Интерферометр для контроля выпуклых параболоидов

(54) ИНТЕРФЕРОМЕ ПУКЛЬХ ПАРАБОЛО (57) Изобретение тельной технике зовано для техно тацианного контр лоидов в оптичес Цель изобретения зона контралируе вышение точности контроля благода РОЛЯ ТР ДЛЯ КО ИДОВ относитс и может бк измериь испольи аттеслог ко кая система по рабочую ветвь ивой пучок, отраж ОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИ(56) Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. - М.: Машиностроение, 1976, с. 98, рис, 38.Инюшин А,И. и Шифферс Л.А, Интерференционный метод контроля выпуклых параболических поверхностей. - 01 Ш, 1966, В 8, с, 19-21, рис. 1оля выпуклых парабоком приборостроении. - расширение диапа". мых поверхностей, по и производительности ря тому что оптичесоляет направить в терферометра светоенный всеми зонами1425437 5 10 15 20 25 30 контролируемой поверхности, Такимобразом, контроль выпуклых параболоидов с центральной рабочей зоной становится возможным проводить за одинприем, исключив дополнительную и менее точную операцию контроля центральной зоны с помощью пробного стек(ла. Интерферометр содержит источник 1монохроматического излучения и послеИзобретение относится к иэмерительной технике и может быть исполь,зовано для технологического и аттестационного контроля выпуклых параболоидов в оптическом приборостроении,Цель изобретения - расширение диапазона контролируемых поверхностей, повышение точности и производитель-. ности контроля благодаря тому, что световой пучок рабочей ветви направляется на контролируемую поверхность линзовым компонентом афокальной системы, фокус которого совмещен с Фокусом поверхности. Это позволяет полностью осветить контролируемую по Верхность и направить отраженный все" ми зонами контролируемой поверхности параллельный пучок в рабочую ветвь интерферометра, что дает возможность контролировать выпуклые параболоиды как с нерабочей, так и рабочей центРальной зоной, а также благодаря тому, что поверхность контролируется за один прием, что позволяет исключить дополнительную менее точную операцию контроля центральной рабочей зоны с помощью сферического пробного стекла.На чертеже изображена оптическая схема предлагаемого интерферометра.Интерферометр для контроля выпук" лых параболоидов содержит источник 1 монохроматического излученИя и последовательно установленные по ходу излучения фокусирующую оптическую систему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5 для разделения иэлуче" ния на две ветви - опорную и рабочую, эталонное. зеркало, расположенное в опорной ветви и выполненное в виде двойного зеркала б, состоящего из довательно установленные по ходу излучения фокусирующую оптическую снстему 2, диафрагму 3, объектив 4, светоделитель 5, двойное плоское зеркало 6, второй светоделитель 10, входной объектив 9 системы регистрации интерФеренционной картины, экран 11, афокальную систему, состоящую иэ линзовых компонентов 7 и 81 ил. плоских зеркал, расположенных под. 1углом 90 друг к другу, оптическую систему, выполненную афокальной и состоящую из двух положительных линзовых компонентов 7 и 8, расположенных по разные стороны светодетителя 5, систему (не чертеже не показана) регистрации интерференционной картины, включающую входной объектив 9, второй светоцелитель 10, экран 11.Интерферометр работает следующим образомСвет от источника 1 монохроматического излучения фокусирующей опти ческой системой 2 направляется в диафрагму 3, установленную в Фокусе объектива 4, Параллельный пучок, сформированный объективом 4 с помощью светоделителя 5, делится на опорную и рабочую ветви. Параллельный пучок опорной ветви, отраженный двойным зеркалом 6, с помощью второго светоделителя. 10 направляется во входной объектив 9 системы регистрации интерференционной картины, Параллельный пучок рабочей ветви проходит линзовый компонент 7 и направ.- ляется на контролируемую деталь 12 с выпуклой параболической поверхкостью. фокус параболической поверхl ности Г, совмещают с Фокусом Г линзового компонента 7, а оптическуюпараболической поверхности - с оптической осью афокальной системы. 35 Отраженный от параболической поверхности параллельный пучок проходитафокальную систему и, пройдя светоделитель 10, попадает во входнойобъектив 9. Интерференционную карти 40 ну, возникающую в результате взаимодействия рабочего и опорного пучков- 1425437 наблюдают непосредственно глазом из.фокуса Рр или на экране 11. Формула изобретения Составитель Л. ЛобзоваТехред М.Дидык Корректор М. Демчик Редактор Л, Зайцева Заказ 4756/35 Тираж 680 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Интерферометр для контроля выпуклых параболоидов, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно установленные по ходу 10 излучения фокусирующую оптическую систему, диафрагму, объектив, расположенный так, что его фокус совмещен с диафрагмой, и первый светоделитель дпя разделения излучения на две вет ви - опорную и рабочую, эталонное зеркало, расположенное в опорной ветви, оптическую систему, расположенную в рабочей ветви, и систему регистрации интерференционной картины, э 0 включающую входной объектив, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона контролируемыхповерхностей, повышения точности ипроизводительности контроля, он снабжен вторым светоделителем, установ"ленным между оптической системой рабочей ветви и входным объективом параллельно первому светоделителю, оптическая система рабочей ветви выполнена афокальной, состоит из двух положительных линзовых компонентов,расположенных по разные стороны первого светоделителя; и установленатак, что оптическая ось системы совмещена с оптической осью входногообъектива, а эталонное зеркало выполнено в виде двойного зеркала, состоящего из плоских зеркал, расположенных под углом 90 друг к другу, иустановленного так, что оптическаяось опорной ветви совмещена с оптической осью входного объектива,