наличии линейного смещения углового отражателя 2 от оси распространения пучка света лазера 1, например, вверх на величину Ь переотраженный пучок света от отражателя 2 также смещается вверх на величину 2 Ьр 20 (на фиг. 1 показано. пунктиром), В выпуклых цилиндрических зеркалах 4 точки падения и отражения луча смещаются вправо. Наличие кривизны в выпуклых зеркалах 4 приводит к изменению угла 25 падения луча на светоделитель 5 на величину с . Пучок света при этом в канале...

Номер патента: 1599824

Опубликовано: 15.10.1990

Авторы: Нырков, Рагульскис, Шержентас

МПК: G01B 9/02, G02B 5/10

Метки: деформируемое, зеркало, тонкопленочное

...пок,рытие 4, например серебро, на котором через маску методом плазмохимического напыления сформированы пьезоэлектрические элементы 5 (например,из оксида цинка). Между пьезоэлектрическими элементами 5 расположендиэлектрический слой б (например, изоксида гафния), который наноситсячерез маску пиролитическим методом,причем толщина диэлектрического слоя6 равна толщине пьезоэлектрическихэлементов 5, Фронтальная поверхностьпьезоэлементов 5 покрыта токопроводящим слоем (например, серебром), Каждый пьезоэлемент 5 токопроводящейдорожкой (например, из серебра) соединен с соответствующей контактнойплощадкой (например, из серебра).Источник питания (не показан) подключен к контактным плошадкам и токопроводящему слою 4.Зеркало функционирует...

Номер патента: 1610248

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Горшков, Лазарева, Пуряев, Фомин

МПК: G01B 9/02

Метки: выпуклых, интерферометр, поверхности, сферических, формы

...линзовой системы в сторону контролируемой детали 13 обращают ту из эталонных поверхностей,радиус кривизны которой ближе по значению к радиусу кривизны контролируемой поверхности. В процессе работы интерферометра на эталонную и контролируемую поверхности должно обеспечиваться нормальное падение лучей, Афокальный компенсатор и линзовая система сообща преобразуют гомоцентрический пучок, выходящий из обьектива 7, в гомоцентрический пучок, вершина которого совмещена с точками С и Ск, где располагаются центры кривизны эталонной и контролируемой поверхностей 12 и 13 соответственно. Рабочая интерференционная картина образуется в результате взаимодействия волновых фронтов, отраженных от поверхностей 13 и 12, причем поверхность 12 выполняет...

Номер патента: 1610249

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Байков, Бржозовский, Игнатьев, Мартынов

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, перемещений

...излучаемого светового потока; Я частота модуляции. Часть луча с частотой в - Я, имеющая вертикальную поляризацию, отклоняется первым поляризационным светоделителем 3 на уголковый отражатель 6, пройдя через который, сме шивается на третьем светосоединителе 12 с неотклоненной первым поляриэационным светоделителем 3 частью луча, имеющей горизонтальную поляризацию и прошедший через уголковый отражатель 7, С выхода третьего светосоединителя 12 на второй 5 светоделитель 9 поступает луч, содержащий две составляющие с оптической разностью хода, равной половине длины когерентности источника излучения, и ортогональными поляризациями.Часть этого луча смешивается на втором светосоединителе 11 с частью луча, имеющего частоту излучения щ,...

Номер патента: 1610250

Опубликовано: 30.11.1990

Автор: Мазуренко

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, многолучевой

...точке О, каждый раз смещается на зеркале 1 на величину 2 Л, где Ь- расстояние между центрами кривизны С 2 и Сз зеркал 2 и 3. Таким образом, полное число М лучей, интерферирующих в точке В, ограничено величинойМ = - ,(1)О2 Лгде О - поперечный разрез зеркала 1,Разность хода Я интерферирующих лучей Л 1, Л 2, а также последующих лучей, попадающих в точку В, равна с точностью до сферических аберраций. = 4 р + 2 Л Р/р, (2) где р - радиус кривизны зеркал;Р - расстояние от точки В до оси интерферометра, т,е. расстояние ВС 1. В выражении (2) первый член суммы соответствует разности хода в интерферометре со сферическими зеркалами. Это член не зависит от направления и положения пада ющего на интерферометр луча. Второй членсуммы зависит от...

Номер патента: 1610251

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Брда, Герасимов, Федорова

МПК: G01B 9/02

Метки: воспроизведения, поворота, углов

...ползун 23,который, перемещаясь, через кинематическую связь заставляет перемещаться стержень 33. Подают на пьезокерамическуювтулку 37 управляющее напряжение, и на сферическом упоре 36 происходит сложение перемещений от ползуна 23 и втулки 37.При измерении угловых величин с точностью 0,15 в диапазоне угла 60 и точно 1 1 стью 0,04 в диапазоне угла 15 требуется11поворот зеркала 4 со сверхвысокой равномерностью без скачков и без люфта приреверсивности. Для этого втулка 37 установлена между фланцами 31 и 34, Такая конструкция позволяет избежать "кивка" при контакте упора 36 с оправой 3 и перемещать оправу с точностью 0,05 - 0,1 мкм, Пружина 38 исключает люфт между упором.36 и оправой 3. При повороте оправы 3 лопасти 41, взаимодействуя с...

Номер патента: 1613849

Опубликовано: 15.12.1990

Авторы: Богачев, Воеводин, Гржехник-Жуковский, Левиков

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, квазиплоских, поверхностей, прогибов

...с каждым зеркалом так, что образуют между собой зубчатое зацепление. Составитель М. МининТехред Л.ОлийныкКорректор Т, Колб Редактор А. Огар Заказ 3885 Тираж 492 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям пи ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г,ужгород, ул. Гагарина, 101 Из обретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием изобретения по авт, св,У 578562.Бель. изобретения - расширение диапазона контролируемых прогибов деталей,На чертеже приведена схема интерферометра для контроля прогибов квазиплоских поверхностей деталей,Интерферометр содержит осветительне показан), выполненный в виделазера и. коллиматора, зеркало...

Номер патента: 1613853

Опубликовано: 15.12.1990

Авторы: Дроздов, Пуряев

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02, G02B 17/08 ...

Метки: астрономических, волнового, зеркал, компенсации, поверхности, формы, фронта

...лучи создают волновой Фронт, несущий информацию о погрешности. контролируемой поверхности зеркала,.и .на выходе из компенсатора попадают в анализатор волнового Фронта, например интерферометр (не показан),. На основании анализа выходящего из компенсатора еолнового фронта делают вывод о качестве изготовления контролируемой 25 поверхности зеркала. При настройке компенсатора на контроль асферического зеркала с заданными параметрами необходимо перемещением менисков 3 и 4 друг относительно друга и неподвижно установленной двояковыпуклой линзы установить расчетные значения воздушных промежутков С ии совместить изображение источника света с точкой СПо схемах, изображенным на фиг. 2 и 3, способ осуществляют следующимобразом.Источник 1 света...

Номер патента: 1620817

Опубликовано: 15.01.1991

Автор: Сороко

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР нои технике и предназначено для контроля параметров конусных поверхностей. Цель - возможность исследования конических волновых фронтов света за счет использования многолучевой интерференции, для получения которой каждое из полупрозрачных зеркал выполняют на конусном носителе, носители устанавливают на заданном расстоянии друг от друга по оси интерферометра с учетом угла конусности носителя и его длины прямолинейной образующей. 1 ил. Работа интерферометра основана на следующем.При освещении интерферометра сходящимся пучком света с коническим волновым фронтом часто сходящиеся лучи света фокусируются в линейный кроссовер на оси интерферометра и превращаются в расходящиеся лучи света....

Номер патента: 1620818

Опубликовано: 15.01.1991

Авторы: Бусурин, Дмитриев, Прохоров, Садовников

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометрический, многофункциональный, оптоволоконный

...фотоприемника 9.Световодные части линий 4 и 7 связи выполнены с диаметрами, не меньшими диаметра коаксиального световрда первичного преобразователя 5, и с числовыми аппертурами, не большими числовой аппертуры преобразователя 5.Преобразователь работает следующим образом,Излучение от источника 1 через фокусирующую систему 2. линию 4 связи и оптический соединитель 3 поступает на вход первичного преобразователя 5 (ПП), При этом возбуждаются одновременно стержневой и трубчатый световоды, Разность фаз оптических сигналов стержневого и трубчатого световодов записывается:где 3 я,фт - постоянные распространения стержневого и трубчатого световодов;1 - длина ПП.Чувствительность к любому внешнему воздействиюна длине волны 1 можно записать:б Г. = (Р...

Номер патента: 1627827

Опубликовано: 15.02.1991

Автор: Недбай

МПК: G01B 9/02

Метки: двухлучевом, интерферометре, многократных, отражений

...для многократных отражений н двухлученом интерЛероетре.Устройства содержит плоское зеркало 1, устдцавлеццае цд контролируемом объекте 2, Локусируюи эземецт 3 в виде собирающей линзы, уголковьй отражатель 4 и плоское зеркало 5, устацовлециое ца пути лучей между линзой 3 и зеркалом 1 с нозмомиостью поворота и цдправляощее сходящиеся ца зеркале 1 лучи. л гц зд:дцо)пдельца ге ати -ного юцд зеркало 1, 1 (лу 1 ) ия ц.:пиау 3,ся уголкаш мт лцзу 3, отца от ггсцо д ат з р(лнч 1 ) а 2етр, в кот рсм мае угтрагва1627827 Составитель И.МининРедактор И.Середа Техред М.Дидык орректор М.Шаро раж 376 аказ 3 НИИПИ одписцо ткрытиям при ГКНТ ССС д, 4/5 етениямушская н гударствеццого комитета по изо 113035, Иогква, Ж, Р изводгтвгнно-издательг.кий комбинат...

Номер патента: 1629748

Опубликовано: 23.02.1991

Автор: Шмалько

МПК: G01B 9/02

Метки: волноводный, интерферометр, оптический

...с одинаковой интенсивностью в плечи 5 и 6, Затем оно с помощью элементов 7 и 8 связи поступает в выходной полосковый волновод 9, где в зависимости от разности фаз ЬФна выходе возникает оптический сигнал соответствующей интенсивности, При Ь ф = линтерферометр(фиг. 1) в отсутствие управляющего сигнала обеспечивает получение выходного огггического сигнала, равного нулю. При ЬФ =л /2 интерферометр (фиг. 2) в отсутствие управляющего сигнала обеспечивает на выходе интенсивность оптического сигнала о/2, где 10 - интенсивность оптического излучения на входе в интерферометр. Зри атом элемент связи на двух связанных ОВ обеспечивает на выходе сдвиг фазы ЬФ = -л/2, а элемент сВязи на трех ОВ ЬФ = к,10 15 20 25 30 35 40 45 50 Таким образом,...

Номер патента: 1629749

Опубликовано: 23.02.1991

Авторы: Рачковский, Рубанов, Танин

МПК: G01B 11/24, G01B 9/02

Метки: поверхности, рельефа

...среду для освещения объекта;да - сдвиг фазы;г - расстояние от поверхности резонансной среды до точки объекта;. пи 1, ки - действительная и мнимая части комплексного показателя преломления.Ффереционной кар ьтате интерфе(4) Таким образом, койтраст Р связан с абсолютным рельефом поверхности. Соответственно, расстояние между интерференционными полосами указывает на относительную ра 3 ность между точками поверхности объекта, а контраст этих полос характеризует абсолютную удаленность соответствующих точек объекта от границы раздела поглощающая среда - окружающая среда. Составитель В.БахтинТехред М,Моргентал Корректор М.Шароши Редактор Н,Бобкова Заказ 431 Тираж 387 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям...

Номер патента: 1640529

Опубликовано: 07.04.1991

Авторы: Дымшиц, Желтов, Калугин, Листратова, Прохоров, Фабро, Шехтман

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...порядка определяется выражением в 1 п а 2 = и л, /б, где б - шаг решетки, 1640529длина волны излучения. Излучение, отразившееся от решетки 3 в максимум того же и-го порядка, направлено под углом а 1, определяемым выражением зи а= (п- -2 Ь)/О, где Л- разность глубин друх соседних полостей. Видно, что аа р, Кроме того, из сопоставления выражений для гхоз и а 2 следует, что разность а 2 - адля различных дифракционных максимумов различна, Следовательно, различна и величина смещения волновых фронтов, отраженных от решеток 2 и 3. Таким образом, в максимумах разных порядков одновременно образуются интерференционные картины с различной величиной сдвига.Величина сдвига волновых фронтов в максимумах в интерферометре задается заранее самой...

Номер патента: 1640530

Опубликовано: 07.04.1991

Авторы: Дымов, Тедеев

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, оптический

...7, которые скрещены друг с другом, причем ось одного из них параллельна плоскости отражения зеркал 3, 4 и превращается в линейно поляризованное излучение, т.е, плоскости поляризации пучков А и В перпендикулярны одна к другой. После того как эти пучки света по прохождении светоделителя 5 сложатся, пройдут через четвертьволновую пластинку 8, отразятся от зеркала 9, повторно пройдут через четверть- волновую пластинку 8, плоскость поляризации каждой из них повернется на 90. Оси Хд и Хв четвертьволновой пластинки 8 должны быть ориентированы под углом 45 к векторам напряженности электрического поля Ед и Ев падающих на нее пучков света А и В (фиг. 2). Таким образом, после повторного прохождения четвертьволновой пластинки 8 для луча А...

Номер патента: 1647237

Опубликовано: 07.05.1991

Авторы: Величенко, Вульчин, Демкив, Швец

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр

...восстанавливает сигнал, поступающий на его вход в виде дискретных отсчетов. Причем по первому выходу формируется непрерывный сигнал, 164723710 25 30 35 40 45 50 ка 12 управления,55 задержанный относительно реального сигнала фотоприемника 3 на один такт интервала дискретизации, а по второму выходу - сигнал, задержанный на пять интервалов дискретизации относительно входного или на четыре интервала дискретизации относительно сигнала, формируемого на первом выходе блока 9 интерполяции. Сигналы с обоих выходов блока 9 интерполяции сравниваются компаратором 10, и в момент их равенства на выходе компаратора 10 происходит изменение уровня напряжения с положительного на отрицательный или наоборот, в зависимости от соотношения разности...

Номер патента: 1651091

Опубликовано: 23.05.1991

Авторы: Дубков, Каринский, Ханков

МПК: G01B 9/02

Метки: двухлучевой, интерферометр, сканирующий

...уголкового отражателя 3 вдоль Я оптической оси интерферометра, 1 ил,щения вдоль оси луцка, вогнутое зеркало 4, оптически связанное с отражателем 2 и через светоделитель 1 с отражателем 3, и фотоприемник 5, установленный в фокусе вогнутого зеркала 4.Сканирующий двухлучевой интерферометр работает следующим образом.Коллимированный входной световой пучок делится светоделителем 1 на две части, Часть светового пучка а, отраженная от зеркальной поверхности светоделителя 1, уголковым отражателем 2 направляется на сферическое вогнутое зеркало 4, которым фокусируется на фотоприемнике 5. Другая часть светового пучка проходит мимо светоделителя 1 и уголковым отражателем 3. установленным с возможностью перемещения, направляется на зеркальную...