Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН 5 4 С 0 1 В 9 с г.прг,ЕН ЕЛЬСТВ 8 ТОРСКОМУ С 8 а атить4,ертуостьпефи ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГННТ СССР ПИСАНИЕ ИЗ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ МНОГОКРАТНЫХ ОТРАЖЕНРЙ В ДВУХЛУЧЕВОМ ИНТЕРФЕРОГЕТРЕ(57) изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в двухлучевых интерферометрахдля регистрации механических быстропротекающих процессов. Нелью изобретения является повышение точностиинтерферометра за счет повышениячисла отражений и уменьшения габаритных размеров. Уголковый отража 801490 тель 4 направляет входной луч 1 наповерхность фокусирующего элемента,выполненного в ниде вогнутого эеркала 3, параллельно его оптическойоси. Луч фокусируется на поверхностплоского зеркала 1, установленногона контролируемом объекте 2. Отражясь последовательно от зеркал 1,уголконого отражателя 5, зеркал 3,1, 3 и уголконого отражателя 4, двукратно отраженный от контролируемого объекта луч Твыводится в схемуинтерферометра. Для увеличения крности отражений достаточно увеличколичестно уголковых отражателей5, расположив их по периферии апры вогнутого эеркапа 3, Между плким и вогнутым зеркалами кратносотражений возможно регулироватьремещением одного иэ уголковых отражателей.з.п. ф-лы, 2 ил.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интерФеренционных устройствахдля измерения малых перемещений,Целью изобретения является повншение точности интерферометра эасчет сокращения потерь света, увеличение кратности отражений и оптимизации компоновки элементов. 10На Фиг.1 приведено устройство многократных отражений, вид сбоку; нафиг.2 - то же, вид со стороны вогнутого зеркала.Устройство содержит плоское зеркало 1, установленное на поверхностиконтролируемого объекта 2 в Фокусесферического вогнутого зеркала 3.Между контролируемым объектом 2 изеркалом 3 на периферии световой 20апертуры вогнутого зеркала 3 расположены уголковые отражатели 4 и 5.Периферия световой апертуры вогнутого зеркала 3 определяется с учетом того, что установленные уголко 25вые отражатели 4, 5, возвращающиелучи, идущие параллельно оптическойоси, не должны перекрывать лучи,сходящиеся в фокусе, т.е, уголковыеотражатели 4,5 должны быть установлены на расстоянии 1, от оптическойоси вогнутого зеркала 3 больше, чемвеличина (1-Ь)/2 Г, где Г - фокусноерасстояние вогнутого зеркала 3; Ьего диаметр; 1 - расстояние между 35уголконым отражателем 4,5 и Фокусомвогнутого зеркала. С помощью уголкового отражателя 4, установленного счастичным перекрытием световой апертуры вогнутого зеркала 3, осуществляется ввод оптического луча из интерФерометра в устройство для многократных отражений и вывод его обратно винтерферометр. Рля изменения числакратности отражений в устройстве и 45получения необходимой чувствительности интерферометра достаточно увеличить количество уголковых отражателей, расположив их по окружности аналогично расположению уголкового стражателя 5 так, чтобы они не перекрывали сходящиеся в. Фокусе лучи и обеспечивали последовательное прохождениеоптического луча (каждый раз посяеотражения от контролируемого объекта) дополнительно устанавливаемыхуголковых отражателей.Увеличение чувствительности возможно и заменой последнего по ходу луча уголкового отражателя плоским зеркалом, В этом случае луч проходит обратный путь и допопнительно испытывает такое же копичевтво отражений, как при первоначальном проходе. Ввод и вывод оптического луча иэ устройства может производиться двумя различными уголковыми отражателями. Вместо уголковых отражателей для нвода и вывода из устройства оптических лучей могут быть использованы и другие оптические элементы - плоские зеркала, различные призмы, Для упрощения конструкции устройства и его использования в интерферометре оптические лучи могут вводиться и выводиться из устройства через отверстия или пропилы в вогнутом зеркале, специально изготовленные в месте прохода входного и выходного лучей.Устройство работает следующим образом.Уголковый отражатель 3 направляет падающий на него иэ интерферометра входной луч 1 О на поверхность вогнутого зеркапа 3, отражается от нее и, так как уголковый отражатель 4 направляет луч света на вогнутое зеркало 3 параллельно ее оптическрй оси О,попадает на поверхность контролируемого объекта 2 - зеркало 1, отраженный от контролируемого объекта 2 луч света (луч 1 ) последовательно отражается от вогнутого зеркала 3, уголкового отражателя 5, опять от вогнутого зеркала 3 и второй раз от зеркала 1, соединенного с контролируемым объектом 2Теперь двукратно отраженный от контролируемого объекта луч 1 т с помощью уголкового преобразователя 4 выводится в схему интерферометра, в котором использовано устройство. Если в качестве элементов, соединяющих оптические схемы устройства и интерферометра, использованы, например, плоские зеркала, они должны быть устанонлены так, чтобы луч снета между ними и ногнутым зеркалом 3 шел по пути, параллельному оптической оси этого зеркала. За счетрасположения уголковых отражателей или использования вместо последнего уголкового отражателя плоского зеркала входной и выходной лучи из блока многократных отражений могут совпадать, как и информативные. лучи в известных схемах интерферометров.Перемещение одного иэ уголковых отра1490463 жателей позволяет регулировать кратность отражений. формула и э о б р е т е н и яставитель В, Пп хред А. Кравчук ев Корректор М. Шарош Спесивых Редак аказ 3739/44 Тираж 683 ПодписноеНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина 1 1. Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре, содержащее плоское зеркало, предназначенное для установки на контролируемом объекте, фиксирующий элемент, расположенный перед плоским зеркалом, что оно лежит в Жокальной плоскости фокусирующего элемента, и систему уголковых отражателей, о т - л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения точности интерферометра, фокусирующий элемент выполненв виде вогнутого зеркала, а системауголковых отражателей установленамежду плоским и вогнутым зеркалами 5по периферии световой апертуры вогнутого зеркала так,что отражающиеповерхности уголковнх отражателейобращены к вогнутому зеркалу.10 2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что по крайней мере один иэ уголковых отражателей системы установлен с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оптической оси вогнутого зеркала.