Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта

1 В 90 ИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ ИДЕТЕЛЬСТВУ ТОРСК 4-2 ОСУДАРСТВЕЮНЫЙ НОМИТЕТ СО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫ(56) Авторское свидетельство СССРВ 1275205, кл. С 01 В 9/02, 1984.(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ЙЗИЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА(57) Изобретение относится к интерференционным измерениям линейныхперемещений, Целью изобретения является повышение точности измерения,Излучение от источника 1 светоделителем 2 разделяется на два потока,один иэ которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на трехгранныйуголковый отражатель 3. После отражения его от боковой грани поток направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, а на выходе иэ него - на четвертьволновую пластину 7, затем на плоское зеркало 6, после которого поток попадает снова на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему линейную поляризацию. Указанный поток направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, который отклоняет его на основание трехгранного уголкового отражателя Э и т.д. Далее поток проходит по тому же пути, но в обратном направлении. Фотоприемник 8 Е воспринимает усредненную интенсивность интерференционного поля, по которой определяют величину переме- С щения. 1 ил..Захаренкок Корректор Л.Патай Редактор Л.Зайцева Заказ 4756/35 Тираж 680 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к интерфе" ренционным измерениям линейных перемещений.Цель изобретения - повышение точ 5 ности йзмерения.На чертеже представлена схема иитерферометра.Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2 в ниде кб-призмы с зеркальным покрытием грани 1-1, противоположной источнику 1 излучения, делящий излучение на дваотока, трехгранный уголковый отража"ель 3 с отражающим покрытием 4 в сечении со стороны вершины, параллельном основанию, отражатель 5, состоящий из последовательно установленных плоского зеркала 6, четвертьволновой пластины 7, двоякопреломляющего кристал ,ца 8 и ориентированных параллельнд друг другу и основанию трехгранного уголкового отражателя 3, отражатель 5 установлен с возможностью перемещения в одном из потоков от 25 светоделителя 2 со смещением относительно трехгранного уголкового отражателя 3 и фотоприемник 9, установленный в другом потоке бт светоделитля 2. ЗОИнтерферометр работает следующим образом.Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 разд 6 ляется на два потока, один иэ кото 35 рых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на трехгранный уголковый отражатель 3. После отражения от его боковой грани пбтока направляют на двоякопреломляющий кристалл 8, а на выходе из него - на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему циркулярную поляризацию, а затем на плоское зеркало 6, после которого поток попадает снова на четвертьволновую пластину 7, которая сообщает ему линейную поляриза" цию. Укаэанный поток направляют на, двоякопреломляющий кристалл 8, который отклоняет его на угол(90 -,с 3,где а - угол преломления потока, вдвоякопреломляющем кристалле 8 и всвою очередь направляет на основание трехгранного уголкового отража"теля 3 и т.д. Поток, отраженный отпокрытия 4, направляют на двоякопреломляющий кристалл 8 по тому же пути,но в обратном направлении. Фотоприемник 8 воспринимает усредненную интенсивность интерференционного поля, покоторой определяют величину перемещения. Величина перемещения определяется либо способом счета интерференционных полос, либо способом нулейфункции Бесселя . Формула изобретения Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта, содержащий источник излучения, светоделитель, делящий излучение от источника на два потока, два отражателя, один иэ которых выполнен в виде трехгранного уголкового отражателя с отражающим покрытием в сечении со стороны вершины, параллельном основанию, второй установлен с возможностью перемещения в одном из потоков от светоделителя в направлении, перпендикулярном излучению от источника, и фотоприем" ник, установленный в другом потоке, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности, он снабжен последовательно расположенными четвертьволновой пластиной и двоякопреломляющим кристаллом, второй отЖражатель выполнен в виде плоского зеркала, четвертьволновая пластина и двоякопреломляющий кристалл ориентированы параллельно друг другу и основанию трехгранного уголкового отражателя", а второй отражатель, четвертьволновая пластина и двоякопреломляющий кристалл смещены относи" тельно трехгранного уголкового отражателя.1